探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接,，才能與測試儀器建立連接,。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針,、有源探針和微波探針等,。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上,。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型,。探針尖直接接觸被測件,，探針臂應(yīng)與探針尖匹配,。探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器,。電纜組件用于轉(zhuǎn)接,、延展探針夾具上的電纜組件,。操縱器（定位器）：探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上,，它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢谩Ｒ坏┕潭?，操縱器可以在X,、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,，并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運動,?？v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,。江蘇直流探針臺哪家好

X系列探針臺：1,、基板采用鑄件為基準(zhǔn)進行設(shè)計，使運動的穩(wěn)定性得到提升,，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高,。2,、運動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導(dǎo)軌和絲桿,；反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環(huán)的反饋檢測，以保證實現(xiàn)高精度高溫度性的運動系統(tǒng),。3,、整個四維運動設(shè)計成低重心的緊湊結(jié)構(gòu),，保證其速率能到達(dá)70mm/s,，并能提高運動過程中的加速。4,、關(guān)鍵零件用導(dǎo)電的表面處理，保證每個位置能進行接地保護,。江蘇直流探針臺哪家好探針卡虛焊和布線斷線或短路,，測試時都要測不穩(wěn)。

晶圓級半自動面內(nèi)磁場探針臺詳細(xì)參數(shù)：垂直或面內(nèi)磁場探針臺，通用性設(shè)計,；容納12寸晶圓,，且向下兼容8寸、6寸,、碎片,；兼容4組探針（RF或DC測試）；提供Z軸探針平臺快速升降功能,，實現(xiàn)高效測試,；磁場強度≥330mT;直流探針（4組）或微波探針（4組）；XY電控行程±150mm,，調(diào)節(jié)精度2μm,；T軸手動調(diào)節(jié)±5°，小至調(diào)節(jié)精度5’,。晶圓級半自動二維磁場探針臺：詳細(xì)參數(shù)可對晶圓施加垂直或面內(nèi)磁場,，兼容性設(shè)計；容納12寸晶圓,，且向下兼容8寸,、6寸、碎片,；兼容4組探針（RF或DC測試）,；提供Z軸探針平臺快速升降功能，實現(xiàn)高效測試,；磁場強度≥0.7T,；直流探針（4組）或微波探針（4組）；XY電控行程±150mm,，調(diào)節(jié)精度2μm,；T軸手動調(diào)節(jié)±5°，小到調(diào)節(jié)精度5’,。

半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)壁壘高,。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,，復(fù)雜程度與日俱增,，生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用光學(xué)、物理,、化學(xué)等科學(xué)技術(shù),，具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點,。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,，從半導(dǎo)體單晶片到制成成品，須經(jīng)歷數(shù)十甚至上百道工序。為了確保產(chǎn)品性能合格,、穩(wěn)定可靠,，并有高的成品率，根據(jù)各種產(chǎn)品的生產(chǎn)情況,，對所有工藝步驟都要有嚴(yán)格的具體要求,。因而，在生產(chǎn)過程中必須建立相應(yīng)的系統(tǒng)和精確的監(jiān)控措施,，首先要從半導(dǎo)體工藝檢測著手,。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,。

手動探針臺的使用方式：待測點位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片,，當(dāng)探針針尖懸空于被測點上空時,，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針,，然后則使用X軸旋鈕左右滑動,，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸,。確保針尖和被測點接觸良好后,，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時,，可能會碰到一些問題,，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術(shù)參數(shù),。上海勤確科技有限公司您的滿意就是對我們的支持,。江蘇直流探針臺哪家好

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精細(xì)探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢：先進應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的,。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,，在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng)。以先進工藝驅(qū)動在有效區(qū)域上墊片的測試,，以低沖擊的探針卡,，避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均,，因此能動態(tài)控制探針強度也是很重要的,；若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細(xì)的移動控制，即可提升晶圓翻面時的探測精確度,，使精細(xì)的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào),，以提高精確度,，并縮短索引的時間。江蘇直流探針臺哪家好