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可同時(shí)橫跨兩條滑軌并在兩條滑軌上來回移動(dòng),。本實(shí)用新型的工作過程為：使用者需要搬運(yùn)晶圓時(shí)。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,?？上雀鶕?jù)晶圓的尺寸，設(shè)定兩個(gè)托臂之間的間距,，具體操作為：通過控制系統(tǒng)控制移動(dòng)...

-第二限位盤,；-晶圓。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行清楚,、完整地描述,，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,，而不是全部的實(shí)施例,?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例,，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍,。如圖和圖所示,，本實(shí)施例提供一種晶圓加工固定裝置，用于在晶圓的清洗步驟中,，固定晶圓,。該晶圓加工固定裝置包括安裝座、固定架和片盒架,。固定架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在安裝座上,，片盒架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在固定架上。固定架能夠帶動(dòng)片盒架一起轉(zhuǎn)動(dòng),，且片盒架能夠同步相對(duì)固定架自轉(zhuǎn),，固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置?？梢岳斫獾氖?，固定架的旋轉(zhuǎn)軸線...

我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。生長的單晶硅棒直徑越大。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關(guān),，雖然半導(dǎo)體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成,，但是晶圓的厚度一般要達(dá)到1mm，才能保證足夠的機(jī)械應(yīng)力支撐,，因此晶圓的厚度會(huì)隨直徑...

以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤可拆卸連接,，和/或所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤滑動(dòng)連接,，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端能夠相對(duì)所述限位盤和第二限位盤固定。進(jìn)一步地,，所述限位盤和所述第二限位盤分別沿其周向設(shè)置有導(dǎo)向槽,，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿滑動(dòng)連...

我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。生長的單晶硅棒直徑越大。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關(guān),，雖然半導(dǎo)體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成,，但是晶圓的厚度一般要達(dá)到1mm，才能保證足夠的機(jī)械應(yīng)力支撐,，因此晶圓的厚度會(huì)隨直徑...

本實(shí)施例給出的是一個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)同步驅(qū)動(dòng)固定架和片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)的形式,，自然也可以是固定架單獨(dú)驅(qū)動(dòng)，片盒架單獨(dú)驅(qū)動(dòng)的形式,。但是相比,，固定架單獨(dú)驅(qū)動(dòng)、片盒架單獨(dú)驅(qū)動(dòng)的形式,，本實(shí)施例晶圓加工固定裝置結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單,、且緊湊,。在本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的片盒架與固定架可以是可拆卸的轉(zhuǎn)動(dòng)連接,，以方便通過更換片盒架實(shí)現(xiàn)不同尺寸的晶圓的清洗。綜上所述,，本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的齒圈固定板和豎向桿安裝在底板上,，同時(shí)由拉桿連接，構(gòu)成基本框架,，也即安裝座,；從動(dòng)輪盤安裝在豎向桿上，通過連接桿與驅(qū)動(dòng)輪盤連接,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶...

固定板水平安裝在升降板的頂側(cè)，移動(dòng)電機(jī)豎直固定在固定板的底側(cè),?？刂葡到y(tǒng)控制移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)托臂在固定板上來回移動(dòng)，以便靈活調(diào)整托臂在水平方向上的位置,。傳動(dòng)組件包括主動(dòng)輪,、從動(dòng)輪和同步帶，主動(dòng)輪連接在移動(dòng)電機(jī)的輸出端,，從動(dòng)輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定板上,，主動(dòng)輪和從動(dòng)輪通過同步帶相連接，托臂固定連接在同步帶上,。主動(dòng)輪和從動(dòng)輪均可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定板的底側(cè),，主動(dòng)輪與移動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技...

BPSG)加熱到800oC時(shí)會(huì)軟化并有流動(dòng)特性,，可使晶圓表面初級(jí)平坦化,。深處理濺鍍層金屬利用光刻技術(shù)留出金屬接觸洞。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。濺鍍鈦+氮化鈦...

所述驅(qū)動(dòng)輪盤設(shè)置在所述齒圈固定板背離所述豎向桿的一側(cè),，所述從動(dòng)輪盤與所述豎向桿面向所述齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述底板上對(duì)應(yīng)所述驅(qū)動(dòng)輪盤的周向邊緣設(shè)置有軸承,，所述驅(qū)動(dòng)輪盤的周向邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述軸承上。進(jìn)一步地,，所述底板還設(shè)置有相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)限位輪座,，所述軸承和驅(qū)動(dòng)輪盤設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間。進(jìn)一步地,，所述齒圈固定板連接有安裝凸軸；所述豎向桿上設(shè)置橫向安裝軸,。進(jìn)一步地,，所述齒圈固定板與所述豎向桿的頂端之間連接有拉桿,。本發(fā)明提供的晶圓加工設(shè)備,，包括如上述任一項(xiàng)所述的晶圓加工固定裝置。本發(fā)明提供的晶圓加工固定裝置,，包括安裝座、固定架和片盒架,，固定架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在安裝座上,，片盒架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安...

工作人員可以通過控制系統(tǒng)控制升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降板在豎直方向上移動(dòng),。承接裝置包括至少一個(gè)托臂，托臂與升降板連接,，可隨升降板上下移動(dòng),。在搬運(yùn)晶圓時(shí)，托臂位于夾取機(jī)構(gòu)的正下方,，且靠近晶圓。夾取機(jī)構(gòu)夾取晶圓后,，可將晶圓拖到托臂上，由升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)升降板和托臂下降,，帶動(dòng)晶圓下降到檢測(cè)位置,。從源頭上杜絕了因夾取機(jī)構(gòu)機(jī)器故障而松開晶圓，導(dǎo)致晶圓從高處掉落的事故,，減少了晶圓受損的概率，使得晶圓運(yùn)輸更加可靠,。感應(yīng)裝置安裝在托臂上，用于感應(yīng)晶圓是否被拖放到位,，感應(yīng)裝置與控制系統(tǒng)電連接，可將晶圓的位置數(shù)據(jù)傳輸給控制系統(tǒng),，控制系統(tǒng)再控制升降裝置帶動(dòng)托臂升降到位,，以使托臂盡量靠近夾取機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施例中,，感應(yīng)裝置具...

泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,，特別是涉及一種晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),。背景技術(shù)：目前，集成電路產(chǎn)業(yè)是我國大力發(fā)展的重要科技產(chǎn)業(yè),，...

梯狀敷層性佳(不管多凹凸不平,，深孔中的表面亦產(chǎn)生反應(yīng),，及氣體可到達(dá)表面而附著薄膜)等,，故用途極廣。膜生成原理,，例如由揮發(fā)性金屬鹵化物(MX)及金屬有機(jī)化合物(MR)等在高溫中氣相化學(xué)反應(yīng)(熱分解,，氫還原、氧化,、替換反應(yīng)等)在基板上形成氮化物,、氧化物、碳化物,、硅化物,、硼化物、高熔點(diǎn)金屬,、金屬,、半導(dǎo)體等薄膜方法。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)...

泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,，特別是涉及一種晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)：目前,，集成電路產(chǎn)業(yè)是我國大力發(fā)展的重要科技產(chǎn)業(yè),，...

我們都能提供適合的共晶解決方案。連接桿的設(shè)置應(yīng)當(dāng)避免影響片盒架的轉(zhuǎn)動(dòng),。具體而言,，片盒架包括同軸相對(duì)設(shè)置的限位盤和第二限位盤，限位盤與第二限位盤之間設(shè)置有多根限位桿,，多根限位桿沿限位盤的周向間隔設(shè)置,，多個(gè)限位桿之間形成晶圓的放置空間。限位盤與第二限位盤相互遠(yuǎn)離的側(cè)面分別通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤轉(zhuǎn)動(dòng)連接,，且轉(zhuǎn)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)輪盤的軸線平行設(shè)置,。也即，如圖所示,，個(gè)片盒架中每個(gè)片盒架的限位盤的左側(cè)通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)輪盤連接,，第二限位盤的右側(cè)通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸與從動(dòng)輪盤連接。轉(zhuǎn)動(dòng)軸的軸線與驅(qū)動(dòng)輪盤和從動(dòng)輪盤的中心共線,，在限位盤與第二限位盤之間設(shè)置有多根平行設(shè)置的限位桿,。作為一個(gè)具體實(shí)現(xiàn)方式，如圖所示,，限位...

本實(shí)用新型實(shí)施例推薦實(shí)施例的一種晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),，其包括控制系統(tǒng),、升降裝置、承接裝置和感應(yīng)裝置,，升降裝置包括升降驅(qū)動(dòng)器和升降板,，升降驅(qū)動(dòng)器安裝在晶圓視覺檢測(cè)機(jī)上，升降驅(qū)動(dòng)器的輸入端與控制系統(tǒng)電連接,。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工...

泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。但不用來限制本實(shí)用新型的范圍,。在本實(shí)用新型的描述中,，應(yīng)當(dāng)理解的是，本實(shí)用新型中采用術(shù)語在本實(shí)用新型的描述中,，應(yīng)當(dāng)理解的是,，本實(shí)用新型中采用術(shù)語“上”、“下”,、“前”,、“后”、“左”,、“右”,、“豎直”,、“水平”、“頂”,、“底”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,，是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位,、以特定的方位構(gòu)造和操作,，因此不能理...

無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。間隔設(shè)置,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。為了方便安裝座安裝在清洗槽上,，本實(shí)施例的齒圈固定板...

隨同步帶移動(dòng)而左右移動(dòng)。托臂通過連接塊與同步帶固定連接,，連接塊的底部固定連接在同步帶上,，連接塊的頂部與托臂的底部固定連接。托臂位于固定板的頂側(cè),，以便托住晶圓,。連接塊伸出于固定板的前側(cè)或后側(cè)，托臂通過連接塊與設(shè)于固定板底側(cè)的同步帶固定連接,。連接塊有利于托臂與同步帶連接穩(wěn)固,。具體地，托臂的數(shù)量為兩個(gè),，各托臂分別固定連接在同步帶的不同輸送側(cè)上,，移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng),，帶動(dòng)從動(dòng)輪和同步帶轉(zhuǎn)動(dòng)，使得各托臂在固定板上做張合運(yùn)動(dòng),。一個(gè)托臂通過一個(gè)連接塊粘附在同步帶的前側(cè),，另一托臂通過另一連接塊連接在同步帶的后側(cè)。當(dāng)同步帶轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),，連接在不同輸送側(cè)的連接塊帶動(dòng)托臂往不同方向移動(dòng),，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)托臂在固定板上做...

需要對(duì)晶圓背面進(jìn)行濕法硅腐蝕，去除損傷層,，釋放晶圓應(yīng)力,，減小翹曲度及使表面粗糙化。使用槽式的濕法機(jī)臺(tái)腐蝕時(shí),，晶圓正面及背面均與腐蝕液接觸,，正面貼的膜必須耐腐蝕，從而保護(hù)正面的集成電路,。使用單片作業(yè)的濕法機(jī)臺(tái),，晶圓的正面通常已被機(jī)臺(tái)保護(hù)起來，不會(huì)與腐蝕液或者腐蝕性的氣體有接觸,，可以撕膜后再進(jìn)行腐蝕[3],。晶圓除氮化硅此處用干法氧化法將氮化硅去除晶圓離子注入離子布植將硼離子(B+3)透過SiO2膜注入襯底，形成P型阱離子注入法是利用電場(chǎng)加速雜質(zhì)離子,，將其注入硅襯底中的方法,。離子注入法的特點(diǎn)是可以精密地控制擴(kuò)散法難以得到的低濃度雜質(zhì)分布。MOS電路制造中,，器件隔離工序中防止寄生溝道用的溝道截...

隨同步帶移動(dòng)而左右移動(dòng),。托臂通過連接塊與同步帶固定連接，連接塊的底部固定連接在同步帶上,，連接塊的頂部與托臂的底部固定連接,。托臂位于固定板的頂側(cè)，以便托住晶圓,。連接塊伸出于固定板的前側(cè)或后側(cè)，托臂通過連接塊與設(shè)于固定板底側(cè)的同步帶固定連接,。連接塊有利于托臂與同步帶連接穩(wěn)固,。具體地，托臂的數(shù)量為兩個(gè),，各托臂分別固定連接在同步帶的不同輸送側(cè)上,，移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)從動(dòng)輪和同步帶轉(zhuǎn)動(dòng),，使得各托臂在固定板上做張合運(yùn)動(dòng),。一個(gè)托臂通過一個(gè)連接塊粘附在同步帶的前側(cè),，另一托臂通過另一連接塊連接在同步帶的后側(cè)。當(dāng)同步帶轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),，連接在不同輸送側(cè)的連接塊帶動(dòng)托臂往不同方向移動(dòng),，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)托臂在固定板上做...

我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。生長的單晶硅棒直徑越大,。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關(guān),，雖然半導(dǎo)體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成，但是晶圓的厚度一般要達(dá)到1mm,，才能保證足夠的機(jī)械應(yīng)力支撐,，因此晶圓的厚度會(huì)隨直徑...

泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,，特別是涉及一種晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),。背景技術(shù)：目前，集成電路產(chǎn)業(yè)是我國大力發(fā)展的重要科技產(chǎn)業(yè),，...

這種裝置稱為磁控濺射裝置（magnetronsputterapparatus）,，以高電壓將通入惰性氬體游離，再藉由陰極電場(chǎng)加速吸引帶正電的離子,，撞擊在陰極處的靶材,，將欲鍍物打出后沉積在基板上。一般均加磁場(chǎng)方式增加電子的游離路徑,，可增加氣體的解離率,，若靶材為金屬，則使用DC電場(chǎng)即可,，若為非金屬則因靶材表面累積正電荷,，導(dǎo)致往后的正離子與之相斥而無法繼續(xù)吸引正離子，所以改為RF電場(chǎng)（因場(chǎng)的振蕩頻率變化太快,，使正離子跟不上變化,，而讓RF-in的地方呈現(xiàn)陰極效應(yīng)）即可解決問題。光刻技術(shù)定出VIA孔洞沉積第二層金屬,，并刻蝕出連線結(jié)構(gòu),。然后，用PECVD法氧化層和氮化硅保護(hù)層,。光刻和離子刻蝕定出PA...

移動(dòng)至夾取機(jī)構(gòu)的下方,，并盡量貼近夾取機(jī)構(gòu)和晶圓。夾取機(jī)構(gòu)將晶圓放置在托臂上,，能夠減少晶圓跌落摔壞的風(fēng)險(xiǎn),，使得整個(gè)晶圓搬運(yùn)過程更加安全穩(wěn)定。綜上,，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),，其包括控制系統(tǒng)、升降裝置,、承接裝置和感應(yīng)裝置,，承接裝置包括托臂，托臂安裝在升降裝置上,，可隨升降裝置升降。在工作狀態(tài)下，晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的夾取機(jī)構(gòu)夾住晶圓,。感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置,，并將信息反饋給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)控制升降裝置帶動(dòng)托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方,，盡量接近晶圓的位置,。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共...

固定板水平安裝在升降板的頂側(cè),，移動(dòng)電機(jī)豎直固定在固定板的底側(cè),。控制系統(tǒng)控制移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)托臂在固定板上來回移動(dòng),，以便靈活調(diào)整托臂在水平方向上的位置,。傳動(dòng)組件包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪和同步帶,，主動(dòng)輪連接在移動(dòng)電機(jī)的輸出端,，從動(dòng)輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定板上，主動(dòng)輪和從動(dòng)輪通過同步帶相連接,，托臂固定連接在同步帶上,。主動(dòng)輪和從動(dòng)輪均可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定板的底側(cè)，主動(dòng)輪與移動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接,。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技...

下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施方式,，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖,。圖為本發(fā)明實(shí)施例提供的晶圓加工固定裝置的示意圖,；圖為本發(fā)明實(shí)施例通的晶圓加工固定裝置的片盒架的示意圖。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)...

B+3)透過SiO2膜注入襯底,，形成P型阱離子注入法是利用電場(chǎng)加速雜質(zhì)離子，將其注入硅襯底中的方法,。離子注入法的特點(diǎn)是可以精密地控制擴(kuò)散法難以得到的低濃度雜質(zhì)分布,。MOS電路制造中，器件隔離工序中防止寄生溝道用的溝道截?cái)?，調(diào)整閥值電壓用的溝道摻雜,，CMOS的阱形成及源漏區(qū)的形成，要采用離子注入法來摻雜,。離子注入法通常是將欲摻入半導(dǎo)體中的雜質(zhì)在離子源中離子化,，然后將通過質(zhì)量分析磁極后選定了離子進(jìn)行加速，注入基片中,。退火處理去除光刻膠放高溫爐中進(jìn)行退火處理以消除晶圓中晶格缺陷和內(nèi)應(yīng)力,，以恢復(fù)晶格的完整性。使植入的摻雜原子擴(kuò)散到替代位置,，產(chǎn)生電特性,。去除氮化硅層用熱磷酸去除氮化硅層，摻雜磷(...

這種裝置稱為磁控濺射裝置（magnetronsputterapparatus）,，以高電壓將通入惰性氬體游離,，再藉由陰極電場(chǎng)加速吸引帶正電的離子，撞擊在陰極處的靶材,，將欲鍍物打出后沉積在基板上,。一般均加磁場(chǎng)方式增加電子的游離路徑，可增加氣體的解離率,，若靶材為金屬,，則使用DC電場(chǎng)即可，若為非金屬則因靶材表面累積正電荷,，導(dǎo)致往后的正離子與之相斥而無法繼續(xù)吸引正離子,，所以改為RF電場(chǎng)（因場(chǎng)的振蕩頻率變化太快，使正離子跟不上變化,，而讓RF-in的地方呈現(xiàn)陰極效應(yīng)）即可解決問題,。光刻技術(shù)定出VIA孔洞沉積第二層金屬，并刻蝕出連線結(jié)構(gòu),。然后,，用PECVD法氧化層和氮化硅保護(hù)層,。光刻和離子刻蝕定出PA...

泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置，也即固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸線相交或平行,，也即固定架和片盒架的旋轉(zhuǎn)軌跡是不重合的,，以使固定架帶動(dòng)片盒架的旋轉(zhuǎn)與片盒架的自轉(zhuǎn)能夠是兩種不同的旋轉(zhuǎn)。固定架帶動(dòng)片盒架的旋轉(zhuǎn)是為了實(shí)現(xiàn)片盒架與清洗槽內(nèi)的不同位置的清洗液接觸,，由于在清洗晶圓的過程中,，一般清洗槽是水平放置的，固定架推薦可繞水平的旋轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動(dòng),，以帶動(dòng)片盒架在清洗槽的不同深度移動(dòng),，片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線可以是如...

無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。間隔設(shè)置,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。為了方便安裝座安裝在清洗槽上,，本實(shí)施例的齒圈固定板...