這種設(shè)計(jì)策略不僅可用于改進(jìn)現(xiàn)有的傳感器,，該項(xiàng)目還旨在展示具有動(dòng)態(tài)移動(dòng)部件的新型傳感器概念的可行性。在第二種設(shè)計(jì)中,，研究人員在一根光纖的端面3D打印了一個(gè)微型轉(zhuǎn)子。從轉(zhuǎn)子上反射出的光脈沖可以被讀取,，因此該傳感器可以被用于分析流速,。

FabryPérot傳感器進(jìn)行溫度和折射率感應(yīng)的測試裝置圖。圖片：資料來源見本文下方,。通過動(dòng)態(tài)可旋轉(zhuǎn)的3D微納加工概念，研究人員展示了智能設(shè)計(jì)如何改進(jìn)現(xiàn)有的傳感器,，并為整個(gè)新的微型化傳感器概念鋪平道路的能力,。 灰度光刻技術(shù)具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,。北京工業(yè)級(jí)灰度光刻三維光刻

將激光照射到光敏材料上以形成納米尺寸的3D打印物體，其中吸收的光的強(qiáng)度特別高,。    Nanoscribe是一家德國雙光子增材制造系統(tǒng)制造商,，2019年6月25日，南極熊從外媒獲悉,，該公司近日推出了一款新型的機(jī)器QuantumX,。該系統(tǒng)使用雙光子光刻技術(shù)制造納米尺寸的折射和衍射微光學(xué)元件，其尺寸可小至200微米,。根據(jù)Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼CSOMichaelThiel博士的說法，“Beer's定律對(duì)當(dāng)今的無掩模光刻設(shè)備施加了強(qiáng)大的限制,，QuantumX采用雙光子灰度光刻技術(shù),，克服了這些限制,，提供了前所未有的設(shè)計(jì)自由度和易用性，我們的客戶正在微加工的前沿工作,。雙光子灰度光刻激光直寫成本低：無掩膜光刻技術(shù)無需制作昂貴的掩膜版,，因此可以降低光刻成本。

2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,，可生產(chǎn)折射和衍射微光學(xué)以及聚合物母版的原型。該系統(tǒng)配備三個(gè)用于實(shí)時(shí)過程控制的攝像頭和一個(gè)樹脂分配器,。為了簡化硬件配置之間的轉(zhuǎn)換,，物鏡和樣品夾持器識(shí)別會(huì)自動(dòng)運(yùn)行,。多層衍射光學(xué)元件（diffractiveopticalelement，DOE）可以通過在掃描平面內(nèi)調(diào)制激光功率來完成,，從而減少多層微制造所需的打印時(shí)間,。Nanoscribe表示,，折射微光學(xué)也受益于2GL工藝的加工能力，可制作單個(gè)光學(xué)元件,、填充因子高達(dá)100%的陣列,，以及可以在直接和無掩模工藝中實(shí)現(xiàn)各種形狀，如球面和非球面透鏡,。

   Nanoscribe成立于2007年,，總部位于德國卡爾斯魯厄,，擁有卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）的技術(shù)背景和卡爾蔡司公司的支持。經(jīng)過十幾年的不斷研究和成長,，Nanoscribe已成為微納米生產(chǎn)的先驅(qū)和3D打印市場的帶領(lǐng)者,，推動(dòng)著諸如力學(xué)超材料，微納機(jī)器人,，再生醫(yī)學(xué)工程,，微光學(xué)等創(chuàng)新領(lǐng)域的研究和發(fā)展，并提供優(yōu)化制程方案,。全新的QuantumX無掩模光刻系統(tǒng)能夠數(shù)字化制造高精度2維和。作為世界上頭一個(gè)雙光子灰度光刻系統(tǒng),，在充分滿足設(shè)計(jì)自由的同時(shí),，一步制造具有光學(xué)質(zhì)量表面以及高形狀精度要求的微光學(xué)元件,，達(dá)到所見即所得,。灰度光刻技術(shù)可用于制造復(fù)雜掩膜版,。

傳感器對(duì)可控技術(shù)的重要性，在眾多領(lǐng)域都是顯而易見的,，無論是從簡單的家用電器,，還是到可穿戴設(shè)備，甚至到航空應(yīng)用,，只有控制良好的流程才有被優(yōu)化的可能,。理想的傳感器應(yīng)該具有高敏感度，不易故障,，并且易于集成到流程中等優(yōu)點(diǎn),。光纖端面的微型傳感器在這個(gè)方面具有巨大的潛力,。這些傳感器空間占有率小，可以輕松多路復(fù)用,，并且不需要額外的外部能源供應(yīng),。對(duì)于這些基于光纖的傳感器的加工,，雙光子聚合技術(shù)已被證明是其完美的搭檔,。事實(shí)上，任何設(shè)計(jì)模型都能在微觀尺寸上被實(shí)現(xiàn),。然而,，大多數(shù)設(shè)計(jì)都是靜態(tài)的,，打印出來的部件在被加工出來后不能進(jìn)行進(jìn)一步的活動(dòng)?；叶裙饪碳夹g(shù)采用圖像處理的方法,。雙光子灰度光刻激光直寫

灰度光刻哪家好？推薦納糯三維科技（上海）有限公司,。北京工業(yè)級(jí)灰度光刻三維光刻

該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)（2PP）的專業(yè)激光直寫系統(tǒng)，可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設(shè)計(jì)自由度,。Quantum X shape可實(shí)現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進(jìn)行高精度3D微納加工,。這種效率的提升對(duì)于晶圓級(jí)批量生產(chǎn)尤其重要,，這對(duì)于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義。全新Quantum X shape作為Nanoscribe工業(yè)級(jí)無掩膜光刻系統(tǒng)Quantum X產(chǎn)品系列的第二臺(tái)設(shè)備,，可實(shí)現(xiàn)在25 cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),，很大程度推動(dòng)了生命科學(xué)，微流體,，材料工程學(xué)中復(fù)雜應(yīng)用的快速原型制作。Quantum X shape作為具備光敏樹脂自動(dòng)分配功能的直立式打印系統(tǒng),，非常適合標(biāo)準(zhǔn)6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造。北京工業(yè)級(jí)灰度光刻三維光刻