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成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體的材料,，經(jīng)過(guò)照相制版,，研磨，拋光,，切片等程序,，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圓,。硅片用于集成電路（IC）基板,、半導(dǎo)體封裝襯底材料，硅片劃切質(zhì)量直接影響芯片的良品率及制造成本,。硅片劃片方法主要有金剛石砂輪劃片,、激光劃片。激光劃片是利用高能激光束聚焦產(chǎn)生的高溫使照射局部范圍內(nèi)的硅材料瞬間氣化,，完成硅片分離,，但高溫會(huì)使切縫周圍產(chǎn)生熱應(yīng)力。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一...

工作人員可以通過(guò)控制系統(tǒng)控制升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降板在豎直方向上移動(dòng)。承接裝置包括至少一個(gè)托臂,，托臂與升降板連接,，可隨升降板上下移動(dòng)。在搬運(yùn)晶圓時(shí),，托臂位于夾取機(jī)構(gòu)的正下方,，且靠近晶圓。夾取機(jī)構(gòu)夾取晶圓后,，可將晶圓拖到托臂上,，由升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)升降板和托臂下降，帶動(dòng)晶圓下降到檢測(cè)位置,。從源頭上杜絕了因夾取機(jī)構(gòu)機(jī)器故障而松開(kāi)晶圓,，導(dǎo)致晶圓從高處掉落的事故，減少了晶圓受損的概率,，使得晶圓運(yùn)輸更加可靠,。感應(yīng)裝置安裝在托臂上，用于感應(yīng)晶圓是否被拖放到位,，感應(yīng)裝置與控制系統(tǒng)電連接,，可將晶圓的位置數(shù)據(jù)傳輸給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)再控制升降裝置帶動(dòng)托臂升降到位,，以使托臂盡量靠近夾取機(jī)構(gòu),。在本實(shí)施例中，感應(yīng)裝置具...

泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。在本實(shí)用新型的描述中,，應(yīng)當(dāng)理解的是,，本實(shí)用新型中采用術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型的描述中，應(yīng)當(dāng)理解的是,，本實(shí)用新型中采用術(shù)語(yǔ)“上”,、“下”,、“前”、“后”,、“左”,、“右”、“豎直”,、“水平”,、“頂”、“底”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,，是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述,，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,，因此不能理...

因在于OH基SiO2膜中的擴(kuò)散系數(shù)比O2的大,。氧化反應(yīng)，Si表面向深層移動(dòng),，距離為SiO2膜厚的,。因此，不同厚度的SiO2膜,，去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明,，通過(guò)光干涉來(lái)估計(jì)膜的厚度,。這種干涉色的周期約為200nm，如果預(yù)告知道是幾次干涉,，就能正確估計(jì),。對(duì)其他的透明薄膜，如知道其折射率,，也可用公式計(jì)算出(dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2),。SiO2膜很薄時(shí)，看不到干涉色,，但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來(lái)判斷SiO2膜是否存在,。也可用干涉膜計(jì)或橢圓儀等測(cè)出。SiO2和Si界面能級(jí)密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得,。(100)面的Si...

以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端與所述限位盤(pán)和第二限位盤(pán)可拆卸連接，和/或所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端與所述限位盤(pán)和第二限位盤(pán)滑動(dòng)連接,，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端能夠相對(duì)所述限位盤(pán)和第二限位盤(pán)固定,。進(jìn)一步地，所述限位盤(pán)和所述第二限位盤(pán)分別沿其周向設(shè)置有導(dǎo)向槽,，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿滑動(dòng)連...

以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。也可以是可拆卸且可滑動(dòng)的安裝方式,。轉(zhuǎn)動(dòng)桿的安裝形式,，是為了方便通過(guò)移動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)桿，而將晶圓放置到片盒架上,，或?qū)⒕A從片盒架上取下,。在本實(shí)施例中，如圖所示,，限位盤(pán)和第二限位盤(pán)均沿其周向設(shè)置有導(dǎo)向槽,，轉(zhuǎn)動(dòng)桿的左端滑動(dòng)連接在限位盤(pán)的導(dǎo)向槽內(nèi)，轉(zhuǎn)動(dòng)桿的...

我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。達(dá)到阻止下一步中n型雜質(zhì)注入P型阱中,。去除SIO2層退火處理，然后用HF去除SiO2層,。干法氧化法干法氧化法生成一層SiO2層,，然后LPCVD沉積一層氮化硅。此時(shí)P阱的表面因SiO2層的生長(zhǎng)與刻蝕已低于N阱的表面水平面,。這里的SiO2層和氮化硅的作用與前面一樣,。接下來(lái)的步驟是為了隔離區(qū)和柵極與晶面之間的隔離層。光刻技術(shù)和離子刻蝕技術(shù)利用光刻技術(shù)和離子刻蝕技術(shù),，保留下柵隔離層上面的氮化硅層,。濕法氧化生長(zhǎng)未有氮化硅保護(hù)的SiO2層，形成PN之間的隔離區(qū),。生成SIO2薄膜熱...

固定板水平安裝在升降板的頂側(cè),，移動(dòng)電機(jī)豎直固定在固定板的底側(cè)?？刂葡到y(tǒng)控制移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)托臂在固定板上來(lái)回移動(dòng),，以便靈活調(diào)整托臂在水平方向上的位置。傳動(dòng)組件包括主動(dòng)輪,、從動(dòng)輪和同步帶,，主動(dòng)輪連接在移動(dòng)電機(jī)的輸出端，從動(dòng)輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定板上,，主動(dòng)輪和從動(dòng)輪通過(guò)同步帶相連接,，托臂固定連接在同步帶上。主動(dòng)輪和從動(dòng)輪均可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定板的底側(cè),，主動(dòng)輪與移動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技...

我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。生長(zhǎng)的單晶硅棒直徑越大,。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關(guān),，雖然半導(dǎo)體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成，但是晶圓的厚度一般要達(dá)到1mm,，才能保證足夠的機(jī)械應(yīng)力支撐,，因此晶圓的厚度會(huì)隨直徑...

到達(dá)基片的原料分子不具有表面移動(dòng)的能量，立即凝結(jié)在基片的表面,，所以,，在具有臺(tái)階的表面上以真空蒸發(fā)法淀積薄膜時(shí)，一般,，表面被覆性（覆蓋程度）是不理想的,。但若可將Crambo真空抽至超高真空（<10–8torr），并且控制電流,，使得欲鍍物以一顆一顆原子蒸鍍上去即成所謂分子束磊晶生長(zhǎng)（MBE：MolecularBeamEpitaxy）,。（3）濺鍍（SputteringDeposition）所謂濺射是用高速粒子（如氬離子等）撞擊固體表面，將固體表面的4004的50mm晶圓和Core2Duo的300mm晶圓原子撞擊出來(lái),，利用這一現(xiàn)象來(lái)形成薄膜的技術(shù)即讓等離子體中的離子加速,，撞擊原料靶材，將撞擊出...

B+3)透過(guò)SiO2膜注入襯底,，形成P型阱離子注入法是利用電場(chǎng)加速雜質(zhì)離子,，將其注入硅襯底中的方法。離子注入法的特點(diǎn)是可以精密地控制擴(kuò)散法難以得到的低濃度雜質(zhì)分布,。MOS電路制造中,，器件隔離工序中防止寄生溝道用的溝道截?cái)啵{(diào)整閥值電壓用的溝道摻雜,，CMOS的阱形成及源漏區(qū)的形成,，要采用離子注入法來(lái)?yè)诫s。離子注入法通常是將欲摻入半導(dǎo)體中的雜質(zhì)在離子源中離子化,，然后將通過(guò)質(zhì)量分析磁極后選定了離子進(jìn)行加速,，注入基片中。退火處理去除光刻膠放高溫爐中進(jìn)行退火處理以消除晶圓中晶格缺陷和內(nèi)應(yīng)力,，以恢復(fù)晶格的完整性,。使植入的摻雜原子擴(kuò)散到替代位置,，產(chǎn)生電特性。去除氮化硅層用熱磷酸去除氮化硅層,，摻雜磷(...

作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案。所述移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)組件帶動(dòng)所述托臂在所述固定板上滑動(dòng),。作為推薦方案，所述傳動(dòng)組件包括主動(dòng)輪,、從動(dòng)輪和同步帶,，所述主動(dòng)輪連接在所述移動(dòng)電機(jī)的輸出端，所述從動(dòng)輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述固定板上,，所述主動(dòng)輪和所述從動(dòng)輪通過(guò)所述同步帶相連接,，所述托臂固...

成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體的材料，經(jīng)過(guò)照相制版,，研磨,，拋光，切片等程序,，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,，然后切割成一片一片薄薄的晶圓。硅片用于集成電路（IC）基板,、半導(dǎo)體封裝襯底材料,，硅片劃切質(zhì)量直接影響芯片的良品率及制造成本,。硅片劃片方法主要有金剛石砂輪劃片,、激光劃片。激光劃片是利用高能激光束聚焦產(chǎn)生的高溫使照射局部范圍內(nèi)的硅材料瞬間氣化,，完成硅片分離,，但高溫會(huì)使切縫周圍產(chǎn)生熱應(yīng)力。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一...

從動(dòng)輪盤(pán)與豎向桿面向齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。底板上對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的周向邊緣設(shè)置有軸承,，驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的周向邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在軸承上,。推薦的，底板還設(shè)置有相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)限位輪座,，軸承和驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間,。其中，齒圈固定板可以是與行星架的齒圈為一體構(gòu)造,，也即如圖所示,，齒圈固定板上的通孔上沿其周向設(shè)置內(nèi)齒作為齒圈。軸承可為法蘭軸承,，數(shù)量可為兩個(gè),，兩個(gè)軸承分別設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間，且每個(gè)軸承設(shè)置在一個(gè)限位輪座上,，軸承與限位輪座均位于驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的下方,。軸承的設(shè)置不能夠支撐驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)，使驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)能夠轉(zhuǎn)動(dòng),，且配合限位輪座能夠限位驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的位置,，同時(shí)還可使得固定架在水平設(shè)置時(shí)，從動(dòng)輪盤(pán)與底板泰克光電（...

我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。安裝板安裝在晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)上，升降驅(qū)動(dòng)器通過(guò)升降絲桿機(jī)構(gòu)與升降板連接,，升降絲桿機(jī)構(gòu)豎直安裝在安裝板上,，升降絲桿機(jī)構(gòu)的輸入端與升降驅(qū)動(dòng)器的輸出端連接，升降絲桿機(jī)構(gòu)的輸出端與升降板連接,。安裝板是整個(gè)升降裝置的承載基礎(chǔ),。安裝板和升降驅(qū)動(dòng)器均豎直固定在晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)上。安裝板上安裝有升降絲桿機(jī)構(gòu),，利用升降絲桿機(jī)構(gòu)傳遞動(dòng)力,，具有傳遞精度高的優(yōu)點(diǎn)。具體的，升降絲桿機(jī)構(gòu)包括豎直安裝在安裝板上的升降絲桿和升降螺母接在升降絲桿上的升降螺母,，升降絲桿與升降電機(jī)的輸出端連接,，隨升降電機(jī)的輸...

可同時(shí)橫跨兩條滑軌并在兩條滑軌上來(lái)回移動(dòng)。本實(shí)用新型的工作過(guò)程為：使用者需要搬運(yùn)晶圓時(shí),。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案?？上雀鶕?jù)晶圓的尺寸,，設(shè)定兩個(gè)托臂之間的間距，具體操作為：通過(guò)控制系統(tǒng)控制移動(dòng)...

且所述片盒架能夠相對(duì)所述固定架自轉(zhuǎn),，所述固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與所述片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置,。進(jìn)一步地，所述片盒架的數(shù)量為多個(gè),，多個(gè)所述片盒架沿所述固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在所述固定架上,。進(jìn)一步地，所述固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤(pán),、從動(dòng)輪盤(pán)和連接桿,，所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與所述從動(dòng)輪盤(pán)同軸相對(duì)設(shè)置，且,，所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和所述從動(dòng)輪盤(pán)分別可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在所述安裝座上,，所述連接桿固定連接在所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與所述從動(dòng)輪盤(pán)之間；所述片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和所述從動(dòng)輪盤(pán)之間,。進(jìn)一步地,，所述片盒架包括同軸相對(duì)設(shè)置的限位盤(pán)和第二限位盤(pán),，所述限位盤(pán)與所述第二限位盤(pán)之間設(shè)置有多根限位桿,，多根所述限位桿沿所述限位盤(pán)的周向間隔設(shè)置,，多...

多個(gè)定位槽沿限位桿的長(zhǎng)度方向依次間隔布置。在具體使用時(shí),，將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),，并通過(guò)三根限位桿進(jìn)行限位固定?？梢岳斫獾氖?，定位槽可使得晶圓固定穩(wěn)定性得到提高，且使得各個(gè)晶圓之間具有間隙,，以使每個(gè)晶圓都能充分清洗,。為了簡(jiǎn)化設(shè)備，本實(shí)施例晶圓加工固定裝置還包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu),。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光...

升降板滑動(dòng)連接在導(dǎo)軌上。進(jìn)一步地,，為了使托臂能夠在水平方向上自由移動(dòng),。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。以便更好地承托晶圓,，托臂通過(guò)移動(dòng)模塊安裝在升降板上,，移動(dòng)模塊與控制...

多個(gè)定位槽沿限位桿的長(zhǎng)度方向依次間隔布置。在具體使用時(shí),，將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),，并通過(guò)三根限位桿進(jìn)行限位固定?？梢岳斫獾氖?，定位槽可使得晶圓固定穩(wěn)定性得到提高，且使得各個(gè)晶圓之間具有間隙,，以使每個(gè)晶圓都能充分清洗,。為了簡(jiǎn)化設(shè)備，本實(shí)施例晶圓加工固定裝置還包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu),。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光...

移動(dòng)至夾取機(jī)構(gòu)的下方，并盡量貼近夾取機(jī)構(gòu)和晶圓,。夾取機(jī)構(gòu)將晶圓放置在托臂上,，能夠減少晶圓跌落摔壞的風(fēng)險(xiǎn)，使得整個(gè)晶圓搬運(yùn)過(guò)程更加安全穩(wěn)定,。綜上,，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)，其包括控制系統(tǒng),、升降裝置,、承接裝置和感應(yīng)裝置，承接裝置包括托臂,，托臂安裝在升降裝置上,，可隨升降裝置升降,。在工作狀態(tài)下，晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的夾取機(jī)構(gòu)夾住晶圓,。感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置,，并將信息反饋給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)控制升降裝置帶動(dòng)托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方,，盡量接近晶圓的位置。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共...

在外力驅(qū)動(dòng)下實(shí)現(xiàn)固定架驅(qū)動(dòng)片盒架的轉(zhuǎn)動(dòng),。片盒架安裝在從動(dòng)輪盤(pán)與行星架的行星輪之間，通過(guò)行星架的行星輪與太陽(yáng)輪以及齒圈的連接,，構(gòu)成片盒架的自轉(zhuǎn)部分,。限位輪座安裝在底板上、軸承安裝在限位輪座上,，對(duì)驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)進(jìn)行限位支撐,；橫向安裝軸安裝在豎向桿上，與齒圈固定板的安裝凸軸構(gòu)成與槽體連接的部分,。片盒架設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)桿,，轉(zhuǎn)動(dòng)桿可在限位盤(pán)和第二限位盤(pán)之間活動(dòng)，方便晶圓放置和拆卸,。本實(shí)施例晶圓加工固定裝置通過(guò)驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)帶動(dòng)整體多個(gè)片盒架轉(zhuǎn)動(dòng),，可以使浸泡在藥液中的晶圓充分清洗，提高終的清洗效果,；且可通過(guò)行星輪與齒圈的連接,，實(shí)現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn)，使晶圓加工更加均勻,；同時(shí),，支持多種片盒架，通過(guò)更換片盒架形式,，可以多個(gè)相...

這種裝置稱為磁控濺射裝置（magnetronsputterapparatus）,，以高電壓將通入惰性氬體游離，再藉由陰極電場(chǎng)加速吸引帶正電的離子,，撞擊在陰極處的靶材,，將欲鍍物打出后沉積在基板上。一般均加磁場(chǎng)方式增加電子的游離路徑,，可增加氣體的解離率,，若靶材為金屬,，則使用DC電場(chǎng)即可，若為非金屬則因靶材表面累積正電荷,，導(dǎo)致往后的正離子與之相斥而無(wú)法繼續(xù)吸引正離子,，所以改為RF電場(chǎng)（因場(chǎng)的振蕩頻率變化太快，使正離子跟不上變化,，而讓RF-in的地方呈現(xiàn)陰極效應(yīng)）即可解決問(wèn)題,。光刻技術(shù)定出VIA孔洞沉積第二層金屬，并刻蝕出連線結(jié)構(gòu),。然后,，用PECVD法氧化層和氮化硅保護(hù)層。光刻和離子刻蝕定出PA...

作為推薦方案,，所述固定板的頂部設(shè)有至少一條滑軌,，所述托臂的底部通過(guò)滑塊滑動(dòng)連接在所述滑軌上，所述滑塊的頂部與所述托臂的底側(cè)固定連接,，所述滑塊的底部與所述滑軌滑動(dòng)連接,。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果在于：本實(shí)用新型實(shí)施例的晶圓移載機(jī)構(gòu)包括控制系統(tǒng),、升降裝置,、承接裝置和感應(yīng)裝置，承接裝置包括托臂,。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚...

從動(dòng)輪盤(pán)與豎向桿面向齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,。底板上對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的周向邊緣設(shè)置有軸承,，驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的周向邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在軸承上。推薦的,，底板還設(shè)置有相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)限位輪座,，軸承和驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間。其中,，齒圈固定板可以是與行星架的齒圈為一體構(gòu)造,，也即如圖所示，齒圈固定板上的通孔上沿其周向設(shè)置內(nèi)齒作為齒圈,。軸承可為法蘭軸承,，數(shù)量可為兩個(gè),，兩個(gè)軸承分別設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間，且每個(gè)軸承設(shè)置在一個(gè)限位輪座上,，軸承與限位輪座均位于驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的下方,。軸承的設(shè)置不能夠支撐驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)，使驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)能夠轉(zhuǎn)動(dòng),，且配合限位輪座能夠限位驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的位置,，同時(shí)還可使得固定架在水平設(shè)置時(shí)，從動(dòng)輪盤(pán)與底板泰克光電（...

我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。安裝板安裝在晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)上,，升降驅(qū)動(dòng)器通過(guò)升降絲桿機(jī)構(gòu)與升降板連接,，升降絲桿機(jī)構(gòu)豎直安裝在安裝板上，升降絲桿機(jī)構(gòu)的輸入端與升降驅(qū)動(dòng)器的輸出端連接,，升降絲桿機(jī)構(gòu)的輸出端與升降板連接,。安裝板是整個(gè)升降裝置的承載基礎(chǔ)。安裝板和升降驅(qū)動(dòng)器均豎直固定在晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)上,。安裝板上安裝有升降絲桿機(jī)構(gòu),，利用升降絲桿機(jī)構(gòu)傳遞動(dòng)力，具有傳遞精度高的優(yōu)點(diǎn),。具體的,，升降絲桿機(jī)構(gòu)包括豎直安裝在安裝板上的升降絲桿和升降螺母接在升降絲桿上的升降螺母，升降絲桿與升降電機(jī)的輸出端連接,，隨升降電機(jī)的輸...

泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置,，也即固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸線相交或平行,，也即固定架和片盒架的旋轉(zhuǎn)軌跡是不重合的，以使固定架帶動(dòng)片盒架的旋轉(zhuǎn)與片盒架的自轉(zhuǎn)能夠是兩種不同的旋轉(zhuǎn),。固定架帶動(dòng)片盒架的旋轉(zhuǎn)是為了實(shí)現(xiàn)片盒架與清洗槽內(nèi)的不同位置的清洗液接觸,，由于在清洗晶圓的過(guò)程中,，一般清洗槽是水平放置的，固定架推薦可繞水平的旋轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動(dòng),，以帶動(dòng)片盒架在清洗槽的不同深度移動(dòng),，片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線可以是如...

夾取機(jī)構(gòu)將晶圓拖到承載裝置上，由升降裝置帶動(dòng)承載裝置下降到檢測(cè)位置,，能夠防止因夾取機(jī)構(gòu)夾不緊,，使得晶圓從高處跌落，造成損壞的情況發(fā)生,，使得晶圓運(yùn)輸更加安全可靠,。附圖說(shuō)明圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)的立體圖；圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置的立體圖,；圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的移動(dòng)模塊的立體圖,；圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的托臂、滑軌和滑塊的連接結(jié)構(gòu)示意圖,。圖中,，、感應(yīng)裝置,；,、承接裝置；,、托臂,；、限位部,；,、承托部；,、升降裝置,；、升降驅(qū)動(dòng)器,；,、升降板；,、安裝板,；、升降絲桿機(jī)構(gòu),；,、聯(lián)軸器；,、移動(dòng)模塊,；,、固定板；,、移動(dòng)電機(jī),；、傳動(dòng)組件,；,、主動(dòng)輪；,、從動(dòng)輪,；、同步帶,；,、滑軌...

生長(zhǎng)的單晶硅棒直徑越大。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關(guān),，雖然半導(dǎo)體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成,，但是晶圓的厚度一般要達(dá)到1mm，才能保證足夠的機(jī)械應(yīng)力支撐,，因此晶圓的厚度會(huì)隨直徑的增長(zhǎng)而增長(zhǎng),。晶圓制造廠把這些多晶硅融解,，再在融液里種入籽晶,，然后將其慢慢拉出，以形成圓柱狀的單晶硅晶棒,，由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成,，此過(guò)程稱為“長(zhǎng)晶”。硅晶棒再經(jīng)過(guò)切段,，滾磨,，切片，倒角,，拋光,，激光刻，包裝后,，即成為集成電路工廠的基本原料——硅晶圓片,，這就是“晶圓”。晶圓基本原料編輯晶圓硅是由石英砂所精練出來(lái)的,，晶圓便是硅元素加以純化（）,，接著是將這些純硅制成...

多個(gè)定位槽沿限位桿的長(zhǎng)度方向依次間隔布置。在具體使用時(shí),，將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),，并通過(guò)三根限位桿進(jìn)行限位固定,。可以理解的是,，定位槽可使得晶圓固定穩(wěn)定性得到提高,，且使得各個(gè)晶圓之間具有間隙，以使每個(gè)晶圓都能充分清洗,。為了簡(jiǎn)化設(shè)備,，本實(shí)施例晶圓加工固定裝置還包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光...