隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,，復(fù)雜程度與日俱增,，生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用機(jī)械、光學(xué),、物理,、化學(xué)等學(xué)科技術(shù)，具有技術(shù)壁壘高,、制造難度大及研發(fā)投入高等特點,。探針臺屬于重要的半導(dǎo)體測試裝備,，在整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用，是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設(shè)備之一,。隨著自動化技術(shù)的飛速發(fā)展,，市場對自動化探針臺需求旺盛。自動化探針臺搭配測試機(jī)能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù),、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測試,，根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量，并指導(dǎo)下一道工序,。探針臺存放在氮氣柜中,，防止探針的加快氧化。貴州射頻探針臺加工廠家

探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強(qiáng)行拉動動子,，以免造成定子及動子的損傷,。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15～25℃，相對濕度小于50％的環(huán)境中,，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5℃,，氣壓為0．4±0．04MPa。相對于平面電機(jī)工作臺,，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x,、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。甘肅手動探針臺生產(chǎn)廠家在探針臺上裝上打點器,，打點器根據(jù)系統(tǒng)的信號來判斷是否給芯片打點標(biāo)記,。

晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器（自動測試設(shè)備）。對于電氣測試,，一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢茫瑫r真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài),。當(dāng)一個管芯（或管芯陣列）經(jīng)過電氣測試后,，探針臺將晶片移動到下一個管芯（或管芯），下一個測試就可以開始了,。晶圓探針臺通常負(fù)責(zé)從載具（或盒子）裝載和卸載晶圓,，并配備自動模式識別光學(xué)器件，能夠以足夠的精度對準(zhǔn)晶圓,，以確保晶圓上的接觸墊和探針針尖之間的準(zhǔn)確對準(zhǔn),。

x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其很重心的部分,。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,，而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,，所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹,。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)：平面電機(jī)由定子和動子組成,，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺,，動子和定子間有一層氣墊,，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上,。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長,。通常用戶得到電路,，直接安裝在印刷電路板(PCB)上。

半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的探測,，可略分為三大類：1.參數(shù)探測：提供制造期間的裝置特性測量,；2.晶圓探測：當(dāng)制造完成要進(jìn)行封裝前，在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能,；3.以探針臺為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(FinalTest)：在出貨給顧客前,，對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后,，即進(jìn)入晶圓探測階段,，此時需要用復(fù)雜的機(jī)器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,，精確度約在±2.0μm之間,。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應(yīng)的晶圓后，探針臺會將晶圓向上挪動,，使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,，以進(jìn)行探測。當(dāng)測試完成,，則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面,，如此周而復(fù)始地循環(huán)著。上海勤確科技有限公司探針材質(zhì),、探針直徑,、光束長度、和尖錐長度都在決定頂端壓力時起重要的作用,。貴州射頻探針臺加工廠家

平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15～25℃,，相對濕度小于50％的環(huán)境中。貴州射頻探針臺加工廠家

半自動型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動移動行程200mm/150mm,；chuck粗調(diào)升降9mm,，微調(diào)升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡,；針座擺放個數(shù)6～8顆,；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"；可搭配Probecard測試,；適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer,、IC測試之產(chǎn)品。電動型：chuck尺寸1200mm,，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）,；X,Y電動移動行程300mmx300mm；chuck粗調(diào)升降9mm,，微調(diào)升降16mm,，微調(diào)精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡,；針座擺放個數(shù)8～12顆,；顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“；材質(zhì)：花崗巖臺面+不銹鋼,；可搭配Probecard測試,；適用領(lǐng)域：12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品,。貴州射頻探針臺加工廠家