氮化鋁是一種綜合性能優(yōu)良的陶瓷材料,,由于氮化鋁是共價化合物,,自擴(kuò)散系數(shù)小,熔點(diǎn)高,,導(dǎo)致其難以燒結(jié),,直到20世紀(jì)50年代,人們才成功制得氮化鋁陶瓷,,并作為耐火材料應(yīng)用于純鐵,、鋁以及鋁合金的熔煉。自20世紀(jì)70年代以來,隨著研究的不斷深入,,氮化鋁的制備工藝日趨成熟,,其應(yīng)用范圍也不斷擴(kuò)大。尤其是進(jìn)入21世紀(jì)以來,,隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展,,電子整機(jī)和電子元器件正朝微型化、輕型化,、集成化,,以及高可靠性和大功率輸出等方向發(fā)展,越來越復(fù)雜的器件對基片和封裝材料的散熱提出了更高要求,,進(jìn)一步促進(jìn)了氮化鋁產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,。氮化鋁耐熱、耐熔融金屬的侵蝕,,對酸穩(wěn)定,,但在堿性溶液中易被侵蝕。廣州單晶氮化硼商家
AlN陶瓷基片一般采用無壓燒結(jié),,該燒結(jié)方法是一種很普通的燒結(jié),,雖然工藝簡單、成本較低,、可制備形狀復(fù)雜,,但燒結(jié)溫度一般偏高,再不添加燒結(jié)助劑的情況下,,一般無法制備高性能陶瓷基片,。傳統(tǒng)燒結(jié)方式一般通過外部熱源對AlN坯體進(jìn)行加熱,熱傳導(dǎo)不均且速度較慢,,將影響燒結(jié)質(zhì)量,。微波燒結(jié)通過坯體吸收微波能量從而進(jìn)行自身加熱,加熱過程是在整個材料內(nèi)部同時進(jìn)行,,升溫速度快,,溫度分散均勻,防止AlN陶瓷晶粒的過度生長,。這種快速燒結(jié)技術(shù)能充分發(fā)揮亞微米級和納米級粉末的性能,,具有很強(qiáng)的發(fā)展前景。放電等離子燒結(jié)技術(shù)主要利用放電脈沖壓力,、脈沖能和焦耳熱產(chǎn)生瞬間高溫場實(shí)現(xiàn)快速燒結(jié),。放電等離子燒結(jié)技術(shù)的主要特點(diǎn)是升溫速度快,燒結(jié)時間短,,燒結(jié)溫度低,,可實(shí)現(xiàn)AlN陶瓷的快速低溫?zé)Y(jié),。通過該燒結(jié)方法,燒結(jié)體的各個顆??深愃朴谖⒉Y(jié)那樣均勻地自身發(fā)熱以活化顆粒表面,,可在短時間內(nèi)得到致密化、高熱導(dǎo)燒結(jié)體,。蘇州納米氮化鋁粉體價格結(jié)晶氮化鋁用干羊毛的精制,、染色,。以及飲用水,、含高氟水‘工業(yè)水的處理,含油污水凈化,。
AlN陶瓷基片的成型:流延成型制備氮化鋁陶瓷基片的主要工藝,,將氮化鋁粉料、燒結(jié)助劑,、粘結(jié)劑,、溶劑混合均勻制成漿料,通過流延制成坯片,,采用組合模沖成標(biāo)準(zhǔn)片,,然后用程控沖床沖成通孔,用絲網(wǎng)印刷印制金屬圖形,,將每一個具有功能圖形的生坯片疊加,,層壓成多層陶瓷生坯片,在氮?dú)庵屑s700℃排除粘結(jié)劑,,然后在1800℃氮?dú)庵羞M(jìn)行共燒,,電鍍后即形成多層氮化鋁陶瓷。流延成型分為有機(jī)流延成型和水基流延成型兩種,。流延成型法在AlN陶瓷基片方面的應(yīng)用具有極強(qiáng)的優(yōu)勢,,如設(shè)備要求低,可連續(xù)生產(chǎn),、生產(chǎn)效率高,、自動化程度高,其生產(chǎn)成本低廉,,非常適合現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn),。注射成型:首先將AlN粉體與有機(jī)粘結(jié)劑按一定比例混合,經(jīng)過造粒得到性能穩(wěn)定的喂料,,然后在注射成型機(jī)上成型素坯,,再經(jīng)過脫脂、燒結(jié)很終獲得AlN陶瓷基片,。
氮化鋁陶瓷因具有高熱導(dǎo)率,、低膨脹系數(shù),、度、耐腐蝕,、電性能優(yōu),、光傳輸性好等優(yōu)異特性,是理想的大規(guī)模集成電路散熱基板和封裝材料,。隨著我國電子信息產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展,,電子設(shè)備儀器的小型輕量化,以及混合集成度大幅提高,,對散熱基板的導(dǎo)熱性能要求越來越高,,氮化鋁陶瓷的熱導(dǎo)率較氧化鋁陶瓷高5倍以上,膨脹系數(shù)低,,與硅芯片的匹配性更好,,因此在大功率器件等領(lǐng)域,已逐漸取代氧化鋁基板,,成為市場主流,。但氮化鋁陶瓷基板行業(yè)進(jìn)入技術(shù)壁壘高,全球市場中,,具有量產(chǎn)能力的企業(yè)主要集中在日本,,日本企業(yè)在國際氮化鋁陶瓷基板市場中處于壟斷地位,此外,,中國臺灣地區(qū)也有部分產(chǎn)能,。而隨著國內(nèi)市場對氮化鋁陶瓷基板的需求快速上升,在市場的拉動下,,進(jìn)入行業(yè)布局的企業(yè)開始增多,,但現(xiàn)階段我國擁有量產(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量依然極少。氮化鋁膜是指用氣相沉積,、液相沉積,、表面轉(zhuǎn)化或其它表面技術(shù)制備的氮化鋁覆蓋層 。
氮化鋁陶瓷的制備技術(shù):注射成型被國際上譽(yù)為“當(dāng)今很熱門的零部件成形技術(shù)”,。陶瓷注射成型是將聚合物注射成型方法與陶瓷制備工藝相結(jié)合而發(fā)展起來的一種制備復(fù)雜形狀的陶瓷零部件的新興工藝,。相對于傳統(tǒng)成型工藝,它的優(yōu)點(diǎn)主要包括:機(jī)械化和自動化程度高,、生產(chǎn)效率高,、成型周期短、坯體強(qiáng)度高,;成型的陶瓷產(chǎn)品具有極高的尺寸精度和表面光潔度,;成型產(chǎn)品燒結(jié)體性能優(yōu)越且一致性較好;可近凈尺寸成型各種復(fù)雜形狀,,很少甚至無需進(jìn)行機(jī)械加工后處理,。需要注意的是,,由注射成型得到的制品,其脫脂是一個尤為重要的階段,,因?yàn)榻^大多數(shù)的缺陷都在脫脂階段形成,,如裂紋、氣孔,、變形,、鼓泡等情況,并且在脫脂過程中產(chǎn)生的缺陷無法通過后期的燒結(jié)來彌補(bǔ),,所以在某種程度上脫脂決定了很終產(chǎn)品質(zhì)量,。由于注射成型坯體中有機(jī)物含量較高,脫脂過快會導(dǎo)致很多缺陷的發(fā)生,。因此,,脫脂工藝優(yōu)化是注射成型工藝中的一大難題和研究重點(diǎn),。陶瓷注射成型技術(shù)是一種制造復(fù)雜形狀陶瓷零部件的新興技術(shù),。紹興多孔氮化鋁哪家好
隨著工業(yè)技術(shù)的高速發(fā)展,傳統(tǒng)的成型方法已難以滿足人們對陶瓷材料在性能和形狀方面的要求,。廣州單晶氮化硼商家
AlN陶瓷基片的燒結(jié)工藝:燒結(jié)助劑及其添加方式,,燒結(jié)助劑主要有兩方面的作用:一方面形成低熔點(diǎn)物相,實(shí)現(xiàn)液相燒結(jié),,降低燒結(jié)溫度,,促進(jìn)坯體致密化;另一方面,,高熱導(dǎo)率是AlN基板的重要性能,,而實(shí)際AlN基板中由于存在氧雜質(zhì)等各種缺陷,熱導(dǎo)率低于其理論值,,加入燒結(jié)助劑可以與氧反應(yīng),,使晶格完整化,進(jìn)而提高熱導(dǎo)率,。常用的燒結(jié)助劑主要是以堿土金屬和稀土元素的化合物為主,,單元燒結(jié)助劑燒結(jié)能力往往很有限,通常要配合1800℃以上燒結(jié)溫度,、較長燒結(jié)時間及較多含量的燒結(jié)助劑等條件,。燒結(jié)過程中如果只采用一種燒結(jié)助劑,所需要的燒結(jié)溫度難以降低,,生產(chǎn)成本較高,。二元或多元燒結(jié)助劑各成分間相互促進(jìn),往往會得到更加明顯的燒結(jié)效果,。目前,,助燒劑引入的方式一般有2種,,一種是直接添加,另一種是以可溶性硝酸鹽形式制成前驅(qū)體原位生成燒結(jié)助劑,。后者所生成的燒結(jié)助劑組元分布更為均勻,,顆粒更為細(xì)小,比表面能更大,。廣州單晶氮化硼商家
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