HERCULES 光刻軌道系統(tǒng)技術(shù)數(shù)據(jù)：

對(duì)準(zhǔn)方式：

上側(cè)對(duì)準(zhǔn)：≤±0.5 μm,；

底側(cè)對(duì)準(zhǔn)：≤±1,0 μm；

紅外校準(zhǔn)：≤±2,0 μm /具體取決于基材

先進(jìn)的對(duì)準(zhǔn)功能：

手動(dòng)對(duì)準(zhǔn),；

自動(dòng)對(duì)準(zhǔn),；

動(dòng)態(tài)對(duì)準(zhǔn)。

對(duì)準(zhǔn)偏移校正：

自動(dòng)交叉校正/手動(dòng)交叉校正,；

大間隙對(duì)準(zhǔn),。

工業(yè)自動(dòng)化功能：盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄，彎曲,，翹曲,，邊緣晶圓處理

曝光源：汞光源/紫外線(xiàn)LED光源

曝光設(shè)定：真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式

楔形補(bǔ)償：全自動(dòng)軟件控制；非接觸式

曝光選項(xiàng)：

間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光

系統(tǒng)控制

操作系統(tǒng)：Windows

文件共享和備份解決方案/無(wú)限制 程序和參數(shù)

多語(yǔ)言用戶(hù)GUI和支持：CN,，DE,，F(xiàn)R，IT,，JP,，KR

實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程訪(fǎng)問(wèn)，診斷和故障排除 EVG光刻機(jī)設(shè)備,，可完全集成到HERCULES光刻軌道系統(tǒng)中,，并輔以其用于從上到下側(cè)對(duì)準(zhǔn)驗(yàn)證的計(jì)量工具。半導(dǎo)體設(shè)備光刻機(jī)供應(yīng)商

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂層模塊-旋轉(zhuǎn)器參數(shù)

轉(zhuǎn)速：**/高10 k rpm

加速速度：**/高10 k rpm

噴涂模塊-噴涂產(chǎn)生

超聲波霧化噴嘴/高粘度噴嘴

開(kāi)發(fā)模塊-分配選項(xiàng)

水坑顯影/噴霧顯影

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)附加模塊選項(xiàng)：

預(yù)對(duì)準(zhǔn)：機(jī)械

系統(tǒng)控制參數(shù)：

操作系統(tǒng)：Windows

文件共享和備份解決方案/無(wú)限制程序和參數(shù)/離線(xiàn)程序編輯器

靈活的流程定義/易于拖放的程序編程

并行處理多個(gè)作業(yè)/實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程訪(fǎng)問(wèn),，診斷和故障排除

多語(yǔ)言用戶(hù)GUI和支持：CN,，DE,，F(xiàn)R，IT,，JP,，KR

IQ Aligner NT光刻機(jī)質(zhì)量怎么樣HERCULES以**小的占地面積結(jié)合了EVG精密對(duì)準(zhǔn)和光刻膠處理系統(tǒng)的所有優(yōu)勢(shì)。

我們的研發(fā)實(shí)力,。

EVG已經(jīng)與研究機(jī)構(gòu)合作超過(guò)35年,，讓我們深入了解他們的獨(dú)特需求。我們專(zhuān)業(yè)的研發(fā)工具提供卓/越的技術(shù)和**/大的靈活性,，使大學(xué),、研究機(jī)構(gòu)和技術(shù)開(kāi)發(fā)合作伙伴能夠參與多個(gè)研究項(xiàng)目和應(yīng)用項(xiàng)目。此外,，研發(fā)設(shè)備與EVG的**技術(shù)平臺(tái)無(wú)縫集成,，這些平臺(tái)涵蓋從研發(fā)到小規(guī)模和大批量生產(chǎn)的整個(gè)制造鏈。研發(fā)和全/面生產(chǎn)系統(tǒng)之間的軟件和程序兼容性使研究人員能夠?qū)⑵淞鞒踢w移到批量生產(chǎn)環(huán)境,。以客戶(hù)的需求為導(dǎo)向,，研發(fā)才具有價(jià)值，也是我們不斷前進(jìn)的動(dòng)力,。

這使得可以在工業(yè)水平上開(kāi)發(fā)新的設(shè)備或工藝,，這不僅需要高度的靈活性，而且需要可控和可重復(fù)的處理,。EVG在要求苛刻的應(yīng)用中積累了多年的旋涂和噴涂經(jīng)驗(yàn),，并將這些知識(shí)技能整合到EVG100系列中，可以利用我們的工藝知識(shí)為客戶(hù)提供支持,。

光刻膠處理設(shè)備有：EVG101光刻膠處理,，EVG105光刻膠烘焙機(jī)，EVG120光刻膠處理自動(dòng)化系統(tǒng),；EVG150 光刻膠處理自動(dòng)化系統(tǒng),。如果您需要了解每個(gè)型號(hào)的特點(diǎn)和參數(shù)，請(qǐng)聯(lián)系我們,，我們會(huì)給您提供**/新的資料,?；蛘咴L(fǎng)問(wèn)我們的官網(wǎng)獲取相關(guān)信息,。

只有接近客戶(hù)，才能得知客戶(hù)**真實(shí)的需求,，這是我們一直時(shí)刻與客戶(hù)保持聯(lián)系的原因之一,。

     EV Group企業(yè)技術(shù)總監(jiān)Thomas Glinsner博士證實(shí)：“我們看到支持晶圓級(jí)光學(xué)器件的設(shè)備需求正在急劇增加?！?“*從今年年初開(kāi)始,，我們就向大型WLO制造商交付了多個(gè)用于透鏡成型和堆疊以及計(jì)量的系統(tǒng),，以進(jìn)行大批量生產(chǎn)。此類(lèi)訂單進(jìn)一步鞏固了EVG在該領(lǐng)域市場(chǎng)***的地位,，同時(shí)創(chuàng)造了新興應(yīng)用程序中有大量新機(jī)會(huì),。”

      業(yè)界**的設(shè)備制造商**近宣布了擴(kuò)大其傳感領(lǐng)域業(yè)務(wù)目標(biāo)的計(jì)劃,，以幫助解決客戶(hù)日益激進(jìn)的上市時(shí)間窗口,。根據(jù)市場(chǎng)研究和策略咨詢(xún)公司YoleDéveloppement的說(shuō)法，下一代智能手機(jī)中正在設(shè)計(jì)十多種傳感器,。其中包括3D感測(cè)相機(jī),，指紋傳感器，虹膜掃描儀,，激光二極管發(fā)射器,，激光測(cè)距儀和生物傳感器?？傮w而言,，光纖集線(xiàn)器預(yù)計(jì)將從2016年的106億美元增長(zhǎng)到2021年的180億美元，復(fù)合年增長(zhǎng)率超過(guò)11％*,。 EVG所有光刻設(shè)備平臺(tái)均為300mm,。半導(dǎo)體設(shè)備光刻機(jī)供應(yīng)商

HERCULES 全電動(dòng)頂部和底部分離場(chǎng)顯微鏡支持實(shí)時(shí)、大間隙,、晶圓平面或紅外對(duì)準(zhǔn),，在可編程位置自動(dòng)定位。半導(dǎo)體設(shè)備光刻機(jī)供應(yīng)商

IQ Aligner®

■   晶圓規(guī)格高達(dá)200 mm / 300 mm

■   某一時(shí)間內(nèi)

（第/一次印刷/對(duì)準(zhǔn)）> 90 wph / 80 wph

■   頂/底部對(duì)準(zhǔn)精度達(dá)到 ± 0.5 μm / ± 1.0 μm

■   接近過(guò)程100/%無(wú)觸點(diǎn)

■   可選Ergoload 磁盤(pán),，SMIF或者FOUP

■   精/準(zhǔn)的跳動(dòng)補(bǔ)償,，實(shí)現(xiàn)**/佳的重疊對(duì)準(zhǔn)

■   手動(dòng)裝載晶圓的功能

■   IR對(duì)準(zhǔn)能力–透射或者反射

IQ Aligner® NT

■   零輔助橋接工具-雙基片，支持200mm和300mm規(guī)格

■   無(wú)以倫比的吞吐量（第/一次印刷/對(duì)準(zhǔn)） > 200 wph / 160 wph

■   頂/底部對(duì)準(zhǔn)精度達(dá)到 ± 250 nm / ± 500 nm

■   接近過(guò)程100/%無(wú)觸點(diǎn)

■   暗場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)能力/ 全場(chǎng)清/除掩模（FCMM）

■   精/準(zhǔn)的跳動(dòng)補(bǔ)償,，實(shí)現(xiàn)**/佳的重疊對(duì)準(zhǔn)

■   智能過(guò)程控制和性能分析框架軟件平臺(tái) 半導(dǎo)體設(shè)備光刻機(jī)供應(yīng)商

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,，現(xiàn)有一支專(zhuān)業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，各種專(zhuān)業(yè)設(shè)備齊全,。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù),，以誠(chéng)信、敬業(yè),、進(jìn)取為宗旨,，以建岱美儀器技術(shù)服務(wù)產(chǎn)品為目標(biāo)，努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè),。公司堅(jiān)持以客戶(hù)為中心,、磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣(mài)除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢(xún)服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣(mài)除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢(xún)服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】市場(chǎng)為導(dǎo)向,，重信譽(yù)，保質(zhì)量,，想客戶(hù)之所想,，急用戶(hù)之所急，全力以赴滿(mǎn)足客戶(hù)的一切需要,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā),，堅(jiān)持“質(zhì)量保證、良好服務(wù),、顧客滿(mǎn)意”的質(zhì)量方針,，贏(yíng)得廣大客戶(hù)的支持和信賴(lài)。