“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位,、溫度及生產(chǎn)率等三個層面,。首先,,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤,,并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位;其次,,必須具備動態(tài)監(jiān)控機制,,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性,;后,,必須對高產(chǎn)出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結果。整體而言,,針腳和墊片之間的相應精確度應在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,,為了強化更小晶粒定位的精確性,,需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無謂的產(chǎn)出損失,。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是工作臺的故障,。貴州全自動探針臺生產(chǎn)廠家
電纜安裝探針既可以手動使用,也可以與多軸探針定位器一起使用,。與典型的探針臺不同,,這些探針足夠大,操作員可以手動使用,,非??煽俊L结樁ㄎ黄鞯奈恢镁群涂芍貜托愿?,而且本身可以放置,,便于進行測試。與探針臺不同,,同軸電纜安裝探針和定位器可以在工程師或技術人員的典型測試臺上用作網(wǎng)絡分析儀,、信號發(fā)生器、頻譜分析儀,、示波器和其他用于射頻/微波,、毫米波和高速數(shù)字應用的配件,。電纜安裝射頻探針的占位面積小、無損壞,,并且具有非侵入式設計,,可在高密度應用中進行測試,例如天線陣列,、超材料,、分形天線、微帶傳輸線,、緊湊組件以及具有微小表面安裝包裝組件的印刷電路板,。北京全自動探針臺配件廠家探針臺廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),。
磁場探針臺主要用于半導體材料,、微納米器件、磁性材料,、自旋電子器件及相關技術領域的電,、磁學特性測試,能夠提供磁場或變溫環(huán)境,,并進行高精度的直流/射頻測量,。我們生產(chǎn)各類磁場探針臺,穩(wěn)定性強,、功能多樣,、可升級擴展,適用于各大高校,、研究所及半導體行業(yè)的實驗研究和生產(chǎn),。詳細參數(shù):二維磁場探針臺,包含兩組磁鐵,,可同時提供垂直與面內(nèi)磁場,;面內(nèi)磁鐵極頭間距可根據(jù)樣品尺寸調(diào)整以獲得大的磁場,兼容性強,;大兼容7組探針(4組RF,,3組DC同時測試使用);Y軸提供大行程位移裝置,,在不移動探針情況下快速抽拉更換樣品,;配備樣品臺傾斜微調(diào)旋鈕,確保樣品平面平行于面內(nèi)磁場方向,;至多支持7組探針同時放置:直流探針(3組)+微波探針(4組),;XY軸位移行程±12.5mm,T軸旋轉±5°,;面內(nèi)磁場單獨施加時,,磁場垂直分量優(yōu)于0.025%,。
x-y工作臺的維護與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分,。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一一介紹,。平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,,定子是基礎平臺,,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,,而可編程承片臺則安裝在動子之上,。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,,使用壽命長,。探針臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的。
半自動型:chuck尺寸800mm/600mm,;X,Y電動移動行程200mm/150mm,;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡,;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2",;可搭配Probecard測試;適用領域:8寸/6寸Wafer,、IC測試之產(chǎn)品,。電動型:chuck尺寸1200mm,,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金),;X,Y電動移動行程300mmx300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,,微調(diào)升降16mm,,微調(diào)精度土1u,;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)8~12顆,;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“,;材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼;可搭配Probecard測試,;適用領域:12寸Wafer,、IC測試之產(chǎn)品,。縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,。重慶高溫探針臺生產(chǎn)廠家
上海勤確科技有限公司一切從實際出發(fā),、注重實質(zhì)內(nèi)容。貴州全自動探針臺生產(chǎn)廠家
如果需要一款高量測精度的探針臺,,并不是有些廠商單純的認為,,通過簡單的機械加工加上一臺顯微鏡就可以完成,我們在探針臺設備的研發(fā)中有著近二十年的經(jīng)驗,,并有著精細機械加工的技術能力,,可以為您提供高準確的探針臺電學檢測儀器,同時我們與世界電學信號測試廠家有著多年的合作,,可以提供各類電學測試解決方案,。在對射頻設備進行原型設計和測試時,很多情況下,,在電路的非端口位置進行測試有助于優(yōu)化設計或者故障排除,。然而實際操作中,在較高的頻率下進行測試是一項更大的挑戰(zhàn),。貴州全自動探針臺生產(chǎn)廠家