一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手，其特征在于,，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái),；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺(tái)呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺(tái)所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的偽絕緣凸臺(tái),，所述偽絕緣凸臺(tái)與手臂一體成型,，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺(tái)內(nèi),；在垂直于所述手臂的方向上,，所述吸附絕緣凸臺(tái)比所述偽絕緣凸臺(tái)突出；所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。與剛性機(jī)械臂相比較,，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性,。深圳晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問題,，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,，其包括：托板,；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。

可選地,，所述絨毛墊包括托墊和絨毛,，所述托墊固定在所述托板上,，所述絨毛固定在所述托墊上,。

可選地，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。

可選地,，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛,。

可選地，所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上,。

可選地,，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地,，所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上,，各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布。 汕頭正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂哪里好一般機(jī)構(gòu)可由電力,、液壓,、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng),。

中國擁有龐大的制造業(yè),，是世界弟一工業(yè)機(jī)器人市場，有著1000多家與工業(yè)機(jī)器人相關(guān)的企業(yè),。但是現(xiàn)階段中國在機(jī)械臂制造領(lǐng)域處于大而不強(qiáng)的狀態(tài),。擁有自主品牌的工業(yè)機(jī)械臂的數(shù)量和市場占有份額偏低。現(xiàn)在國內(nèi)很多機(jī)器人企業(yè)有很多都不是在真心實(shí)意地在做技術(shù),，很多都是跟著國家提出的中國未來制造的政策與支持來進(jìn)行獲利的,。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴于進(jìn)口。所以,，中國的機(jī)械臂在技術(shù)方面遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國外,，占有的只是低端市場的份額。不過,，在非民用機(jī)器人與航天機(jī)械臂領(lǐng)域,，中國的技術(shù)也不遜色于美國。所以說只要經(jīng)過技術(shù)的積累,，中國的機(jī)械臂技術(shù)也會(huì)不比國外的差多少,。

    控制策略對(duì)柔性機(jī)械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理。完全忽略結(jié)構(gòu)的彈性變形對(duì)結(jié)構(gòu)剛體運(yùn)動(dòng)的影響,。例如為了避免過大的彈性變形破壞柔性機(jī)械臂的穩(wěn)定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運(yùn)動(dòng)的比較大角速度為,。2)前饋補(bǔ)償法。將機(jī)械臂柔性變形形成的機(jī)械振動(dòng)看成是對(duì)剛性運(yùn)動(dòng)的確定性干擾而采用前饋補(bǔ)償?shù)霓k法來抵消這種干擾,。德國的BerndGebler研究了具有彈性桿和彈性關(guān)節(jié)的工業(yè)機(jī)器人的前饋控制,。張鐵民研究了基于利用增加零點(diǎn)來消除系統(tǒng)的主導(dǎo)極點(diǎn)和系統(tǒng)不穩(wěn)定的方法設(shè)計(jì)了具有時(shí)間延時(shí)的前饋控制器和PID控制器比較起來可以更加明顯的消除系統(tǒng)的殘余振動(dòng)。SeeringWarrenP,。等學(xué)者對(duì)前饋補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)行了深入的研究,。 因此，在設(shè)計(jì)手臂時(shí),，須根據(jù)機(jī)械手抓取重量,、自由度數(shù)、工作范圍,、運(yùn)動(dòng)速度及機(jī)械手的整體布局,。

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形,，故稱為晶圓,；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅,，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化,，并經(jīng)蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.9%,。

晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,，半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅，因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓,。 關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜,。廣東官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜 主要代替人工從事場景危險(xiǎn)的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動(dòng)作,。廣州原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格

直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂有三個(gè)主自由度,。深圳晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家

近一段時(shí)期，中美貿(mào)易摩擦持續(xù)影響對(duì)外貿(mào)易發(fā)展,，機(jī)械行業(yè)銷售企業(yè)通過多種渠道加強(qiáng)深化與傳統(tǒng)貿(mào)易伙伴的合作,，并積極拓展新貿(mào)易伙伴、謀求新發(fā)展,。創(chuàng)新,、協(xié)調(diào)、綠色,、開放,、共享的五大發(fā)展理念，對(duì)機(jī)械制造業(yè)也提出了明確要求,，研發(fā)生產(chǎn)科技含量高,、附加值高、智能化程度高而碳量排放少的氧化鋁陶瓷,，氧化鋯陶瓷,，碳化硅陶瓷，陶瓷機(jī)械手裝備,；同時(shí)還要調(diào)整產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu),，轉(zhuǎn)變發(fā)展方式實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型升級(jí)。隨著有限責(zé)任公司產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的持續(xù)推進(jìn),，近幾年中國人口老齡化的日益嚴(yán)峻,，勞動(dòng)力短缺，人力成本明顯上升,，智能化已成為大勢所趨,，工程機(jī)械也不例外,。銷售的未來正面臨著大洗牌與大變革。需要注意的是智能制造是方向,，不是目的,，轉(zhuǎn)型升級(jí)是主線，降本提質(zhì)增效是重點(diǎn),。深圳晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家

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