晶圓探針器是用于測試集成電路的機器（自動測試設(shè)備）,。對于電氣測試,，一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢茫瑫r真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài),。當(dāng)一個管芯（或管芯陣列）經(jīng)過電氣測試后,，探針臺將晶片移動到下一個管芯（或管芯），下一個測試就可以開始了,。晶圓探針臺通常負(fù)責(zé)從載具（或盒子）裝載和卸載晶圓,，并配備自動模式識別光學(xué)器件，能夠以足夠的精度對準(zhǔn)晶圓,，以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準(zhǔn)確對準(zhǔn),。自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。河北射頻探針臺價格

探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,。適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途,。探針臺是一種輔助執(zhí)行機構(gòu),，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上，在顯微鏡配合下,，X-Y移動器件,，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,，控制前部探針(射頻或直流探針),，精確扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導(dǎo)通,，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。河北射頻探針臺價格探針臺可編程承片臺則安裝在動子之上,。

高精度探針臺：目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證,。特性1：OTS-近的位置對正系統(tǒng)（光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn)）OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度,。這是非常引人注目的技術(shù)，來源于精密的度量技術(shù),。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng),。特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺（四方型系統(tǒng)）為了有效的達到接觸位置的精度,，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉(zhuǎn)換裝置（QPU）,，達到高剛性,，高穩(wěn)定度的接觸。

探針卡沒焊好：1．探針卡針焊得不到位,；2．基板上銅箔剝落,，針焊接不牢固，或焊錫沒有焊好而造成針虛焊,；3．探針卡布線斷線或短路,；背面有突起物，焊錫線頭針尖磨平：1.針在使用很長時間后尖正常損耗,；2.操作工用過粗的砂子,；3.砂針尖時用力過猛；4.砂得時間過長,；針尖如磨平,，使針尖偏離壓點，測試無法通過,，針尖接觸面大,，而接觸電阻大影響參數(shù)測試，所以平時如果在測片子之前,，先拿上卡到顯微鏡下檢查針尖有否磨平,，如已磨平應(yīng)及時換針，操作工在砂針尖時注意技能,，應(yīng)輕輕打磨針尖,，而不致于磨平針尖。探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,，檢查針的牢固性,。

探針臺是半導(dǎo)體（包括集成電路、分立器件,、光電器件,、傳感器）行業(yè)重要的檢測裝備之一，其普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量,，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。探針臺用于晶圓加工之后,、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,，從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序，可分為前道工序與后道工序,，探針臺是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù),、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測,，探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,，在進入后序工序前予以剔除，降低器件的制造成本,。上海勤確科技有限公司焊針時,，應(yīng)憑自己的經(jīng)驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點。福建探針臺

探針尖磨損和污染都會對測試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響,。河北射頻探針臺價格

探針臺從操作上來區(qū)分有：手動,，半自動，全自動,。從功能上來區(qū)分有：高溫探針臺,，低溫探針臺，RF探針臺,，LCD平板探針臺,，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺,?？v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺,，可編程承片臺,、探卡／探卡支架、打點器,、探邊器,、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,，即：平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,，應(yīng)區(qū)別對待。河北射頻探針臺價格