探針臺(tái)的分類(lèi)：探針臺(tái)可以按照使用類(lèi)型與功能來(lái)劃分，也可以按照操作方式來(lái)劃分成：手動(dòng)探針臺(tái),、半自動(dòng)探針臺(tái),、全自動(dòng)探針臺(tái)。手動(dòng)探針臺(tái)：手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的,，這意味著晶圓載物臺(tái)和卡盤(pán),、壓盤(pán)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的,。因此一般是在沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái),。該類(lèi)探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要很少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境,，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備,、PC或軟件。探針尖接觸電阻即探針尖與焊點(diǎn)之間接觸時(shí)的層間電阻,。云南芯片探針臺(tái)

探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓,、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,，抽查測(cè)試等用途,。探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上，在顯微鏡配合下,，X-Y移動(dòng)器件,，找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,，控制前部探針(射頻或直流探針),，精確扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊號(hào)線(xiàn)與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通,，通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù),。云南芯片探針臺(tái)探針卡使用一段時(shí)間后，由于探針加工及使用過(guò)程中的微小差異導(dǎo)致所有探針不能在同一平面上會(huì)造成,。

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤(pán),，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上,。2.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái),，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下,。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心,。5.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試,。常見(jiàn)故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),，可能會(huì)碰到一些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法,。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù),。

探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè),、集成電路以及封裝的測(cè)試,。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),，旨在確保質(zhì)量及可靠性,，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)分類(lèi)：探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng),，半自動(dòng),，全自動(dòng)。從功能上來(lái)區(qū)分有：溫控探針臺(tái),，真空探針臺(tái)（低溫探針臺(tái)）,，RF探針臺(tái),，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái),，表面電阻率探針臺(tái),。經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型根據(jù)客戶(hù)需求定制：chuck尺寸：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選）,；X-Y移動(dòng)行程：4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選）,；chuck Z軸方向升降10mm（選項(xiàng)）方便探針與樣品快速分離,；顯微鏡：金相顯微鏡,、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）,；顯微鏡移動(dòng)方式：立柱環(huán)繞型,、移動(dòng)平臺(tái)型,、龍門(mén)結(jié)構(gòu)型（可選）,；探針座：有0.7um,、2um,、10um精度可選,，磁性吸附帶磁力開(kāi)關(guān),；可搭配Probe card測(cè)試,；適用領(lǐng)域：晶圓廠、研究所,、高校等,。盡管隨著探針壓力的增強(qiáng),，接觸電阻逐漸降低，終它會(huì)達(dá)到兩金屬的標(biāo)稱(chēng)接觸電阻值,。

自動(dòng)化探針臺(tái)搭配測(cè)試機(jī)能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù),、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測(cè)試，根據(jù)測(cè)試結(jié)果評(píng)定上一道工序的工藝質(zhì)量,，并指導(dǎo)下一道工序,。從全球市場(chǎng)看,，半導(dǎo)體探針臺(tái)設(shè)備行業(yè)集中度較高,，目前主要由國(guó)外廠商主導(dǎo)，行業(yè)呈現(xiàn)較高壟斷的競(jìng)爭(zhēng)格局,。鑒于自動(dòng)化探針臺(tái)是光,、機(jī),、電高度一體化的產(chǎn)品,，國(guó)內(nèi)在這一方向研究幾乎為零，市場(chǎng)主要被一些國(guó)外的大公司壟斷,。2017年投產(chǎn)X系列半自動(dòng)探針臺(tái)并成功推向市場(chǎng),，成功填補(bǔ)國(guó)內(nèi)該研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域的空白。上海勤確科技有限公司管理嚴(yán)格,，服務(wù)超值,。云南芯片探針臺(tái)

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滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)：由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,，使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃,，濕度≤70％,，無(wú)有害氣體的環(huán)境中,，滾珠絲杠、直線(xiàn)導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,，但不可過(guò)多，值得指出的是,，這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中，從直線(xiàn)導(dǎo)軌的直線(xiàn)性,，上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,，定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調(diào)整,，用戶(hù)一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài),，所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專(zhuān)業(yè)人員完成。云南芯片探針臺(tái)