在納米量級(jí)薄膜的各項(xiàng)相關(guān)參數(shù)中,，薄膜材料的厚度是薄膜設(shè)計(jì)和制備過程中的重要參數(shù),，是決定薄膜性質(zhì)和性能的基本參量之一,，它對(duì)于薄膜的力學(xué)、光學(xué)和電磁性能等都有重要的影響[3],。但是由于納米量級(jí)薄膜的極小尺寸及其突出的表面效應(yīng),，使得對(duì)其厚度的準(zhǔn)確測量變得困難。經(jīng)過眾多科研技術(shù)人員的探索和研究,，新的薄膜厚度測量理論和測量技術(shù)不斷涌現(xiàn),，測量方法實(shí)現(xiàn)了從手動(dòng)到自動(dòng)，有損到無損測量,。由于待測薄膜材料的性質(zhì)不同,，其適用的厚度測量方案也不盡相同。對(duì)于厚度在納米量級(jí)的薄膜,，利用光學(xué)原理的測量技術(shù)應(yīng)用,。相比于其他方法，光學(xué)測量方法因?yàn)榫哂芯雀?，速度快,，無損測量等優(yōu)勢而成為主要的檢測手段。其中具有代表性的測量方法有干涉法,，光譜法,，橢圓偏振法，棱鏡耦合法等,。白光干涉膜厚儀需要校準(zhǔn),，標(biāo)準(zhǔn)樣品的選擇和使用至關(guān)重要。高精度膜厚儀源頭直供廠家

光學(xué)測厚方法集光學(xué),、機(jī)械,、電子、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)為一體,，以其光波長為測量基準(zhǔn),，從原理上保證了納米級(jí)的測量精度。同時(shí),，光學(xué)測厚作為非接觸式的測量方法,，被廣泛應(yīng)用于精密元件表面形貌及厚度的無損測量。其中,，薄膜厚度光學(xué)測量方法按光吸收,、透反射、偏振和干涉等光學(xué)原理可分為橢圓偏振法,、分光光度法,、干涉法等多種測量方法。不同的測量方法,，其適用范圍各有側(cè)重,，褒貶不一,。因此結(jié)合多種測量方法的多通道式復(fù)合測量法也有研究，如橢圓偏振法和光度法結(jié)合的光譜橢偏法,，彩色共焦光譜干涉和白光顯微干涉的結(jié)合法等,。本地膜厚儀調(diào)試廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體,、光學(xué),、化學(xué)等領(lǐng)域，為研究和開發(fā)提供了有力的手段,。

晶圓對(duì)于半導(dǎo)體器件至關(guān)重要,，膜厚是影響晶圓物理性質(zhì)的重要參數(shù)之一。通常對(duì)膜厚的測量有橢圓偏振法,、探針法,、光學(xué)法等，橢偏法設(shè)備昂貴,，探針法又會(huì)損傷晶圓表面,。利用光學(xué)原理進(jìn)行精密測試，一直是計(jì)量和測試技術(shù)領(lǐng)域中的主要方法之一,，在光學(xué)測量領(lǐng)域,，基于干涉原理的測量系統(tǒng)已成為物理量檢測中十分精確的系統(tǒng)之一。光的干涉計(jì)量與測試本質(zhì)是以光波的波長作為單位來進(jìn)行計(jì)量的,，現(xiàn)代的干涉測試與計(jì)量技術(shù)已能達(dá)到一個(gè)波長的幾百分之一的測量精度,，干涉測量的更大特點(diǎn)是它具有更高的靈敏度（或分辨率）和精度，,。而且絕大部分干涉測試都是非接觸的,，不會(huì)對(duì)被測件帶來表面損傷和附加誤差；測量對(duì)象較廣,，并不局限于金屬或非金屬,；可以檢測多參數(shù)，如：長度,、寬度,、直徑、表面粗糙度,、面積,、角度等。

白光掃描干涉法可以避免色光相移干涉法測量的局限性,。該方法利用白光作為光源,，由于白光是一種寬光譜的光源，相干長度相對(duì)較短,，因此發(fā)生干涉的位置范圍很小,。在白光干涉時(shí),，存在一個(gè)確定的零位置，當(dāng)測量光和參考光的光程相等時(shí),，所有波長的光均會(huì)發(fā)生相長干涉,，此時(shí)可以觀察到一個(gè)明亮的零級(jí)條紋，同時(shí)干涉信號(hào)也達(dá)到最大值,。通過分析這個(gè)干涉信號(hào)，可以得到被測物體的幾何形貌,。白光掃描干涉術(shù)是通過測量干涉條紋來完成的,，而干涉條紋的清晰度直接影響測試精度。因此,，為了提高精度,，需要更為復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)，這使得條紋的測量變得費(fèi)力費(fèi)時(shí),。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提高和拓展。

Michelson干涉物鏡,，準(zhǔn)直透鏡將白光縮束準(zhǔn)直后垂直照射到待測晶圓上,，反射光之間相互發(fā)生干涉，經(jīng)準(zhǔn)直鏡后干涉光強(qiáng)進(jìn)入光纖耦合單元,，完成干涉部分,。光纖傳輸?shù)母缮嫘盘?hào)進(jìn)入光譜儀，計(jì)算機(jī)定時(shí)從光譜儀中采集光譜信號(hào),，獲取諸如光強(qiáng),、反射率等信息，計(jì)算機(jī)對(duì)這些信息進(jìn)行信號(hào)處理,，濾除高頻噪聲信息,，然后對(duì)光譜信息進(jìn)行歸一化處理，利用峰值對(duì)應(yīng)的波長值,，計(jì)算晶圓膜厚,。光源采用氙燈光源，選擇氙燈作為光源具有以下優(yōu)點(diǎn)：氙燈均為連續(xù)光譜,，且光譜分布幾乎與燈輸入功率變化無關(guān),，在壽命期內(nèi)光譜能量分布也幾乎不變；氙燈的光,、電參數(shù)一致性好,，工作狀態(tài)受外界條件變化的影響小,；氙燈具有較高的電光轉(zhuǎn)換效率,，可以輸出高能量的平行光等,。白光干涉膜厚儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué),、電子,、化學(xué)等領(lǐng)域，為研究和開發(fā)提供了有力的手段,。國內(nèi)膜厚儀制造公司

工作原理是基于膜層與底材反射率及相位差,，通過測量反射光的干涉來計(jì)算膜層厚度。高精度膜厚儀源頭直供廠家

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個(gè)重要方向,，此項(xiàng)技術(shù)主要是利用光譜儀將對(duì)條紋的測量轉(zhuǎn)變成為對(duì)不同波長光譜的測量,。通過分析被測物體的光譜特性，就能夠得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息,。相比于白光掃描干涉術(shù),，它不需要大量的掃描過程，因此提高了測量效率,，而且也減小了環(huán)境對(duì)它的影響,。此項(xiàng)技術(shù)能夠測量距離、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論，采用白光作為寬波段光源,，經(jīng)過分光棱鏡,，被分成兩束光，這兩束光分別入射到參考面和被測物體,，反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后,，由色散元件分光至探測器，記錄頻域上的干涉信號(hào),。此光譜信號(hào)包含了被測表面的信息,，如果此時(shí)被測物體是薄膜，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號(hào)當(dāng)中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結(jié)合起來,，形成了一種精度高、速度快的測量方法,。高精度膜厚儀源頭直供廠家