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B+3)透過(guò)SiO2膜注入襯底,，形成P型阱離子注入法是利用電場(chǎng)加速雜質(zhì)離子,，將其注入硅襯底中的方法,。離子注入法的特點(diǎn)是可以精密地控制擴(kuò)散法難以得到的低濃度雜質(zhì)分布,。MOS電路制造中，器件隔離工序中防止寄生溝道用的溝道截?cái)啵{(diào)整閥值電壓用的溝道摻雜，CMOS的阱形成及源漏區(qū)的形成，要采用離子注入法來(lái)?yè)诫s,。離子注入法通常是將欲摻入半導(dǎo)體中的雜質(zhì)在離子源中離子化，然后將通過(guò)質(zhì)量分析磁極后選定了離子進(jìn)行加速,，注入基片中,。退火處理去除光刻膠放高溫爐中進(jìn)行退火處理以消除晶圓中晶格缺陷和內(nèi)應(yīng)力，以恢復(fù)晶格的完整性,。使植入的摻雜原子擴(kuò)散到替代位置,，產(chǎn)生電特性。去除氮化硅層用熱磷酸去除氮化硅層,，摻雜磷(...

中文名晶圓外文名Wafer本質(zhì)硅晶片純度99作用制作硅半導(dǎo)體集成電路形狀圓形晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,，半導(dǎo)體集成電路主要的原料是硅，因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓,。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式存在于巖石,、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純,、單晶硅生長(zhǎng),、晶圓成型。首先是硅提純,，將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃,，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下,，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳與氧結(jié)合,，剩下硅），得到純度約為98%的純硅,，又稱作冶金級(jí)硅,，這對(duì)微電子器件來(lái)說(shuō)不夠純。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、...

到達(dá)基片的原料分子不具有表面移動(dòng)的能量，立即凝結(jié)在基片的表面,，所以,，在具有臺(tái)階的表面上以真空蒸發(fā)法淀積薄膜時(shí)，一般,，表面被覆性（覆蓋程度）是不理想的。但若可將Crambo真空抽至超高真空（<10–8torr），并且控制電流,，使得欲鍍物以一顆一顆原子蒸鍍上去即成所謂分子束磊晶生長(zhǎng)（MBE：MolecularBeamEpitaxy）,。（3）濺鍍（SputteringDeposition）所謂濺射是用高速粒子（如氬離子等）撞擊固體表面，將固體表面的4004的50mm晶圓和Core2Duo的300mm晶圓原子撞擊出來(lái),，利用這一現(xiàn)象來(lái)形成薄膜的技術(shù)即讓等離子體中的離子加速,，撞擊原料靶材，將撞擊出...

從動(dòng)輪盤(pán)與豎向桿面向齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,。底板上對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的周向邊緣設(shè)置有軸承,，驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的周向邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在軸承上。推薦的,，底板還設(shè)置有相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)限位輪座,，軸承和驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間。其中,，齒圈固定板可以是與行星架的齒圈為一體構(gòu)造,，也即如圖所示，齒圈固定板上的通孔上沿其周向設(shè)置內(nèi)齒作為齒圈,。軸承可為法蘭軸承,，數(shù)量可為兩個(gè)，兩個(gè)軸承分別設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間,，且每個(gè)軸承設(shè)置在一個(gè)限位輪座上,，軸承與限位輪座均位于驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的下方。軸承的設(shè)置不能夠支撐驅(qū)動(dòng)輪盤(pán),，使驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)能夠轉(zhuǎn)動(dòng),，且配合限位輪座能夠限位驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的位置，同時(shí)還可使得固定架在水平設(shè)置時(shí),，從動(dòng)輪盤(pán)與底板泰克光電（...

中文名晶圓外文名Wafer本質(zhì)硅晶片純度99作用制作硅半導(dǎo)體集成電路形狀圓形晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,，半導(dǎo)體集成電路主要的原料是硅，因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓,。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式存在于巖石,、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純,、單晶硅生長(zhǎng),、晶圓成型。首先是硅提純,，將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃,，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下,，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳與氧結(jié)合,，剩下硅）,，得到純度約為98%的純硅，又稱作冶金級(jí)硅,，這對(duì)微電子器件來(lái)說(shuō)不夠純,。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、...

泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,，特別是涉及一種晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),。背景技術(shù)：目前，集成電路產(chǎn)業(yè)是我國(guó)大力發(fā)展的重要科技產(chǎn)業(yè),，...

可同時(shí)橫跨兩條滑軌并在兩條滑軌上來(lái)回移動(dòng),。本實(shí)用新型的工作過(guò)程為：使用者需要搬運(yùn)晶圓時(shí)。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。可先根據(jù)晶圓的尺寸,，設(shè)定兩個(gè)托臂之間的間距,，具體操作為：通過(guò)控制系統(tǒng)控制移動(dòng)...

移動(dòng)至夾取機(jī)構(gòu)的下方，并盡量貼近夾取機(jī)構(gòu)和晶圓,。夾取機(jī)構(gòu)將晶圓放置在托臂上,，能夠減少晶圓跌落摔壞的風(fēng)險(xiǎn)，使得整個(gè)晶圓搬運(yùn)過(guò)程更加安全穩(wěn)定,。綜上,，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)，其包括控制系統(tǒng),、升降裝置,、承接裝置和感應(yīng)裝置，承接裝置包括托臂,，托臂安裝在升降裝置上,，可隨升降裝置升降。在工作狀態(tài)下,，晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的夾取機(jī)構(gòu)夾住晶圓,。感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置，并將信息反饋給控制系統(tǒng),，控制系統(tǒng)控制升降裝置帶動(dòng)托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方,，盡量接近晶圓的位置。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共...

多個(gè)定位槽沿限位桿的長(zhǎng)度方向依次間隔布置,。在具體使用時(shí)，將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),，并通過(guò)三根限位桿進(jìn)行限位固定,。可以理解的是,，定位槽可使得晶圓固定穩(wěn)定性得到提高,，且使得各個(gè)晶圓之間具有間隙,，以使每個(gè)晶圓都能充分清洗。為了簡(jiǎn)化設(shè)備,，本實(shí)施例晶圓加工固定裝置還包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu),。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光...

夾取機(jī)構(gòu)將晶圓拖到承載裝置上,，由升降裝置帶動(dòng)承載裝置下降到檢測(cè)位置,，能夠防止因夾取機(jī)構(gòu)夾不緊，使得晶圓從高處跌落,，造成損壞的情況發(fā)生,，使得晶圓運(yùn)輸更加安全可靠。附圖說(shuō)明圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)的立體圖,；圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置的立體圖,；圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的移動(dòng)模塊的立體圖；圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的托臂,、滑軌和滑塊的連接結(jié)構(gòu)示意圖,。圖中，,、感應(yīng)裝置,；、承接裝置,；,、托臂；,、限位部,；、承托部,；,、升降裝置；、升降驅(qū)動(dòng)器,；,、升降板；,、安裝板,；、升降絲桿機(jī)構(gòu),；,、聯(lián)軸器；,、移動(dòng)模塊,；、固定板,；、移動(dòng)電機(jī),；,、傳動(dòng)組件；,、主動(dòng)輪,；、從動(dòng)輪,；,、同步帶；,、滑軌...

泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。因在于OH基SiO2膜中的擴(kuò)散系數(shù)比O2的大,。氧化反應(yīng)，Si表面向深層移動(dòng),，距離為SiO2膜厚的,。因此,，不同厚度的SiO2膜，去除后的Si表面的深度也不同,。SiO2膜為透明,，通過(guò)光干涉來(lái)估計(jì)膜的厚度。這種干涉色的周期約為200nm,，如果預(yù)告知道是幾次干涉,，就能正確估計(jì)。對(duì)其他的透明薄膜...

泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。使得固定連接在同步帶不同輸送側(cè)上的托臂相互靠近或相互遠(yuǎn)離。通過(guò)調(diào)節(jié)兩個(gè)托臂之間的距離,，使得托臂能夠托住不同大小的晶圓(一個(gè)托臂拖著晶圓的一側(cè)),。該晶圓移栽機(jī)構(gòu)可用于承托不同體積大小的晶圓，應(yīng)用,。托臂的形狀為長(zhǎng)條形,，托臂的縱截面形狀為l形。托臂可分為限位部和水平設(shè)置的承托部,，限位部豎直固定在承托部遠(yuǎn)離另一托臂的一側(cè),，用于限定晶圓在承托部上的位置。限位部和承托部形成l形的托臂,。當(dāng)兩個(gè)托臂相互靠近,，直至...

且所述片盒架能夠相對(duì)所述固定架自轉(zhuǎn),，所述固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與所述片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置,。進(jìn)一步地,，所述片盒架的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述片盒架沿所述固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在所述固定架上,。進(jìn)一步地,，所述固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)、從動(dòng)輪盤(pán)和連接桿,，所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與所述從動(dòng)輪盤(pán)同軸相對(duì)設(shè)置,，且，所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和所述從動(dòng)輪盤(pán)分別可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在所述安裝座上，所述連接桿固定連接在所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與所述從動(dòng)輪盤(pán)之間,；所述片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和所述從動(dòng)輪盤(pán)之間,。進(jìn)一步地，所述片盒架包括同軸相對(duì)設(shè)置的限位盤(pán)和第二限位盤(pán),，所述限位盤(pán)與所述第二限位盤(pán)之間設(shè)置有多根限位桿,，多根所述限位桿沿所述限位盤(pán)的周向間隔設(shè)置，多...

因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度非常敏感,，因此對(duì)冶金級(jí)硅進(jìn)行進(jìn)一步提純：將粉碎的冶金級(jí)硅與氣態(tài)的氯化氫進(jìn)行氯化反應(yīng),，生成液態(tài)的硅烷，然后通過(guò)蒸餾和化學(xué)還原工藝,，得到了高純度的多晶硅,，其純度高達(dá)99.%，成為電子級(jí)硅,。接下來(lái)是單晶硅生長(zhǎng),，常用的方法叫直拉法（CZ法）。如下圖所示,，高純度的多晶硅放在石英坩堝中,，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱，溫度維持在大約1400℃,，爐中的氣體通常是惰性氣體，使多晶硅熔化,，同時(shí)又不會(huì)產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng),。為了形成單晶硅，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn),，把一顆籽晶浸入其中,，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn)，同時(shí)慢慢地,、垂直地由硅熔化...

泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。鎖定同義詞wafer一般指晶圓本詞條由“科普中國(guó)”科學(xué)百科詞條編寫(xiě)與應(yīng)用工作項(xiàng)目審核。晶圓指制造半導(dǎo)體晶體管或集成電路的襯底（也叫...

無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。間隔設(shè)置。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。為了方便安裝座安裝在清洗槽上，本實(shí)施例的齒圈固定板...

PECVD等,。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法,。一般而言，PVD溫度低,，沒(méi)有毒氣問(wèn)題,；CVD溫度高，需達(dá)到1000oC以上將氣體解離,，來(lái)產(chǎn)生化學(xué)作用,。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些，PVD適用于在光電產(chǎn)業(yè),，而半導(dǎo)體制程中的金屬導(dǎo)電膜大多使用PVD來(lái)沉積,，而其他絕緣膜則大多數(shù)采用要求較嚴(yán)謹(jǐn)?shù)腃VD技術(shù),。以PVD被覆硬質(zhì)薄膜具有度，耐腐蝕等特點(diǎn),。（2）真空蒸發(fā)法（EvaporationDeposition）采用電阻加熱或感應(yīng)加熱或者電子束等加熱法將原料蒸發(fā)淀積到基片上的一種常用的成膜方法,。蒸發(fā)原料的分子（或原子）的平均自由程長(zhǎng)（10-4Pa以下，達(dá)幾十米）,，所以在真空中幾乎不與其他分...

泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。而后通過(guò)固定架帶動(dòng)片盒架轉(zhuǎn)動(dòng),，且片盒架自轉(zhuǎn)，使得片盒架上的晶圓與清洗槽內(nèi)的清洗液(藥液)充分接觸,，完成晶圓的清洗操作,。本發(fā)明晶圓加工固定裝置由于固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線是非共線的，所以固定架能夠帶動(dòng)片盒架在清洗槽內(nèi)旋轉(zhuǎn),，使得片盒架能夠與清洗槽內(nèi)的不同位置的清洗液接觸,，可以使浸...

隨同步帶移動(dòng)而左右移動(dòng)。托臂通過(guò)連接塊與同步帶固定連接,，連接塊的底部固定連接在同步帶上，連接塊的頂部與托臂的底部固定連接,。托臂位于固定板的頂側(cè),，以便托住晶圓。連接塊伸出于固定板的前側(cè)或后側(cè),，托臂通過(guò)連接塊與設(shè)于固定板底側(cè)的同步帶固定連接,。連接塊有利于托臂與同步帶連接穩(wěn)固。具體地,，托臂的數(shù)量為兩個(gè),，各托臂分別固定連接在同步帶的不同輸送側(cè)上，移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng),，帶動(dòng)從動(dòng)輪和同步帶轉(zhuǎn)動(dòng),，使得各托臂在固定板上做張合運(yùn)動(dòng),。一個(gè)托臂通過(guò)一個(gè)連接塊粘附在同步帶的前側(cè)，另一托臂通過(guò)另一連接塊連接在同步帶的后側(cè),。當(dāng)同步帶轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),，連接在不同輸送側(cè)的連接塊帶動(dòng)托臂往不同方向移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)托臂在固定板上做...

因此對(duì)冶金級(jí)硅進(jìn)行進(jìn)一步提純：將粉碎的冶金級(jí)硅與氣態(tài)的氯化氫進(jìn)行氯化反應(yīng),，生成液態(tài)的硅烷,，然后通過(guò)蒸餾和化學(xué)還原工藝，得到了高純度的多晶硅,，其純度高達(dá)99.%,，成為電子級(jí)硅。接下來(lái)是單晶硅生長(zhǎng),，常用的方法叫直拉法（CZ法）,。如下圖所示，高純度的多晶硅放在石英坩堝中,，并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,，溫度維持在大約1400℃，爐中的氣體通常是惰性氣體,，使多晶硅熔化,，同時(shí)又不會(huì)產(chǎn)生不需要的化學(xué)反應(yīng)。為了形成單晶硅,，還需要控制晶體的方向：坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉(zhuǎn),，把一顆籽晶浸入其中，并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉(zhuǎn),，同時(shí)慢慢地,、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會(huì)粘在籽晶的底端,，按...

晶圓的背面研磨工藝,，是在晶圓的正面貼一層膜保護(hù)已經(jīng)制作好的集成電路，然后通過(guò)研磨機(jī)來(lái)進(jìn)行減薄,。晶圓背面研磨減薄后,，表面會(huì)形成一層損傷層，且翹曲度高,，容易破片,。為了解決這些問(wèn)題。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大...

多個(gè)定位槽沿限位桿的長(zhǎng)度方向依次間隔布置。在具體使用時(shí),，將晶圓依次放置到定位槽內(nèi),，并通過(guò)三根限位桿進(jìn)行限位固定?？梢岳斫獾氖?，定位槽可使得晶圓固定穩(wěn)定性得到提高，且使得各個(gè)晶圓之間具有間隙,，以使每個(gè)晶圓都能充分清洗,。為了簡(jiǎn)化設(shè)備，本實(shí)施例晶圓加工固定裝置還包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu),。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光...

因在于OH基SiO2膜中的擴(kuò)散系數(shù)比O2的大。氧化反應(yīng),，Si表面向深層移動(dòng),，距離為SiO2膜厚的,。因此,，不同厚度的SiO2膜，去除后的Si表面的深度也不同,。SiO2膜為透明,，通過(guò)光干涉來(lái)估計(jì)膜的厚度,。這種干涉色的周期約為200nm，如果預(yù)告知道是幾次干涉,，就能正確估計(jì),。對(duì)其他的透明薄膜，如知道其折射率,，也可用公式計(jì)算出(dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2),。SiO2膜很薄時(shí)，看不到干涉色,，但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來(lái)判斷SiO2膜是否存在,。也可用干涉膜計(jì)或橢圓儀等測(cè)出。SiO2和Si界面能級(jí)密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得,。(100)面的Si...

且所述片盒架能夠相對(duì)所述固定架自轉(zhuǎn),，所述固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與所述片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置。進(jìn)一步地,，所述片盒架的數(shù)量為多個(gè),，多個(gè)所述片盒架沿所述固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在所述固定架上。進(jìn)一步地,，所述固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤(pán),、從動(dòng)輪盤(pán)和連接桿，所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與所述從動(dòng)輪盤(pán)同軸相對(duì)設(shè)置,，且,，所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和所述從動(dòng)輪盤(pán)分別可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在所述安裝座上，所述連接桿固定連接在所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)與所述從動(dòng)輪盤(pán)之間,；所述片盒架轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)和所述從動(dòng)輪盤(pán)之間,。進(jìn)一步地，所述片盒架包括同軸相對(duì)設(shè)置的限位盤(pán)和第二限位盤(pán),，所述限位盤(pán)與所述第二限位盤(pán)之間設(shè)置有多根限位桿,，多根所述限位桿沿所述限位盤(pán)的周向間隔設(shè)置，多...

本實(shí)用新型實(shí)施例推薦實(shí)施例的一種晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),，其包括控制系統(tǒng),、升降裝置、承接裝置和感應(yīng)裝置,，升降裝置包括升降驅(qū)動(dòng)器和升降板,，升降驅(qū)動(dòng)器安裝在晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)上，升降驅(qū)動(dòng)器的輸入端與控制系統(tǒng)電連接,。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工...

且所述太陽(yáng)輪的軸線與所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的旋轉(zhuǎn)軸線共線設(shè)置，所述行星架的行星輪與所述片盒架的所述限位盤(pán)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接,，且每個(gè)行星輪至多連接一個(gè)所述限位盤(pán)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸,，每個(gè)所述行星輪的軸線與其對(duì)應(yīng)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸共線設(shè)置；所述行星架的齒圈固定設(shè)置,。進(jìn)一步地,，所述行星架的行星輪的數(shù)量為個(gè)，所述片盒架的數(shù)量為個(gè),，所述行星輪與所述片盒架一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,。進(jìn)一步地。泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制...

以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端與所述限位盤(pán)和第二限位盤(pán)可拆卸連接,，和/或所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端與所述限位盤(pán)和第二限位盤(pán)滑動(dòng)連接，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端能夠相對(duì)所述限位盤(pán)和第二限位盤(pán)固定,。進(jìn)一步地,，所述限位盤(pán)和所述第二限位盤(pán)分別沿其周向設(shè)置有導(dǎo)向槽，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿滑動(dòng)連...

所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)設(shè)置在所述齒圈固定板背離所述豎向桿的一側(cè),，所述從動(dòng)輪盤(pán)與所述豎向桿面向所述齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,；所述底板上對(duì)應(yīng)所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的周向邊緣設(shè)置有軸承，所述驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)的周向邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述軸承上,。進(jìn)一步地,，所述底板還設(shè)置有相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)限位輪座，所述軸承和驅(qū)動(dòng)輪盤(pán)設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間,。進(jìn)一步地,，所述齒圈固定板連接有安裝凸軸；所述豎向桿上設(shè)置橫向安裝軸,。進(jìn)一步地,，所述齒圈固定板與所述豎向桿的頂端之間連接有拉桿。本發(fā)明提供的晶圓加工設(shè)備,，包括如上述任一項(xiàng)所述的晶圓加工固定裝置,。本發(fā)明提供的晶圓加工固定裝置，包括安裝座,、固定架和片盒架,，固定架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在安裝座上，片盒架可轉(zhuǎn)動(dòng)的安...

夾取機(jī)構(gòu)將晶圓拖到承載裝置上,，由升降裝置帶動(dòng)承載裝置下降到檢測(cè)位置,，能夠防止因夾取機(jī)構(gòu)夾不緊，使得晶圓從高處跌落,，造成損壞的情況發(fā)生,，使得晶圓運(yùn)輸更加安全可靠。附圖說(shuō)明圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)的立體圖,；圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置的立體圖,；圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的移動(dòng)模塊的立體圖；圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的托臂,、滑軌和滑塊的連接結(jié)構(gòu)示意圖,。圖中，、感應(yīng)裝置,；,、承接裝置；,、托臂,；、限位部,；,、承托部；,、升降裝置,；、升降驅(qū)動(dòng)器,；,、升降板；,、安裝板,；、升降絲桿機(jī)構(gòu),；,、聯(lián)軸器；,、移動(dòng)模塊,；、固定板,；,、移動(dòng)電機(jī)；,、傳動(dòng)組件,；、主動(dòng)輪,；,、從動(dòng)輪；,、同步帶,；、滑軌...

移動(dòng)至夾取機(jī)構(gòu)的下方,，并盡量貼近夾取機(jī)構(gòu)和晶圓,。夾取機(jī)構(gòu)將晶圓放置在托臂上，能夠減少晶圓跌落摔壞的風(fēng)險(xiǎn)，使得整個(gè)晶圓搬運(yùn)過(guò)程更加安全穩(wěn)定,。綜上,，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)，其包括控制系統(tǒng),、升降裝置,、承接裝置和感應(yīng)裝置，承接裝置包括托臂,，托臂安裝在升降裝置上，可隨升降裝置升降,。在工作狀態(tài)下,，晶圓視覺(jué)檢測(cè)機(jī)的夾取機(jī)構(gòu)夾住晶圓。感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置,，并將信息反饋給控制系統(tǒng),，控制系統(tǒng)控制升降裝置帶動(dòng)托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方，盡量接近晶圓的位置,。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共...