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割拋光:
單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割,,然后進(jìn)行研磨,將凹凸的切痕磨掉,,再用化學(xué)機(jī)械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡,,晶圓片制造就完成了。
二,,晶圓制造步驟
晶圓鍍膜:
通過物理或其他方式(如高溫等)使晶圓上產(chǎn)生一層二氧化硅,。二氧化硅為絕緣材料,但有雜質(zhì)和特殊處理的二氧化硅有一定的導(dǎo)電性,。二氧化硅在這里的作用是為了傳導(dǎo)光,。像是用二氧化硅做光導(dǎo)纖維是同一個(gè)道理。完成這步后就為后面光刻做好了準(zhǔn)備,。
光刻膠涂抹:
顧名思義,,就是在晶圓表面覆蓋上一層光刻膠,而對(duì)其技術(shù)要求是要做到平整和薄,。 一般機(jī)構(gòu)可由電力,、液壓、氣動(dòng),、人力驅(qū)動(dòng),。蘇州原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),,且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,,維護(hù)方便,多功能集一身,,可滿足多種工藝設(shè)備要求,,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。
為了解決上述技術(shù)問題,,本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決:一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,,包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,,其特征為,,所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂,、二級(jí)伸展臂和手指固定座,,所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié),所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),,所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié),,所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié),、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng),,所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng)。 江西原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家機(jī)械手臂的應(yīng)用場景有哪些呢,?
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,,故稱為晶圓,;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。
晶圓的原始材料是硅,,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,**化,,并經(jīng)蒸餾后,,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.9%,。
與剛性機(jī)械臂相比較,,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,,因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,,有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),,在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位,。隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,,越來越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求,。柔性機(jī)械臂作為簡單的非平凡多柔體系統(tǒng),,被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型。 直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂,,球坐標(biāo)系機(jī)械手臂,,極坐標(biāo)機(jī)械手臂.
機(jī)械臂的工作原理:
一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓,、氣動(dòng),、人力驅(qū)動(dòng)。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)(如臺(tái)虎鉗),、斜鍥壓緊,、
導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)(破碎機(jī)常用)、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)(如抓磚頭的)等等,。還有簡單的:如可用氣(液壓)缸直接夾緊的,。如果是小物品,可直接購買FESTO等公司的氣動(dòng)手指,。
底座是用來安裝和固定機(jī)器的,。
油箱是裝潤滑油或液壓油循環(huán)的。
升降位置檢測器,,要么是確定物體或機(jī)器部件是否位于某幾個(gè)預(yù)定高度位置,,要么是實(shí)時(shí)檢測其高度的,。
手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的。
手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器,,只是測量對(duì)象換了,。
機(jī)械手是能模仿人手和臂的某些動(dòng)作功能,用以按固定程序抓取,、搬運(yùn)物件或操作工具的自動(dòng)操作裝置,。 盡管它們的形態(tài)各有不同,但它們都有一個(gè)共同的特點(diǎn),,就是能夠接受指令.靜安區(qū)正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣
手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器,。蘇州原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家
使用匯編語言編寫計(jì)算機(jī)程序,程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu),,所以從程序設(shè)計(jì)本身上來看仍然是低效率的,、煩瑣的。但正是由于匯編語言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切,,在某些特定的場合,,如對(duì)時(shí)空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時(shí)控制程序等,迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設(shè)計(jì)工具,。工業(yè)機(jī)械臂目前還沒有統(tǒng)一的分類標(biāo)準(zhǔn),。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類。一,、按驅(qū)動(dòng)方式分1.液壓式 液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂通常由液動(dòng)機(jī)(各種油缸,、油馬達(dá))、伺服閥,、油泵,、油箱等組成驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),由驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作,。通常它具有很大的抓舉能力(高達(dá)幾百公斤以上),,其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊,動(dòng) 作平穩(wěn),,耐沖擊,,耐振動(dòng),防爆性好,,但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能,,否則漏油將污染環(huán)境。2.氣動(dòng)式 其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)通常由氣缸,、氣閥,、氣罐和空壓機(jī)組成,其特點(diǎn)是氣源方便,,動(dòng)作迅速,、結(jié)構(gòu)簡單、造價(jià)較低,、維修方便,。但難以進(jìn)行速度控制,氣壓不可太高,,故抓舉能力較低,。蘇州原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家
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