全自動(dòng)探針臺相比手動(dòng)探針臺和自動(dòng)探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)和模式識別(自動(dòng)對準(zhǔn)),。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試,??梢?4小時(shí)連續(xù)工作,,通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓,、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺要昂貴,。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能,,使用者可以通過軟件或機(jī)械操縱桿以各種速度向任何方向移動(dòng)載物臺,,程序可以設(shè)置映射以匹配器件,,可以選擇要檢測的器件,。探針臺是半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè)、集成電路以及封裝等行業(yè)的測試設(shè)備,。甘肅智能探針臺報(bào)價(jià)
探針臺為研究和工程實(shí)驗(yàn)室在測試運(yùn)行期間移動(dòng)通過多個(gè)溫度點(diǎn)時(shí),,提供前所未有的自動(dòng)化水平,。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知,學(xué)習(xí)和反應(yīng)以多溫度和特征的極其復(fù)雜的環(huán)境,。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進(jìn)入汽車應(yīng)用等更高發(fā)熱量的環(huán)境,,在越來越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來越重要,。以前,,大多數(shù)芯片在兩個(gè)溫度點(diǎn)進(jìn)行晶圓級測試,,通常為20?C(室溫)和90?C?,F(xiàn)在,,該范圍已經(jīng)擴(kuò)大到-40?C至125?C,,并且可能需要在此范圍內(nèi)的四個(gè)溫度步驟中進(jìn)行一整套測試。某些情況下需要更普遍的范圍,,如-55?C至200?C,晶圓可靠性測試可能要求高達(dá)300?C的溫度。青海自動(dòng)探針臺哪家好探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用機(jī)械、光學(xué),、物理,、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),,具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn),。探針臺屬于重要的半導(dǎo)體測試裝備,,在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個(gè)環(huán)節(jié)起著重要作用,,是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設(shè)備之一,。隨著自動(dòng)化技術(shù)的飛速發(fā)展,,市場對自動(dòng)化探針臺需求旺盛,。自動(dòng)化探針臺搭配測試機(jī)能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù),、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測試,根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量,,并指導(dǎo)下一道工序,。
探針臺如何工作:探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物,。手動(dòng)探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置,。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試,。對于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,,壓盤將探針頭與芯片分開,,然后將工作臺移到下一個(gè)芯片上,,使用顯微鏡找到精確的位置,,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺和機(jī)器視覺來自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過程,提高了探針臺生產(chǎn)率,。上海勤確科技有限公司以“真誠服務(wù),用戶滿意”為服務(wù)宗旨,。
探針臺從操作上來區(qū)分有:手動(dòng),,半自動(dòng),,全自動(dòng)。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,,低溫探針臺,,RF探針臺,LCD平板探針臺,,霍爾效應(yīng)探針臺,,表面電阻率探針臺??v觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測試臺在功能及組成上大同小異,,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺,、探卡/探卡支架,、打點(diǎn)器,、探邊器、操作手柄等組成,,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動(dòng)探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動(dòng)探針測試臺,。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待,。系統(tǒng)在測試每個(gè)芯片的時(shí)候?qū)π酒暮脡呐c否進(jìn)行判斷,,發(fā)出合格與不合格的信號。青海自動(dòng)探針臺哪家好
負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試,。甘肅智能探針臺報(bào)價(jià)
晶圓測試基本的一點(diǎn)就是:晶圓測試必須能夠辨別芯片的好壞,并使合格芯片繼續(xù)進(jìn)入下面的封裝工藝,。為了確保芯片功能和成品率的有效測試,,封裝廠商和設(shè)備制造者需要不斷探索,進(jìn)而找到高精度,、高效率和低成本的測試方法,,并運(yùn)用新的組裝工藝要求對晶圓片進(jìn)行探測,這些要求將引起設(shè)備和工藝過程的重大變化,。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動(dòng),,半自動(dòng),全自動(dòng),,從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,,LCD平板探針臺,,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺,。甘肅智能探針臺報(bào)價(jià)