半導體生產(chǎn)過程中的探測,，可略分為三大類：1.參數(shù)探測：提供制造期間的裝置特性測量；2.晶圓探測：當制造完成要進行封裝前,，在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能,；3.以探針臺為基礎的晶圓處理探測(FinalTest)：在出貨給顧客前，對封裝完成的裝置做后的測試,。晶圓在通過基本的特性測試后，即進入晶圓探測階段,，此時需要用復雜的機器,、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,，精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應的晶圓后,，探針臺會將晶圓向上挪動,，使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸，以進行探測,。當測試完成,，則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面，如此周而復始地循環(huán)著,。上海勤確科技有限公司上海勤確科技有限公司依托多年來完善的服務經(jīng)驗,。吉林磁場探針臺生產(chǎn)廠家

探針臺的分類：探針臺可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動探針臺,、半自動探針臺,、全自動探針臺。手動探針臺：手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,，這意味著晶圓載物臺和卡盤,、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的,。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺,。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要很少的培訓，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境,，并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備,、PC或軟件。吉林磁場探針臺生產(chǎn)廠家上海勤確科技有限公司會為您提供專業(yè)培訓,，科學管理與運營,。

x-y工作臺的維護與保養(yǎng)：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其很重心的部分,。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?，F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹,。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng)：平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,，定子是基礎平臺,，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上,，而可編程承片臺則安裝在動子之上,。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,，使用壽命長,。

全自動探針臺相比手動探針臺和自動探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運單元（MHU）和模式識別（自動對準）,。負責晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,?？梢?4小時連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓,、封裝基板等,。全自動探針臺價格也是遠比手動/半自動探針臺要昂貴。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能,，使用者可以通過軟件或機械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺,，程序可以設置映射以匹配器件，可以選擇要檢測的器件,。負責晶圓的輸送與定位,，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。

探針臺可以固定晶圓或芯片,，并精確定位待測物,。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置,。一旦所有探針尖銳端都被設置在正確的位置,，就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,，使用者可以抬起壓盤,，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上,，使用顯微鏡找到精確的位置,，壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程,，提高了探針臺生產(chǎn)率,。實現(xiàn)芯片測試的途徑就是探針卡。吉林磁場探針臺生產(chǎn)廠家

探針卡使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差,，容易引起短路,。吉林磁場探針臺生產(chǎn)廠家

隨著電子技術的不斷發(fā)展，對于精密微小(納米級)的微電子器件,，表筆點到被測位置就顯得無能為力了,。于是一種高精度探針座應運而生，利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導出來,，便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試,、分析。探針臺執(zhí)行機構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動,，移動范圍12mm,，移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,，一般客戶自己準備)，探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上,，從而得到電性能的參數(shù),。對于重復測試同種器件，多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試,。吉林磁場探針臺生產(chǎn)廠家