手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤,，開(kāi)啟真空閥門控制開(kāi)關(guān),，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上,。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品,。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下,。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心,。5.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試,。常見(jiàn)故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),，可能會(huì)碰到一些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù),。探針臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要,。全自動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)

探針卡沒(méi)焊到位，是因?yàn)楹稿a時(shí)針受熱要稍微的收縮,，使針尖偏離壓點(diǎn)區(qū),，而針虛焊和布線斷線或短路，測(cè)試時(shí)都要測(cè)不穩(wěn),，所以焊針時(shí),，應(yīng)憑自己的經(jīng)驗(yàn),把針尖離壓點(diǎn)中心稍微偏一點(diǎn),焊完后使針尖剛好回到壓點(diǎn)中心,同時(shí)針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置，檢查針的牢固性,。技術(shù)員平時(shí)焊完卡后應(yīng)注意檢查探針卡的質(zhì)量如何,，把背面的突起物和焊錫線頭剪平，否則要扎傷AL層,，造成短路或斷路,，而操作工也應(yīng)在測(cè)試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測(cè)大電流時(shí),，針尖上要引起多AL粉,，使電流測(cè)不穩(wěn)，所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮?dú)獯蹈?，同時(shí)測(cè)試時(shí)邊測(cè)邊吹氮?dú)?，以減少針尖上的AL粉。全自動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)隨著探針接觸到焊點(diǎn)金屬的亞表層,，這些效應(yīng)將增加,。

射頻測(cè)試探針必須具有與測(cè)試點(diǎn)相匹配的阻抗。通常要做的是在設(shè)計(jì)中各個(gè)預(yù)先計(jì)劃好的測(cè)試點(diǎn)焊接射頻同軸電纜（尾纖）,。這有助于確保足夠的阻抗匹配,，并且測(cè)試點(diǎn)可以選在對(duì)整體設(shè)計(jì)性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設(shè)計(jì)上,，從而減少侵入性探測(cè)。高性能測(cè)試設(shè)備供應(yīng)商可以提供高達(dá)毫米波頻率的用探針,。但這些探針的末端通常都很昂貴,，且無(wú)法持續(xù)訪問(wèn)組成元件的電路。因此,，它們?cè)诖笕萘康臏y(cè)試應(yīng)用或者故障排除應(yīng)用中受到限制,，更適合于原型設(shè)計(jì)和研發(fā)。

X系列探針臺(tái)：1,、基板采用鑄件為基準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì),，使運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性得到提升，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2,、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用的是日系高剛性,、高精密的導(dǎo)軌和絲桿；反饋檢測(cè)系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進(jìn)口運(yùn)動(dòng)控制卡與電機(jī)形成整個(gè)閉環(huán)的反饋檢測(cè),，以保證實(shí)現(xiàn)高精度高溫度性的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),。3、整個(gè)四維運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)成低重心的緊湊結(jié)構(gòu),，保證其速率能到達(dá)70mm/s,，并能提高運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的加速。4,、關(guān)鍵零件用導(dǎo)電的表面處理,，保證每個(gè)位置能進(jìn)行接地保護(hù)。探針尖磨損和污染也會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響,。

探針臺(tái)由哪些部分組成,？樣品臺(tái)（載物臺(tái)）：是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小,，并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能,。光學(xué)元件：這個(gè)部件的作用使得用戶能夠從視覺(jué)上放大觀察待測(cè)物，以便精確地將探針尖銳端對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/芯片的測(cè)量點(diǎn)上,。有的采用立體變焦顯微鏡,，有的采用數(shù)碼相機(jī)，或者兩者兼有,?？ūP：有一個(gè)非常平坦的金屬表面，卡盤用夾具來(lái)固定待測(cè)物,，或使用真空來(lái)吸附晶圓,。探針（探針卡）：待測(cè)芯片需要測(cè)試探針的連接，才能與測(cè)試儀器建立連接,。常見(jiàn)的有普通DC測(cè)試探針,、同軸DC測(cè)試探針、有源探針和微波探針等,。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上,。上海勤確科技有限公司追求客戶的數(shù)量遠(yuǎn)不是我們的目的。全自動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)

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下面我們來(lái)簡(jiǎn)單講講選擇探針臺(tái)設(shè)備時(shí)需要注意事項(xiàng)：一、機(jī)械加工精度,；二,、電學(xué)量測(cè)精度三,、環(huán)境要求，如：真空環(huán)境,、高溫,、低溫環(huán)境、磁場(chǎng)環(huán)境及其它,。四,、光學(xué)成像；五,、自動(dòng)化控制精度,。總體而言,，具有清晰并高景深的微觀成像,，再通過(guò)準(zhǔn)確的探針裝置對(duì)探針進(jìn)行多方向移動(dòng)，對(duì)準(zhǔn)量測(cè)點(diǎn),，進(jìn)行信號(hào)加載,，通過(guò)高精度線纜將所需測(cè)試數(shù)據(jù)傳輸至量測(cè)儀表，以達(dá)到所需得到的分析數(shù)據(jù),，所以,，如果想得到高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù)，從成像到點(diǎn)針,，再到數(shù)據(jù)傳輸每項(xiàng)步驟都會(huì)起到重要的作用,，另外振動(dòng)對(duì)精度也有一定的影響。全自動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)