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來源: 發(fā)布時間:2021-02-12

手動探針臺的使用方式:待測點位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,,以防動作過大誤傷芯片,,當(dāng)探針針尖懸空于被測點上空時,,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進行下針,,然后則使用X軸旋鈕左右滑動,,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸,。確保針尖和被測點接觸良好后,,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時,,可能會碰到一些問題,,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術(shù)參數(shù),。近年來,半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點,。陜西芯片測試探針臺哪里有

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高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證,。特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn))OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度,。這是非常引人注目的技術(shù),來源于精密的度量技術(shù),。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng),。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng))為了有效的達到接觸位置的精度,硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的,,UF3000使用新的4軸機械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),,達到高剛性,高穩(wěn)定度的接觸,。湖南全自動探針臺上海勤確科技有限公司降低客戶風(fēng)險才是能夠良好合作的開始,。

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半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm,;chuck粗調(diào)升降9mm,,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡,;針座擺放個數(shù)6~8顆,;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probe card測試,;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer,、IC測試之產(chǎn)品。電動型:chuck尺寸1200mm,,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金),;X,Y電動移動行程300mm x 300mm,;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,,微調(diào)精度土1u,;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)8~12顆,;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“,;材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼;可搭配Probe card測試,;適用領(lǐng)域:12寸Wafer,、IC測試之產(chǎn)品。

x-y工作臺的維護與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,,x-y向工作臺都是其很重心的部分,。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng):平面電機由定子和動子組成,,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,,動子浮于氣墊上,,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,,使用壽命長。探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試,。

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探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺,、全自動探針臺,。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤,、壓盤,、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺,。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要很少的培訓(xùn),,易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件,。上海勤確科技有限公司一切從實際出發(fā),、注重實質(zhì)內(nèi)容。江西自動探針臺一般多少錢

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探針臺由哪些部分組成,?樣品臺(載物臺):是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備,。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計大小,并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能,。光學(xué)元件:這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物,,以便精確地將探針尖銳端對準(zhǔn)并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用立體變焦顯微鏡,,有的采用數(shù)碼相機,,或者兩者兼有??ūP:有一個非常平坦的金屬表面,,卡盤用夾具來固定待測物,或使用真空來吸附晶圓,。探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接,。常見的有普通DC測試探針,、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等,。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上,。陜西芯片測試探針臺哪里有