探針臺為研究和工程實驗室在測試運(yùn)行期間移動通過多個溫度點時,，提供前所未有的自動化水平,。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知,，學(xué)習(xí)和反應(yīng)以多溫度和特征的極其復(fù)雜的環(huán)境。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進(jìn)入汽車應(yīng)用等更高發(fā)熱量的環(huán)境,，在越來越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來越重要,。以前,，大多數(shù)芯片在兩個溫度點進(jìn)行晶圓級測試，通常為20?C（室溫）和90?C?，F(xiàn)在，該范圍已經(jīng)擴(kuò)大到-40?C至125?C,，并且可能需要在此范圍內(nèi)的四個溫度步驟中進(jìn)行一整套測試,。某些情況下需要更普遍的范圍，如-55?C至200?C,，晶圓可靠性測試可能要求高達(dá)300?C的溫度,。系統(tǒng)在測試每個芯片的時候?qū)π酒暮脡呐c否進(jìn)行判斷，發(fā)出合格與不合格的信號,。北京高溫探針臺

在工藝方面,，常用的測試探針是由針頭、針管,、彈簧這三個組件構(gòu)成的,，測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關(guān)鍵因素，電鍍處理過的彈簧使用壽命高,，不會生銹,，也能提高測試探針是持久性和導(dǎo)電性。因此,，電鍍工藝是生產(chǎn)半導(dǎo)體測試探針的主要技術(shù),，而國內(nèi)的電鍍工藝尚且有待突破。長期以來,，國內(nèi)探針廠商均處于中低端領(lǐng)域,，主要生產(chǎn)PCB測試探針、ICT測試探針等產(chǎn)品,?？傮w來說，只要好的芯片,、好的封測廠商才需要用到半導(dǎo)體測試探針,，只有國內(nèi)好的芯片和測試遍地開花，整個產(chǎn)業(yè)足夠大,，國產(chǎn)配套供應(yīng)商才能迅速成長起來,。山西全自動探針臺哪家好實現(xiàn)芯片測試的途徑就是探針卡。

相對于平面電機(jī)工作臺,，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,，工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動x,、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運(yùn)動,，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌,。由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高,、摩擦力矩小,，使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃,，濕度≤70%,，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠,、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,，但不可過多，值得指出的是,，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中,，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性,。

滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)：由于運(yùn)動部分全部采用滾動功能部件,，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,，使用壽命長等特點,。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃，濕度≤70％,，無有害氣體的環(huán)境中,，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,，但不可過多,，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中,，從直線導(dǎo)軌的直線性,，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,，用戶一般情況不能輕易改變,，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成,。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是工作臺的故障,。

晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結(jié)構(gòu)中獲得大部分有關(guān)器件性能的信息,。當(dāng)特定芯片的所有測試圖案都通過時,，它的位置會被記住，以便以后在IC封裝過程中使用。有時,，芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(fù)（即閃存IC）,；如果它沒有通過某些測試模式，則可以使用這些備用資源,。如果故障管芯的冗余是不可能的,，則管芯被認(rèn)為有故障并被丟棄。未通過電路通常在芯片中間用一個小墨水點標(biāo)記,，或者通過/未通過信息存儲在一個名為wafermap的文件中,。該地圖通過使用bins對通過和未通過的die進(jìn)行分類。然后將bin定義為好或壞的裸片,。隨著探針開始接觸并逐漸深入焊點氧化物和污染物的表層，接觸電阻減小而電流流動迅速開始,。北京高溫探針臺

典型的探針卡是一個帶有很多細(xì)針的印刷電路板,。北京高溫探針臺

探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備，在芯片的設(shè)計驗證階段,，主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),，在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查，只有通過設(shè)計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn),。晶圓測試一般在晶圓廠,、封測廠或?qū)ｉT的測試代工廠進(jìn)行，主要用到的設(shè)備為測試機(jī)和探針臺,。半導(dǎo)體行業(yè)向來有“一代設(shè)備,，一代工藝，一代產(chǎn)品”的說法,。半導(dǎo)體設(shè)備價值普遍較高,，一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中，設(shè)備價值約占總投資規(guī)模的75%以上,。隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)市場規(guī)模不斷擴(kuò)大,，半導(dǎo)體設(shè)備市場也呈增長趨勢。根據(jù)SEMI統(tǒng)計,，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元,，年復(fù)合增長率約為15.2%，但受到半導(dǎo)體行業(yè)景氣度下滑及宏觀經(jīng)濟(jì)環(huán)境影響,，2019年,、2020年一季度增長有所下降，但預(yù)計疫病過后,，將恢復(fù)增長,。北京高溫探針臺