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本實用涉及蝕刻設備技術領域,，具體為一種ito蝕刻液制備裝置。背景技術：蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術,，蝕刻技術分為濕蝕刻和干蝕刻,，其中，濕蝕刻是采用化學試劑,，經(jīng)由化學反應達到蝕刻的目的,，薄膜場效應晶體管液晶顯示器(tft～lcd)、發(fā)光二極管(led),、有機發(fā)光二極管(oled)等行業(yè)用作面板過程中銦錫氧化物半導體透明導電膜(ito)的蝕刻通常采用鹽酸和硝酸的混合水溶液?，F(xiàn)有的制備裝置在進行制備時會發(fā)***熱反應，使得裝置外殼穩(wěn)定較高,，工作人員直接接觸有燙傷風險,，熱水與鹽酸接觸會產(chǎn)生較為劇烈的反應，濺出容易傷害工作人員,，保護性不足,，鹽酸硝酸具有較強的腐蝕性，常規(guī)的攪...

內部頂部兩側的震蕩彈簧件14,，震蕩彈簧件14頂端的運轉電機組13,，運轉電機組13頂端的控制面板15，內部中間部位的致密防腐桿16和致密防腐桿16內部內側的攪動孔17共同組合而成,，由于鹽酸硝酸具有較強的腐蝕性,，常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕，影響蝕刻液的質量,，用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進行攪拌，成本過高,，且混合的效果不好,，通過設置高效攪拌裝置2，該裝置通過運轉電機組13驅動旋轉搖勻轉盤12,，使旋轉搖勻轉盤12帶動高效攪拌裝置2進行旋轉搖勻,，同時設置的震蕩彈簧件14可通過驅動對高效攪拌裝置2進行震蕩搖勻，高效攪拌裝置2內部的蝕刻液通過內置的致密防腐桿16,，致密防腐桿16內部的攪動孔17能夠使蝕刻...

12,、伸縮桿；13,、圓環(huán)塊,；14、連接桿；15,、回流管,；16、增壓泵,；17,、一號排液管；18,、一號電磁閥,；19、抽氣泵,；20,、排氣管；21,、集氣箱,；22、二號排液管,；23,、二號電磁閥；24,、傾斜板,；25、活動板,；26,、蓄水箱；27,、進水管,；28、抽水管,；29,、三號電磁閥；30,、控制面板,。具體實施方式下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚,、完整地描述,，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,，而不是全部的實施例,?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,，都屬于本發(fā)明保護的范圍,。請參閱圖1-5，本發(fā)明提供一種技術方...

近年來,，oled顯示器廣泛應用于手機和平板顯示,。金屬銀以優(yōu)異的電導率和載流子遷移率被廣泛應用于oled顯示器的陽極布線(ito/ag/ito)結構中。為了對此進行蝕刻,，目前主要使用基于磷酸,、硝酸、醋酸和硝酸鹽的濕蝕刻液(cna),。這樣的體系雖然能有效去除金屬銀,，但在實際使用過程中仍會存在少量的銀殘留或銀再吸附沉積問題。4.本發(fā)明所要解決的技術問題在于如何解決現(xiàn)有的銀蝕刻液在使用過程中存在少量的銀殘留,、銀再吸附沉積問題,。5.本發(fā)明通過以下技術手段實現(xiàn)解決上述技術問題的：6.一種銀蝕刻液組合物，其成分由質量占比為40-60％磷酸,、2-10％硝酸,、％有機酸、％硝酸鹽,、％含氮元素有機物,、其...

蝕刻液也可含有α-羥基羧酸和/或其鹽。α-羥基羧酸及其鹽具有作為鈦的絡合劑的效果,，可抑制蝕刻液中產(chǎn)生鈦的沉淀,。作為所述α-羥基羧酸，例如可舉出酒石酸,、蘋果酸,、檸檬酸、乳酸及甘油酸等,。α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度并無特別限制,，從絡合效果及溶解性的觀點來看，推薦為％至5重量％,，更推薦為％至2重量％。另外,，蝕刻液也可含有亞硫酸及/或其鹽,。亞硫酸及其鹽具有作為還原劑的效果，可提高鈦的蝕刻速度,。亞硫酸和/或其鹽的濃度并無特別限制,，從還原性及臭氣的觀點來看,，推薦為％至％，更推薦為％至％,。蝕刻液中除了上述的成分以外,，也能以不妨礙本發(fā)明效果的程度添加其他成分。作為其他成分,，例如可舉出表面活性劑,、成分穩(wěn)...

技術實現(xiàn)要素：本實用新型所解決的技術問題即在于提供一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備，尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產(chǎn)品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備,，主要借由具有復數(shù)個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計,，有效使風刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異?，F(xiàn)象,，確實達到保有原始擋液板的擋液效果，以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優(yōu)勢,。本實用新型所采用的技術手段如下所述,。為了達到上述的實施目的，本實用新型提出一種擋液板結構,，適用于一濕式蝕刻機,，擋液板...

步驟一s1：設置一擋液板結構10，其中該擋液板結構10設置有復數(shù)個宣泄孔121,；該擋液板結構10包括有一***擋板11,、一與該***擋板11接合的第二擋板12，以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,，其中該第二擋板12具有復數(shù)個貫穿該第二擋板12且錯位設置的宣泄孔121,，該復數(shù)個宣泄孔121呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣，且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,，其中該宣泄孔121的孔徑a0比較好小于3mm,，以使該宣泄孔121的孔洞內產(chǎn)生毛細現(xiàn)象，若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,，則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面122,，但仍舊可以提供空氣宣泄的管道，以借由該宣泄孔1...