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無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。間隔設(shè)置。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。為了方便安裝座安裝在清洗槽上,，本實(shí)施例的齒圈固定板...

多個(gè)定位槽沿限位桿的長(zhǎng)度方向依次間隔布置,。在具體使用時(shí)，將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),，并通過(guò)三根限位桿進(jìn)行限位固定,。可以理解的是,，定位槽可使得晶圓固定穩(wěn)定性得到提高,，且使得各個(gè)晶圓之間具有間隙，以使每個(gè)晶圓都能充分清洗,。為了簡(jiǎn)化設(shè)備,，本實(shí)施例晶圓加工固定裝置還包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光...

我們都能提供適合的共晶解決方案。到達(dá)基片的原料分子不具有表面移動(dòng)的能量,，立即凝結(jié)在基片的表面,，所以，在具有臺(tái)階的表面上以真空蒸發(fā)法淀積薄膜時(shí),，一般,，表面被覆性（覆蓋程度）是不理想的。但若可將Crambo真空抽至超高真空（<10–8torr）,，并且控制電流,，使得欲鍍物以一顆一顆原子蒸鍍上去即成所謂分子束磊晶生長(zhǎng)（MBE：MolecularBeamEpitaxy）。（3）濺鍍（SputteringDeposition）所謂濺射是用高速粒子（如氬離子等）撞擊固體表面,，將固體表面的4004的50mm晶圓和Core2Duo的300mm晶圓原子撞擊出來(lái),，利用這一現(xiàn)象來(lái)形成薄膜的技術(shù)即讓等離子體中的...

在外力驅(qū)動(dòng)下實(shí)現(xiàn)固定架驅(qū)動(dòng)片盒架的轉(zhuǎn)動(dòng)。片盒架安裝在從動(dòng)輪盤與行星架的行星輪之間,，通過(guò)行星架的行星輪與太陽(yáng)輪以及齒圈的連接,，構(gòu)成片盒架的自轉(zhuǎn)部分。限位輪座安裝在底板上,、軸承安裝在限位輪座上,，對(duì)驅(qū)動(dòng)輪盤進(jìn)行限位支撐,；橫向安裝軸安裝在豎向桿上，與齒圈固定板的安裝凸軸構(gòu)成與槽體連接的部分,。片盒架設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)桿,，轉(zhuǎn)動(dòng)桿可在限位盤和第二限位盤之間活動(dòng)，方便晶圓放置和拆卸,。本實(shí)施例晶圓加工固定裝置通過(guò)驅(qū)動(dòng)輪盤帶動(dòng)整體多個(gè)片盒架轉(zhuǎn)動(dòng),，可以使浸泡在藥液中的晶圓充分清洗，提高終的清洗效果,；且可通過(guò)行星輪與齒圈的連接,，實(shí)現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn)，使晶圓加工更加均勻,；同時(shí),，支持多種片盒架，通過(guò)更換片盒架形式,，可以多個(gè)相...

作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。所述移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)組件帶動(dòng)所述托臂在所述固定板上滑動(dòng)。作為推薦方案,，所述傳動(dòng)組件包括主動(dòng)輪,、從動(dòng)輪和同步帶，所述主動(dòng)輪連接在所述移動(dòng)電機(jī)的輸出端,，所述從動(dòng)輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述固定板上,，所述主動(dòng)輪和所述從動(dòng)輪通過(guò)所述同步帶相連接，所述托臂固...

PECVD等,。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法,。一般而言，PVD溫度低，沒(méi)有毒氣問(wèn)題,；CVD溫度高,，需達(dá)到1000oC以上將氣體解離，來(lái)產(chǎn)生化學(xué)作用,。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些,，PVD適用于在光電產(chǎn)業(yè)，而半導(dǎo)體制程中的金屬導(dǎo)電膜大多使用PVD來(lái)沉積,，而其他絕緣膜則大多數(shù)采用要求較嚴(yán)謹(jǐn)?shù)腃VD技術(shù),。以PVD被覆硬質(zhì)薄膜具有度，耐腐蝕等特點(diǎn),。（2）真空蒸發(fā)法（EvaporationDeposition）采用電阻加熱或感應(yīng)加熱或者電子束等加熱法將原料蒸發(fā)淀積到基片上的一種常用的成膜方法,。蒸發(fā)原料的分子（或原子）的平均自由程長(zhǎng)（10-4Pa以下，達(dá)幾十米）,，所以在真空中幾乎不與其他分...

槽式清洗機(jī)以高效,、可靠和批量清洗等特性被應(yīng)用。隨著晶圓尺寸變大和晶圓表面的數(shù)字化圖形尺寸變小,，為了保證晶圓加工的均勻性和終清洗效果,，對(duì)槽式清洗機(jī)的要求越來(lái)越高。如何提高晶圓的清洗均勻性是目前一直在研究的重要課題,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓加工固定裝置,，以提高晶圓的清洗均勻性。本發(fā)明的目的還在于提供一種晶圓加工設(shè)備,，以提供晶圓的清洗均勻性,。本發(fā)明提供的晶圓加工固定裝置,，包括安裝座,、固定架和片盒架，所述固定架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在所述安裝座上,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶...

且所述太陽(yáng)輪的軸線與所述驅(qū)動(dòng)輪盤的旋轉(zhuǎn)軸線共線設(shè)置，所述行星架的行星輪與所述片盒架的所述限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接,，且每個(gè)行星輪至多連接一個(gè)所述限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸,，每個(gè)所述行星輪的軸線與其對(duì)應(yīng)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸共線設(shè)置；所述行星架的齒圈固定設(shè)置,。進(jìn)一步地,，所述行星架的行星輪的數(shù)量為個(gè)，所述片盒架的數(shù)量為個(gè)，所述行星輪與所述片盒架一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,。進(jìn)一步地,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制...

且所述太陽(yáng)輪的軸線與所述驅(qū)動(dòng)輪盤的旋轉(zhuǎn)軸線共線設(shè)置,，所述行星架的行星輪與所述片盒架的所述限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，且每個(gè)行星輪至多連接一個(gè)所述限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸,，每個(gè)所述行星輪的軸線與其對(duì)應(yīng)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸共線設(shè)置,；所述行星架的齒圈固定設(shè)置。進(jìn)一步地,，所述行星架的行星輪的數(shù)量為個(gè),，所述片盒架的數(shù)量為個(gè)，所述行星輪與所述片盒架一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,。進(jìn)一步地,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制...

本實(shí)施例晶圓加工固定裝置由于固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線是非共線的,，所以固定架能夠帶動(dòng)片盒架在清洗槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)，使得片盒架能夠與清洗槽內(nèi)的不同位置的清洗液接觸,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，...

本實(shí)用新型實(shí)施例推薦實(shí)施例的一種晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),，其包括控制系統(tǒng)、升降裝置,、承接裝置和感應(yīng)裝置,，升降裝置包括升降驅(qū)動(dòng)器和升降板，升降驅(qū)動(dòng)器安裝在晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)上,，升降驅(qū)動(dòng)器的輸入端與控制系統(tǒng)電連接,。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工...

因在于OH基SiO2膜中的擴(kuò)散系數(shù)比O2的大,。氧化反應(yīng),，Si表面向深層移動(dòng),，距離為SiO2膜厚的。因此,，不同厚度的SiO2膜,，去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明,，通過(guò)光干涉來(lái)估計(jì)膜的厚度,。這種干涉色的周期約為200nm，如果預(yù)告知道是幾次干涉，就能正確估計(jì),。對(duì)其他的透明薄膜,，如知道其折射率，也可用公式計(jì)算出(dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2),。SiO2膜很薄時(shí),，看不到干涉色，但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來(lái)判斷SiO2膜是否存在,。也可用干涉膜計(jì)或橢圓儀等測(cè)出,。SiO2和Si界面能級(jí)密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得。(100)面的Si...

泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),。背景技術(shù)：目前,，集成電路產(chǎn)業(yè)是我國(guó)大力發(fā)展的重要科技產(chǎn)業(yè)，...

個(gè)片盒架間隔設(shè)置在固定架的旋轉(zhuǎn)方向上,?？梢岳斫獾氖牵屑艿臄?shù)量為多個(gè),，固定架可以一次帶動(dòng)多個(gè)片盒架移動(dòng),，提高了一次清洗的晶圓的數(shù)量，相應(yīng)的提高了晶圓的清洗,、加工效率,。作為本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的一個(gè)具體實(shí)施例,，固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤、從動(dòng)輪盤和連接桿,，驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤同軸相對(duì)設(shè)置,，連接桿固定連接在驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤之間。片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤之間,。其中,，連接桿的數(shù)量可為多根，在本實(shí)施例中連接桿的數(shù)量為三根,，其中一根連接桿為中心連接軸,，中心連接軸連接在驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤的中心上，另兩根連接桿為加強(qiáng)桿,，兩根加強(qiáng)桿設(shè)在中心連接軸的兩側(cè),。需要注意的是。泰克光電（TechOptic...

下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,，顯而易見(jiàn)地,，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖,。圖為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓加工固定裝置的示意圖,；圖為本發(fā)明實(shí)施例通的晶圓加工固定裝置的片盒架的示意圖。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)...

所述驅(qū)動(dòng)輪盤設(shè)置在所述齒圈固定板背離所述豎向桿的一側(cè)，所述從動(dòng)輪盤與所述豎向桿面向所述齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,；所述底板上對(duì)應(yīng)所述驅(qū)動(dòng)輪盤的周向邊緣設(shè)置有軸承,，所述驅(qū)動(dòng)輪盤的周向邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述軸承上。進(jìn)一步地,，所述底板還設(shè)置有相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)限位輪座,，所述軸承和驅(qū)動(dòng)輪盤設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間,。進(jìn)一步地，所述齒圈固定板連接有安裝凸軸,；所述豎向桿上設(shè)置橫向安裝軸。進(jìn)一步地,，所述齒圈固定板與所述豎向桿的頂端之間連接有拉桿。本發(fā)明提供的晶圓加工設(shè)備,，包括如上述任一項(xiàng)所述的晶圓加工固定裝置。本發(fā)明提供的晶圓加工固定裝置,，包括安裝座,、固定架和片盒架，固定架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在安裝座上,，片盒架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安...

我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。生長(zhǎng)的單晶硅棒直徑越大。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關(guān),，雖然半導(dǎo)體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成,，但是晶圓的厚度一般要達(dá)到1mm，才能保證足夠的機(jī)械應(yīng)力支撐,，因此晶圓的厚度會(huì)隨直徑...

達(dá)到阻止下一步中n型雜質(zhì)注入P型阱中,。去除SIO2層退火處理，然后用HF去除SiO2層,。干法氧化法干法氧化法生成一層SiO2層,，然后LPCVD沉積一層氮化硅,。此時(shí)P阱的表面因SiO2層的生長(zhǎng)與刻蝕已低于N阱的表面水平面。這里的SiO2層和氮化硅的作用與前面一樣,。接下來(lái)的步驟是為了隔離區(qū)和柵極與晶面之間的隔離層,。光刻技術(shù)和離子刻蝕技術(shù)利用光刻技術(shù)和離子刻蝕技術(shù)，保留下柵隔離層上面的氮化硅層,。濕法氧化生長(zhǎng)未有氮化硅保護(hù)的SiO2層,，形成PN之間的隔離區(qū)。生成SIO2薄膜熱磷酸去除氮化硅,，然后用HF溶液去除柵隔離層位置的SiO2,，并重新生成品質(zhì)更好的SiO2薄膜,作為柵極氧化層。氧化LPCV...

在外力驅(qū)動(dòng)下實(shí)現(xiàn)固定架驅(qū)動(dòng)片盒架的轉(zhuǎn)動(dòng),。片盒架安裝在從動(dòng)輪盤與行星架的行星輪之間,，通過(guò)行星架的行星輪與太陽(yáng)輪以及齒圈的連接，構(gòu)成片盒架的自轉(zhuǎn)部分,。限位輪座安裝在底板上,、軸承安裝在限位輪座上，對(duì)驅(qū)動(dòng)輪盤進(jìn)行限位支撐,；橫向安裝軸安裝在豎向桿上,，與齒圈固定板的安裝凸軸構(gòu)成與槽體連接的部分。片盒架設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)桿,，轉(zhuǎn)動(dòng)桿可在限位盤和第二限位盤之間活動(dòng),，方便晶圓放置和拆卸。本實(shí)施例晶圓加工固定裝置通過(guò)驅(qū)動(dòng)輪盤帶動(dòng)整體多個(gè)片盒架轉(zhuǎn)動(dòng),，可以使浸泡在藥液中的晶圓充分清洗,，提高終的清洗效果；且可通過(guò)行星輪與齒圈的連接,，實(shí)現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),，使晶圓加工更加均勻；同時(shí),，支持多種片盒架,，通過(guò)更換片盒架形式，可以多個(gè)相...

濺鍍鈦+氮化鈦+鋁+氮化鈦等多層金屬膜,。離子刻蝕出布線結(jié)構(gòu),，并用PECVD在上面沉積一層SiO2介電質(zhì)。并用SOG(spinonglass)使表面平坦,，加熱去除SOG中的溶劑,。然后再沉積一層介電質(zhì)，為沉積第二層金屬作準(zhǔn)備,。（1）薄膜的沉積方法根據(jù)其用途的不同而不同,，厚度通常小于1um,。有絕緣膜、半導(dǎo)體薄膜,、金屬薄膜等各種各樣的薄膜,。薄膜的沉積法主要有利用化學(xué)反應(yīng)的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理現(xiàn)象的PVD(physicalvapordeposition)法兩大類,。CVD法有外延生長(zhǎng)法,、HCVD，PECVD等,。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法,。一般而言，PV...

也即太陽(yáng)輪的輪軸與驅(qū)動(dòng)輪盤的中心連接軸同軸,；行星架的行星輪與片盒架的限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接,，且每個(gè)行星輪至多連接一個(gè)限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，每個(gè)行星輪的軸線與其對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸共線設(shè)置,；行星架的齒圈固定設(shè)置,。其中，每個(gè)片盒架的轉(zhuǎn)動(dòng)軸都需要連接一個(gè)行星輪,，以實(shí)現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),，但是行星輪的數(shù)量可以大于片盒架的數(shù)量，多余的行星輪可以是空轉(zhuǎn),，也即不連接片盒架,。推薦的，行星輪與片盒架的數(shù)量一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,，在本實(shí)施例中,，行星架的行星輪的數(shù)量為個(gè)，片盒架的數(shù)量為個(gè),，行星輪與片盒架一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,。在本實(shí)施例中，如圖所示,，行星架的太陽(yáng)輪設(shè)置在驅(qū)動(dòng)輪盤靠近從動(dòng)輪盤的一側(cè),，驅(qū)動(dòng)輪盤的背離被動(dòng)驅(qū)動(dòng)輪盤的一側(cè)設(shè)置有與電機(jī)等驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)...

個(gè)片盒架間隔設(shè)置在固定架的旋轉(zhuǎn)方向上?？梢岳斫獾氖?，片盒架的數(shù)量為多個(gè)，固定架可以一次帶動(dòng)多個(gè)片盒架移動(dòng),，提高了一次清洗的晶圓的數(shù)量,，相應(yīng)的提高了晶圓的清洗、加工效率,。作為本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的一個(gè)具體實(shí)施例,，固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤,、從動(dòng)輪盤和連接桿，驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤同軸相對(duì)設(shè)置,，連接桿固定連接在驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤之間,。片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤之間。其中,，連接桿的數(shù)量可為多根,，在本實(shí)施例中連接桿的數(shù)量為三根，其中一根連接桿為中心連接軸,，中心連接軸連接在驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤的中心上,，另兩根連接桿為加強(qiáng)桿，兩根加強(qiáng)桿設(shè)在中心連接軸的兩側(cè),。需要注意的是,。泰克光電（TechOptic...

因在于OH基SiO2膜中的擴(kuò)散系數(shù)比O2的大。氧化反應(yīng),，Si表面向深層移動(dòng),，距離為SiO2膜厚的。因此,，不同厚度的SiO2膜,，去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明,，通過(guò)光干涉來(lái)估計(jì)膜的厚度,。這種干涉色的周期約為200nm，如果預(yù)告知道是幾次干涉,，就能正確估計(jì),。對(duì)其他的透明薄膜，如知道其折射率,，也可用公式計(jì)算出(dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2),。SiO2膜很薄時(shí)，看不到干涉色,，但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來(lái)判斷SiO2膜是否存在,。也可用干涉膜計(jì)或橢圓儀等測(cè)出。SiO2和Si界面能級(jí)密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得,。(100)面的Si...

我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。安裝板安裝在晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)上，升降驅(qū)動(dòng)器通過(guò)升降絲桿機(jī)構(gòu)與升降板連接,，升降絲桿機(jī)構(gòu)豎直安裝在安裝板上,，升降絲桿機(jī)構(gòu)的輸入端與升降驅(qū)動(dòng)器的輸出端連接，升降絲桿機(jī)構(gòu)的輸出端與升降板連接,。安裝板是整個(gè)升降裝置的承載基礎(chǔ),。安裝板和升降驅(qū)動(dòng)器均豎直固定在晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)上。安裝板上安裝有升降絲桿機(jī)構(gòu),，利用升降絲桿機(jī)構(gòu)傳遞動(dòng)力,，具有傳遞精度高的優(yōu)點(diǎn)。具體的,，升降絲桿機(jī)構(gòu)包括豎直安裝在安裝板上的升降絲桿和升降螺母接在升降絲桿上的升降螺母,，升降絲桿與升降電機(jī)的輸出端連接,，隨升降電機(jī)的輸...

固定板水平安裝在升降板的頂側(cè),，移動(dòng)電機(jī)豎直固定在固定板的底側(cè)?？刂葡到y(tǒng)控制移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)托臂在固定板上來(lái)回移動(dòng),，以便靈活調(diào)整托臂在水平方向上的位置。傳動(dòng)組件包括主動(dòng)輪,、從動(dòng)輪和同步帶,，主動(dòng)輪連接在移動(dòng)電機(jī)的輸出端，從動(dòng)輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定板上,，主動(dòng)輪和從動(dòng)輪通過(guò)同步帶相連接,，托臂固定連接在同步帶上。主動(dòng)輪和從動(dòng)輪均可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定板的底側(cè),，主動(dòng)輪與移動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接,。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技...

濺鍍鈦+氮化鈦+鋁+氮化鈦等多層金屬膜。離子刻蝕出布線結(jié)構(gòu),，并用PECVD在上面沉積一層SiO2介電質(zhì),。并用SOG(spinonglass)使表面平坦，加熱去除SOG中的溶劑,。然后再沉積一層介電質(zhì),，為沉積第二層金屬作準(zhǔn)備。（1）薄膜的沉積方法根據(jù)其用途的不同而不同，厚度通常小于1um,。有絕緣膜,、半導(dǎo)體薄膜、金屬薄膜等各種各樣的薄膜,。薄膜的沉積法主要有利用化學(xué)反應(yīng)的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理現(xiàn)象的PVD(physicalvapordeposition)法兩大類,。CVD法有外延生長(zhǎng)法、HCVD,，PECVD等,。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法。一般而言,，PV...

個(gè)片盒架間隔設(shè)置在固定架的旋轉(zhuǎn)方向上,。可以理解的是,，片盒架的數(shù)量為多個(gè),，固定架可以一次帶動(dòng)多個(gè)片盒架移動(dòng)，提高了一次清洗的晶圓的數(shù)量,，相應(yīng)的提高了晶圓的清洗,、加工效率。作為本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的一個(gè)具體實(shí)施例,，固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤,、從動(dòng)輪盤和連接桿，驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤同軸相對(duì)設(shè)置,，連接桿固定連接在驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤之間,。片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤之間。其中,，連接桿的數(shù)量可為多根,，在本實(shí)施例中連接桿的數(shù)量為三根，其中一根連接桿為中心連接軸,，中心連接軸連接在驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤的中心上,，另兩根連接桿為加強(qiáng)桿，兩根加強(qiáng)桿設(shè)在中心連接軸的兩側(cè),。需要注意的是,。泰克光電（TechOptic...

泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。而后通過(guò)固定架帶動(dòng)片盒架轉(zhuǎn)動(dòng),，且片盒架自轉(zhuǎn)，使得片盒架上的晶圓與清洗槽內(nèi)的清洗液(藥液)充分接觸,，完成晶圓的清洗操作,。本發(fā)明晶圓加工固定裝置由于固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線是非共線的，所以固定架能夠帶動(dòng)片盒架在清洗槽內(nèi)旋轉(zhuǎn),，使得片盒架能夠與清洗槽內(nèi)的不同位置的清洗液接觸,，可以使浸...

工作人員可以通過(guò)控制系統(tǒng)控制升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降板在豎直方向上移動(dòng)。承接裝置包括至少一個(gè)托臂,，托臂與升降板連接,，可隨升降板上下移動(dòng)。在搬運(yùn)晶圓時(shí),，托臂位于夾取機(jī)構(gòu)的正下方,，且靠近晶圓。夾取機(jī)構(gòu)夾取晶圓后,，可將晶圓拖到托臂上，由升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)升降板和托臂下降,，帶動(dòng)晶圓下降到檢測(cè)位置,。從源頭上杜絕了因夾取機(jī)構(gòu)機(jī)器故障而松開晶圓，導(dǎo)致晶圓從高處掉落的事故,，減少了晶圓受損的概率,，使得晶圓運(yùn)輸更加可靠。感應(yīng)裝置安裝在托臂上,，用于感應(yīng)晶圓是否被拖放到位,，感應(yīng)裝置與控制系統(tǒng)電連接，可將晶圓的位置數(shù)據(jù)傳輸給控制系統(tǒng),，控制系統(tǒng)再控制升降裝置帶動(dòng)托臂升降到位,，以使托臂盡量靠近夾取機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施例中,，感應(yīng)裝置具...

且所述太陽(yáng)輪的軸線與所述驅(qū)動(dòng)輪盤的旋轉(zhuǎn)軸線共線設(shè)置,，所述行星架的行星輪與所述片盒架的所述限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，且每個(gè)行星輪至多連接一個(gè)所述限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸,，每個(gè)所述行星輪的軸線與其對(duì)應(yīng)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸共線設(shè)置,；所述行星架的齒圈固定設(shè)置。進(jìn)一步地，所述行星架的行星輪的數(shù)量為個(gè),，所述片盒架的數(shù)量為個(gè),，所述行星輪與所述片盒架一一對(duì)應(yīng)設(shè)置。進(jìn)一步地,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制...