半自動(dòng)型：chuck尺寸800mm/600mm,；X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm,；chuck粗調(diào)升降9mm,，微調(diào)升降16mm,；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡,；針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆,；顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2",；可搭配Probe card測(cè)試,；適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer,、IC測(cè)試之產(chǎn)品,。電動(dòng)型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）,；X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm,；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm,，微調(diào)精度土1u,；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡；針座擺放個(gè)數(shù)8～12顆,；顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2“,；材質(zhì)：花崗巖臺(tái)面+不銹鋼；可搭配Probe card測(cè)試,；適用領(lǐng)域：12寸Wafer,、IC測(cè)試之產(chǎn)品。探針臺(tái)需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子,，以免造成定子及動(dòng)子的損傷,。天津智能探針臺(tái)哪家好

探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng),，全自動(dòng),。從功能上來(lái)區(qū)分有：高溫探針臺(tái)，低溫探針臺(tái),，RF探針臺(tái),，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái),，表面電阻率探針臺(tái),。縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,，即主要由x-y向工作臺(tái),，可編程承片臺(tái)、探卡／探卡支架,、打點(diǎn)器,、探邊器、操作手柄等組成,，并配有與測(cè)試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即：平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)（又叫磁性氣浮工作臺(tái)）自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對(duì)待,。湖南手動(dòng)探針臺(tái)服務(wù)適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,，抽查測(cè)試等用途。

探針（探針卡）：待測(cè)芯片需要測(cè)試探針的連接,，才能與測(cè)試儀器建立連接,。常見的有普通DC測(cè)試探針、同軸DC測(cè)試探針,、有源探針和微波探針等,。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測(cè)特征的尺寸和所需的測(cè)量類型,。探針尖直接接觸被測(cè)件,，探針臂應(yīng)與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針,、并將探針連接至測(cè)量?jī)x器,。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件,。操縱器（定位器）：探針臺(tái)使用操縱器將探針放置在被測(cè)物上,，它可以很容易地定位探針并快速固定它們,。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢谩Ｒ坏┕潭?，操縱器可以在X,、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端，并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),。

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤,，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上,。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下,。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心,。5.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試,。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),，可能會(huì)碰到一些問題，下表列舉了常見的故障及解決方法,。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù),。晶圓級(jí)半自動(dòng)面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù)：垂直或面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)，通用性設(shè)計(jì),；容納12寸晶圓。

相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái),，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,，工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x,、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,，所以具有傳動(dòng)效率高,、摩擦力矩小，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃,，濕度≤70%，無(wú)有害氣體的環(huán)境中,，滾珠絲杠,、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,，但不可過多，值得指出的是,，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過程中,，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,。半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)值普遍較高,，一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中，設(shè)備價(jià)值約占總投資規(guī)模的75%以上,。青海全自動(dòng)探針臺(tái)機(jī)構(gòu)

探針臺(tái)配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓,、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè),。天津智能探針臺(tái)哪家好

據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),，2020年及2021年，全球半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)?；?qū)⒎謩e達(dá)到52.2億美元及56.1億美元,。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，多個(gè)晶圓廠及實(shí)驗(yàn)室的建立,，國(guó)內(nèi)探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)模2019年約為10.25億元,，2022年將增長(zhǎng)到15.69億元。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,，半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,，復(fù)雜程度與日俱增，生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用機(jī)械,、光學(xué),、物理、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),，具有技術(shù)壁壘高,、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。探針臺(tái)屬于重要的半導(dǎo)體測(cè)試裝備,，在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個(gè)環(huán)節(jié)起著重要作用,，是晶圓廠和元器件封測(cè)企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動(dòng)化技術(shù)的飛速發(fā)展,，市場(chǎng)對(duì)自動(dòng)化探針臺(tái)需求旺盛,。天津智能探針臺(tái)哪家好