工業(yè)機械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置,。擬人手臂,、手腕和手功能的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動,，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體進行了點焊或弧焊,；搬運壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件,；進行激光切割；噴涂,；裝配機械零部件等等,。機械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響,，人們往往把機械臂想像成外貌似人的機械和電子裝置,。但事實并不是這樣，特別是工業(yè)機械臂,，與人的外貌往往毫無相似之處,。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)，工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的,，可重復(fù)編程,、多用途，并可以對3個以上軸進行編程,。它可以是固定式或者移動式,。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”。操作機又定義為“是一種機器，其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點進行作業(yè),。佛山新款晶圓運送機械吸臂新報價

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手,。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中,，傳送精度越高,，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快,，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大,。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜,，對設(shè)備自動化程度,、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機械手,。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

汕尾銷售晶圓運送機械吸臂推廣此外，對于熱加工的機械手,，還要考慮熱輻射,，手臂要較長，以遠(yuǎn)離熱源,，并須裝有冷卻裝置,。

整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現(xiàn)運動控制。2臺直驅(qū)電機負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制,，1臺直流電機負(fù)責(zé)整個機械手的上升與下降控制,。雖然軸數(shù)較少，但對控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高,。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT,。 針對客戶的需求，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動器,。Dual axis module同時驅(qū)動2臺直驅(qū)電機,，Single axis module驅(qū)動1臺升降直流電機。雙軸模塊式驅(qū)動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持

工業(yè)機械臂不應(yīng)該稱之為智能制造的未來,，智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業(yè)機械臂這一種工業(yè)產(chǎn)品能夠一言以蔽之的,。高精度、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎,？答案肯定是否定的,。智能制造的目的在于高度自適應(yīng)、多傳感信息融合等,，將現(xiàn)有的制造水平提升到更高的層次,，工業(yè)機械臂只是時下研究的熱點，工業(yè)機械臂在未來智能場景中的角色目前還未能給出定論,。簡單的搬運與碼垛,，根本無法稱之為智能制造。工業(yè)機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走,，而且這條路是否能走得通,，還是一個問號呢，目前各國的研究人員都比較看好這個方向,，普遍認(rèn)為機械臂是實現(xiàn)智能制造的很好的載體,，可以實現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實現(xiàn)的大操作空間與靈活性。 在運動臂上加裝滾動軸承或采用滾珠導(dǎo)軌也能使手臂運動輕快,、平穩(wěn),。

研究背景近年來，隨著機器人技術(shù)的發(fā)展,，應(yīng)用高速度,、高精度、 高負(fù)載自重比的機器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注,。由于運動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加,，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低。所以,，機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,，實現(xiàn)柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學(xué)特性。柔性機械臂是一個非常復(fù)雜的動力學(xué)系統(tǒng),，其動力學(xué)方程具有非線性, 強耦合, 實變等特點,。而進行柔性臂動力學(xué)問題的研究，其模型的建立是極其重要的。柔性機械臂不僅是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),，而且也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統(tǒng),。動力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計提供依據(jù)。一般控制系統(tǒng)的描述( 包括時域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述) 與傳感器/ 執(zhí)行器的定位,，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學(xué)特性密切相關(guān),。機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮。廣東正規(guī)晶圓運送機械吸臂經(jīng)銷批發(fā)

單軸機械手臂作為一個組件在工業(yè)中應(yīng)用***,。佛山新款晶圓運送機械吸臂新報價

2．噴涂機械臂 這種機械臂多用于噴漆生產(chǎn)線上,，重復(fù)位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃,，一般采用液壓驅(qū)動或交流伺服電機驅(qū)動,。3．焊接機械臂 這是目前使用**多的一類機械臂，它又可分為點焊和弧焊兩類,。點焊機械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機械人時,，許多人會想到有手，有腳的人型機械.不過,， 這類機械人往往出現(xiàn)在科幻電影,，***所，展覽會和玩具店中,，它們與工業(yè)用的機械人大不相同. 工業(yè)機械人（Industrial Robots）簡稱為IR,，它們大多為簡單的操作設(shè)備，有時會被稱為機械臂,，例如：進行簡單的提起或放下動作,，在機器內(nèi)放入或取出工件等.不過，亦有不少工業(yè)機械人可以完全用程式控制,，并可進行不同類型工作,，佛山新款晶圓運送機械吸臂新報價

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