探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路,、分立器件、光電器件,、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,,極大降低器件的制造成本,。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用,。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗證測試,、晶圓測試測試、封裝檢測,。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針臺,,測試儀/機(jī)用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)的連接,,通過探針臺和測試機(jī)的配合使用對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,,可以對芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選,。探針臺是半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè)、集成電路以及封裝等行業(yè)的測試設(shè)備,。甘肅半自動探針臺價格
晶圓測試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟,。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準(zhǔn)備之前執(zhí)行,,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應(yīng)用特殊測試模式來測試功能缺陷,。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進(jìn)行引用:晶圓終端測試(WFT)、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的,。晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器(自動測試設(shè)備),。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài),。天津自動探針臺機(jī)構(gòu)探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。
晶圓測試基本的一點就是:晶圓測試必須能夠辨別芯片的好壞,,并使合格芯片繼續(xù)進(jìn)入下面的封裝工藝,。為了確保芯片功能和成品率的有效測試,封裝廠商和設(shè)備制造者需要不斷探索,,進(jìn)而找到高精度,、高效率和低成本的測試方法,并運用新的組裝工藝要求對晶圓片進(jìn)行探測,,這些要求將引起設(shè)備和工藝過程的重大變化,。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,,全自動,,從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),,RF探針臺,,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,,表面電阻率探針臺,。
相對于平面電機(jī)工作臺,絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成,。工作臺由兩個步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,,導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌,。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高,、摩擦力矩小,,使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃,,濕度≤70%,,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠,、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,,但不可過多,,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中,,從直線導(dǎo)軌的直線性,,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,,半自動,全自動,。
12英寸晶圓在結(jié)構(gòu)上具有更高的效率,,以200mm工藝為例,在良率100%的情況下,,可出88個完整的晶粒,,理論上因方塊切割所造成的邊緣浪費率為23%(約有20個晶粒因缺角破損而無法使用);而若以300mm工藝進(jìn)行切割,,則產(chǎn)出效率將更驚人,,可產(chǎn)出193個完整的晶粒,會浪費19%的晶圓面積(36個不完整晶粒),。此外,,12英寸廠的規(guī)模經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢也不容小視;300mm的建廠成本與200mm的建廠成本比值約為1.5,,而晶圓廠建廠成本與晶圓面積的比值卻少于2.25,這意味著只要多投入1.5倍的建廠成本,,即可多生產(chǎn)2.25倍的晶粒,!少少的邊際投入即可獲取的收益,約可節(jié)省33%的成本,;如此高報酬的投資效益隨著技術(shù)的發(fā)展而讓人們受益,。探針卡虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩(wěn),。江蘇溫控探針臺加工廠家
有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是工作臺的故障,。甘肅半自動探針臺價格
探針臺主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格的芯片,,并提供多個可調(diào)測試及探卡測試針臺座,,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,。半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,下面就由上海勤確給大家簡要介紹,。探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號,,保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備,。因為我們需要知道器件真正的性能,而不是封裝以后的,,雖然可以去嵌,,但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量,。因為有時我們需要進(jìn)行自動化測試,,在片進(jìn)行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統(tǒng),,主要包括:矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,,線纜,探針,,探針定位器,,探針臺,校準(zhǔn)設(shè)備及軟件,,電源偏置等,。甘肅半自動探針臺價格