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且所述片盒架能夠相對所述固定架自轉(zhuǎn)，所述固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與所述片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置,。進一步地,，所述片盒架的數(shù)量為多個，多個所述片盒架沿所述固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在所述固定架上,。進一步地,，所述固定架包括驅(qū)動輪盤、從動輪盤和連接桿,，所述驅(qū)動輪盤與所述從動輪盤同軸相對設(shè)置,，且，所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤分別可轉(zhuǎn)動的安裝在所述安裝座上,，所述連接桿固定連接在所述驅(qū)動輪盤與所述從動輪盤之間,；所述片盒架轉(zhuǎn)動連接在所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤之間。進一步地,，所述片盒架包括同軸相對設(shè)置的限位盤和第二限位盤,，所述限位盤與所述第二限位盤之間設(shè)置有多根限位桿，多根所述限位桿沿所述限位盤的周向間隔設(shè)置,，多...

泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。鎖定同義詞wafer一般指晶圓本詞條由“科普中國”科學百科詞條編寫與應(yīng)用工作項目審核。晶圓指制造半導(dǎo)體晶體管或集成電路的襯底（也叫...

泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成，他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。因在于OH基SiO2膜中的擴散系數(shù)比O2的大,。氧化反應(yīng)，Si表面向深層移動,，距離為SiO2膜厚的,。因此，不同厚度的SiO2膜,，去除后的Si表面的深度也不同,。SiO2膜為透明，通過光干涉來估計膜的厚度,。這種干涉色的周期約為200nm,，如果預(yù)告知道是幾次干涉，就能正確估計。對其他的透明薄膜...

也即太陽輪的輪軸與驅(qū)動輪盤的中心連接軸同軸,；行星架的行星輪與片盒架的限位盤的轉(zhuǎn)動軸連接,，且每個行星輪至多連接一個限位盤的轉(zhuǎn)動軸，每個行星輪的軸線與其對應(yīng)的轉(zhuǎn)動軸共線設(shè)置,；行星架的齒圈固定設(shè)置,。其中，每個片盒架的轉(zhuǎn)動軸都需要連接一個行星輪,，以實現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),，但是行星輪的數(shù)量可以大于片盒架的數(shù)量，多余的行星輪可以是空轉(zhuǎn),，也即不連接片盒架,。推薦的，行星輪與片盒架的數(shù)量一一對應(yīng)設(shè)置,，在本實施例中,，行星架的行星輪的數(shù)量為個，片盒架的數(shù)量為個,，行星輪與片盒架一一對應(yīng)設(shè)置,。在本實施例中，如圖所示,，行星架的太陽輪設(shè)置在驅(qū)動輪盤靠近從動輪盤的一側(cè),，驅(qū)動輪盤的背離被動驅(qū)動輪盤的一側(cè)設(shè)置有與電機等驅(qū)動機構(gòu)...

泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。因在于OH基SiO2膜中的擴散系數(shù)比O2的大。氧化反應(yīng),，Si表面向深層移動,，距離為SiO2膜厚的。因此,，不同厚度的SiO2膜,，去除后的Si表面的深度也不同,。SiO2膜為透明，通過光干涉來估計膜的厚度,。這種干涉色的周期約為200nm,，如果預(yù)告知道是幾次干涉,，就能正確估計,。對其他的透明薄膜...

無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。間隔設(shè)置,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。為了方便安裝座安裝在清洗槽上，本實施例的齒圈固定板...

泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。防止顯影時光刻膠圖形的脫落以及防止?jié)穹ǜg時產(chǎn)生側(cè)面腐蝕(sideetching)。光刻膠的涂敷是用轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)時間可自由設(shè)定的甩膠機來進行的,。首先,、用真空吸引法將基片吸在甩膠機的吸盤上,，把具有一定粘度的光刻膠滴在基片的表面，然后以設(shè)定的轉(zhuǎn)速和時間甩膠,。由于離心力的作用,，光刻膠在基片表面均勻地展開，多余的光刻膠被甩掉,，獲得一定厚度的光刻膠膜,，光刻膠的膜厚是由光刻膠的粘度和甩膠的轉(zhuǎn)速來控制。所謂光刻膠,，是對光,、電子束或...

泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。防止顯影時光刻膠圖形的脫落以及防止?jié)穹ǜg時產(chǎn)生側(cè)面腐蝕(sideetching)。光刻膠的涂敷是用轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)時間可自由設(shè)定的甩膠機來進行的,。首先,、用真空吸引法將基片吸在甩膠機的吸盤上，把具有一定粘度的光刻膠滴在基片的表面,，然后以設(shè)定的轉(zhuǎn)速和時間甩膠,。由于離心力的作用，光刻膠在基片表面均勻地展開,，多余的光刻膠被甩掉,，獲得一定厚度的光刻膠膜，光刻膠的膜厚是由光刻膠的粘度和甩膠的轉(zhuǎn)速來控制,。所謂光刻膠,，是對光、電子束或...

從動輪盤與豎向桿面向齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接,。底板上對應(yīng)驅(qū)動輪盤的周向邊緣設(shè)置有軸承,，驅(qū)動輪盤的周向邊緣轉(zhuǎn)動設(shè)置在軸承上。推薦的,，底板還設(shè)置有相對設(shè)置的兩個限位輪座,，軸承和驅(qū)動輪盤設(shè)置在兩個限位輪座之間。其中,，齒圈固定板可以是與行星架的齒圈為一體構(gòu)造,，也即如圖所示,，齒圈固定板上的通孔上沿其周向設(shè)置內(nèi)齒作為齒圈。軸承可為法蘭軸承,，數(shù)量可為兩個,，兩個軸承分別設(shè)置在兩個限位輪座之間，且每個軸承設(shè)置在一個限位輪座上,，軸承與限位輪座均位于驅(qū)動輪盤的下方,。軸承的設(shè)置不能夠支撐驅(qū)動輪盤，使驅(qū)動輪盤能夠轉(zhuǎn)動,，且配合限位輪座能夠限位驅(qū)動輪盤的位置,，同時還可使得固定架在水平設(shè)置時，從動輪盤與底板泰克光電（...

這種裝置稱為磁控濺射裝置（magnetronsputterapparatus）,，以高電壓將通入惰性氬體游離,，再藉由陰極電場加速吸引帶正電的離子，撞擊在陰極處的靶材,，將欲鍍物打出后沉積在基板上,。一般均加磁場方式增加電子的游離路徑，可增加氣體的解離率,，若靶材為金屬,，則使用DC電場即可，若為非金屬則因靶材表面累積正電荷,，導(dǎo)致往后的正離子與之相斥而無法繼續(xù)吸引正離子,，所以改為RF電場（因場的振蕩頻率變化太快，使正離子跟不上變化,，而讓RF-in的地方呈現(xiàn)陰極效應(yīng)）即可解決問題,。光刻技術(shù)定出VIA孔洞沉積第二層金屬，并刻蝕出連線結(jié)構(gòu),。然后,，用PECVD法氧化層和氮化硅保護層。光刻和離子刻蝕定出PA...

泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。因在于OH基SiO2膜中的擴散系數(shù)比O2的大。氧化反應(yīng),，Si表面向深層移動,，距離為SiO2膜厚的。因此,，不同厚度的SiO2膜,，去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明,，通過光干涉來估計膜的厚度,。這種干涉色的周期約為200nm，如果預(yù)告知道是幾次干涉,，就能正確估計,。對其他的透明薄膜...

因在于OH基SiO2膜中的擴散系數(shù)比O2的大。氧化反應(yīng),，Si表面向深層移動,，距離為SiO2膜厚的。因此,，不同厚度的SiO2膜,，去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明,，通過光干涉來估計膜的厚度,。這種干涉色的周期約為200nm，如果預(yù)告知道是幾次干涉,，就能正確估計,。對其他的透明薄膜，如知道其折射率,，也可用公式計算出(dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2),。SiO2膜很薄時，看不到干涉色,，但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來判斷SiO2膜是否存在,。也可用干涉膜計或橢圓儀等測出。SiO2和Si界面能級密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得,。(100)面的Si...

也即太陽輪的輪軸與驅(qū)動輪盤的中心連接軸同軸,；行星架的行星輪與片盒架的限位盤的轉(zhuǎn)動軸連接,，且每個行星輪至多連接一個限位盤的轉(zhuǎn)動軸，每個行星輪的軸線與其對應(yīng)的轉(zhuǎn)動軸共線設(shè)置,；行星架的齒圈固定設(shè)置,。其中，每個片盒架的轉(zhuǎn)動軸都需要連接一個行星輪,，以實現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),，但是行星輪的數(shù)量可以大于片盒架的數(shù)量，多余的行星輪可以是空轉(zhuǎn),，也即不連接片盒架,。推薦的，行星輪與片盒架的數(shù)量一一對應(yīng)設(shè)置,，在本實施例中,，行星架的行星輪的數(shù)量為個，片盒架的數(shù)量為個,，行星輪與片盒架一一對應(yīng)設(shè)置,。在本實施例中，如圖所示,，行星架的太陽輪設(shè)置在驅(qū)動輪盤靠近從動輪盤的一側(cè),，驅(qū)動輪盤的背離被動驅(qū)動輪盤的一側(cè)設(shè)置有與電機等驅(qū)動機構(gòu)...

因只在高溫下反應(yīng)故用途被限制，但由于其可用領(lǐng)域中,，則可得致密高純度物質(zhì)膜,，且附著強度很強，若用心控制,，則可得安定薄膜即可輕易制得觸須(短纖維)等,，故其應(yīng)用范圍極廣。熱CVD法也可分成常壓和低壓,。低壓CVD適用于同時進行多片基片的處理,，壓力一般控制在。作為柵電極的多晶硅通常利用HCVD法將SiH4或Si2H,。氣體熱分解（約650oC）淀積而成,。采用選擇氧化進行器件隔離時所使用的氮化硅薄膜也是用低壓CVD法，利用氨和SiH4或Si2H6反應(yīng)面生成的,，作為層間絕緣的SiO2薄膜是用SiH4和O2在400--4500oC的溫度下形成SiH4+O2-SiO2+2H2或是用Si(OC2H5)4(T...

防止顯影時光刻膠圖形的脫落以及防止?jié)穹ǜg時產(chǎn)生側(cè)面腐蝕(sideetching),。光刻膠的涂敷是用轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)時間可自由設(shè)定的甩膠機來進行的。首先,、用真空吸引法將基片吸在甩膠機的吸盤上,，把具有一定粘度的光刻膠滴在基片的表面,，然后以設(shè)定的轉(zhuǎn)速和時間甩膠,。由于離心力的作用,，光刻膠在基片表面均勻地展開，多余的光刻膠被甩掉,，獲得一定厚度的光刻膠膜,，光刻膠的膜厚是由光刻膠的粘度和甩膠的轉(zhuǎn)速來控制。所謂光刻膠,，是對光,、電子束或X線等敏感，具有在顯影液中溶解性的性質(zhì),，同時具有耐腐蝕性的材料,。一般說來，正型膠的分辨率高,，而負型膠具有感光度以及和下層的粘接性能好等特點,。光刻工藝精細圖形(分辨率，清晰度)...

梯狀敷層性佳(不管多凹凸不平,，深孔中的表面亦產(chǎn)生反應(yīng),，及氣體可到達表面而附著薄膜)等，故用途極廣,。膜生成原理,，例如由揮發(fā)性金屬鹵化物(MX)及金屬有機化合物(MR)等在高溫中氣相化學反應(yīng)(熱分解，氫還原,、氧化,、替換反應(yīng)等)在基板上形成氮化物、氧化物,、碳化物,、硅化物、硼化物,、高熔點金屬,、金屬、半導(dǎo)體等薄膜方法,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)...

泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。防止顯影時光刻膠圖形的脫落以及防止?jié)穹ǜg時產(chǎn)生側(cè)面腐蝕(sideetching),。光刻膠的涂敷是用轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)時間可自由設(shè)定的甩膠機來進行的。首先,、用真空吸引法將基片吸在甩膠機的吸盤上,，把具有一定粘度的光刻膠滴在基片的表面，然后以設(shè)定的轉(zhuǎn)速和時間甩膠,。由于離心力的作用,，光刻膠在基片表面均勻地展開，多余的光刻膠被甩掉,，獲得一定厚度的光刻膠膜,，光刻膠的膜厚是由光刻膠的粘度和甩膠的轉(zhuǎn)速來控制。所謂光刻膠,，是對光,、電子束或...

泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。使得固定連接在同步帶不同輸送側(cè)上的托臂相互靠近或相互遠離,。通過調(diào)節(jié)兩個托臂之間的距離，使得托臂能夠托住不同大小的晶圓(一個托臂拖著晶圓的一側(cè)),。該晶圓移栽機構(gòu)可用于承托不同體積大小的晶圓,，應(yīng)用。托臂的形狀為長條形,，托臂的縱截面形狀為l形,。托臂可分為限位部和水平設(shè)置的承托部，限位部豎直固定在承托部遠離另一托臂的一側(cè),，用于限定晶圓在承托部上的位置,。限位部和承托部形成l形的托臂。當兩個托臂相互靠近，直至...

泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。因在于OH基SiO2膜中的擴散系數(shù)比O2的大,。氧化反應(yīng)，Si表面向深層移動,，距離為SiO2膜厚的,。因此，不同厚度的SiO2膜,，去除后的Si表面的深度也不同,。SiO2膜為透明，通過光干涉來估計膜的厚度,。這種干涉色的周期約為200nm,，如果預(yù)告知道是幾次干涉，就能正確估計,。對其他的透明薄膜...

防止顯影時光刻膠圖形的脫落以及防止?jié)穹ǜg時產(chǎn)生側(cè)面腐蝕(sideetching),。光刻膠的涂敷是用轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)時間可自由設(shè)定的甩膠機來進行的。首先,、用真空吸引法將基片吸在甩膠機的吸盤上,，把具有一定粘度的光刻膠滴在基片的表面，然后以設(shè)定的轉(zhuǎn)速和時間甩膠,。由于離心力的作用,，光刻膠在基片表面均勻地展開，多余的光刻膠被甩掉,，獲得一定厚度的光刻膠膜,，光刻膠的膜厚是由光刻膠的粘度和甩膠的轉(zhuǎn)速來控制。所謂光刻膠,，是對光,、電子束或X線等敏感，具有在顯影液中溶解性的性質(zhì)，同時具有耐腐蝕性的材料,。一般說來,，正型膠的分辨率高，而負型膠具有感光度以及和下層的粘接性能好等特點,。光刻工藝精細圖形(分辨率,，清晰度)...

需要對晶圓背面進行濕法硅腐蝕，去除損傷層,，釋放晶圓應(yīng)力,，減小翹曲度及使表面粗糙化。使用槽式的濕法機臺腐蝕時,，晶圓正面及背面均與腐蝕液接觸,，正面貼的膜必須耐腐蝕，從而保護正面的集成電路,。使用單片作業(yè)的濕法機臺,，晶圓的正面通常已被機臺保護起來，不會與腐蝕液或者腐蝕性的氣體有接觸,，可以撕膜后再進行腐蝕[3],。晶圓除氮化硅此處用干法氧化法將氮化硅去除晶圓離子注入離子布植將硼離子(B+3)透過SiO2膜注入襯底，形成P型阱離子注入法是利用電場加速雜質(zhì)離子,，將其注入硅襯底中的方法,。離子注入法的特點是可以精密地控制擴散法難以得到的低濃度雜質(zhì)分布。MOS電路制造中,，器件隔離工序中防止寄生溝道用的溝道截...

因只在高溫下反應(yīng)故用途被限制,，但由于其可用領(lǐng)域中，則可得致密高純度物質(zhì)膜,，且附著強度很強,，若用心控制，則可得安定薄膜即可輕易制得觸須(短纖維)等,，故其應(yīng)用范圍極廣,。熱CVD法也可分成常壓和低壓。低壓CVD適用于同時進行多片基片的處理,，壓力一般控制在,。作為柵電極的多晶硅通常利用HCVD法將SiH4或Si2H。氣體熱分解（約650oC）淀積而成,。采用選擇氧化進行器件隔離時所使用的氮化硅薄膜也是用低壓CVD法,，利用氨和SiH4或Si2H6反應(yīng)面生成的，作為層間絕緣的SiO2薄膜是用SiH4和O2在400--4500oC的溫度下形成SiH4+O2-SiO2+2H2或是用Si(OC2H5)4(T...

可同時橫跨兩條滑軌并在兩條滑軌上來回移動,。本實用新型的工作過程為：使用者需要搬運晶圓時,。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,?？上雀鶕?jù)晶圓的尺寸，設(shè)定兩個托臂之間的間距,，具體操作為：通過控制系統(tǒng)控制移動...

泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置,，也即固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸線相交或平行,，也即固定架和片盒架的旋轉(zhuǎn)軌跡是不重合的，以使固定架帶動片盒架的旋轉(zhuǎn)與片盒架的自轉(zhuǎn)能夠是兩種不同的旋轉(zhuǎn),。固定架帶動片盒架的旋轉(zhuǎn)是為了實現(xiàn)片盒架與清洗槽內(nèi)的不同位置的清洗液接觸,，由于在清洗晶圓的過程中，一般清洗槽是水平放置的,，固定架推薦可繞水平的旋轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動,，以帶動片盒架在清洗槽的不同深度移動，片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線可以是如...

在外力驅(qū)動下實現(xiàn)固定架驅(qū)動片盒架的轉(zhuǎn)動,。片盒架安裝在從動輪盤與行星架的行星輪之間,，通過行星架的行星輪與太陽輪以及齒圈的連接,，構(gòu)成片盒架的自轉(zhuǎn)部分。限位輪座安裝在底板上,、軸承安裝在限位輪座上,，對驅(qū)動輪盤進行限位支撐；橫向安裝軸安裝在豎向桿上,，與齒圈固定板的安裝凸軸構(gòu)成與槽體連接的部分,。片盒架設(shè)置有轉(zhuǎn)動桿，轉(zhuǎn)動桿可在限位盤和第二限位盤之間活動,，方便晶圓放置和拆卸,。本實施例晶圓加工固定裝置通過驅(qū)動輪盤帶動整體多個片盒架轉(zhuǎn)動，可以使浸泡在藥液中的晶圓充分清洗,，提高終的清洗效果,；且可通過行星輪與齒圈的連接，實現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),，使晶圓加工更加均勻,；同時，支持多種片盒架,，通過更換片盒架形式,，可以多個相...

也即太陽輪的輪軸與驅(qū)動輪盤的中心連接軸同軸；行星架的行星輪與片盒架的限位盤的轉(zhuǎn)動軸連接,，且每個行星輪至多連接一個限位盤的轉(zhuǎn)動軸,，每個行星輪的軸線與其對應(yīng)的轉(zhuǎn)動軸共線設(shè)置；行星架的齒圈固定設(shè)置,。其中,，每個片盒架的轉(zhuǎn)動軸都需要連接一個行星輪，以實現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),，但是行星輪的數(shù)量可以大于片盒架的數(shù)量,，多余的行星輪可以是空轉(zhuǎn)，也即不連接片盒架,。推薦的,，行星輪與片盒架的數(shù)量一一對應(yīng)設(shè)置，在本實施例中,，行星架的行星輪的數(shù)量為個,，片盒架的數(shù)量為個，行星輪與片盒架一一對應(yīng)設(shè)置,。在本實施例中,，如圖所示，行星架的太陽輪設(shè)置在驅(qū)動輪盤靠近從動輪盤的一側(cè),，驅(qū)動輪盤的背離被動驅(qū)動輪盤的一側(cè)設(shè)置有與電機等驅(qū)動機構(gòu)...

作為共晶機制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成，他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。所述移動電機驅(qū)動所述傳動組件帶動所述托臂在所述固定板上滑動,。作為推薦方案，所述傳動組件包括主動輪,、從動輪和同步帶,，所述主動輪連接在所述移動電機的輸出端，所述從動輪可轉(zhuǎn)動地安裝在所述固定板上,，所述主動輪和所述從動輪通過所述同步帶相連接,，所述托臂固...

泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置，也即固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸線相交或平行,，也即固定架和片盒架的旋轉(zhuǎn)軌跡是不重合的,，以使固定架帶動片盒架的旋轉(zhuǎn)與片盒架的自轉(zhuǎn)能夠是兩種不同的旋轉(zhuǎn)。固定架帶動片盒架的旋轉(zhuǎn)是為了實現(xiàn)片盒架與清洗槽內(nèi)的不同位置的清洗液接觸,，由于在清洗晶圓的過程中,，一般清洗槽是水平放置的，固定架推薦可繞水平的旋轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動,，以帶動片盒架在清洗槽的不同深度移動,，片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線可以是如...

槽式清洗機以高效、可靠和批量清洗等特性被應(yīng)用,。隨著晶圓尺寸變大和晶圓表面的數(shù)字化圖形尺寸變小,，為了保證晶圓加工的均勻性和終清洗效果,，對槽式清洗機的要求越來越高。如何提高晶圓的清洗均勻性是目前一直在研究的重要課題,。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓加工固定裝置,，以提高晶圓的清洗均勻性。本發(fā)明的目的還在于提供一種晶圓加工設(shè)備,，以提供晶圓的清洗均勻性,。本發(fā)明提供的晶圓加工固定裝置，包括安裝座,、固定架和片盒架,，所述固定架可轉(zhuǎn)動的安裝在所述安裝座上。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶...

以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。所述轉(zhuǎn)動桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤可拆卸連接,，和/或所述轉(zhuǎn)動桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤滑動連接,，且所述轉(zhuǎn)動桿的兩端能夠相對所述限位盤和第二限位盤固定。進一步地,，所述限位盤和所述第二限位盤分別沿其周向設(shè)置有導(dǎo)向槽,，所述轉(zhuǎn)動桿滑動連...