探針臺如何工作：探針臺可以固定晶圓或芯片,，并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,，并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置,。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置，就可以對待測物進行測試,。對于帶有多個芯片的晶圓,，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開,，然后將工作臺移到下一個芯片上,，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個芯片可以進行測試,。半自動和全自動探針臺系統(tǒng)使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程,，提高了探針臺生產(chǎn)率。上海勤確科技有限公司周邊生態(tài)環(huán)境狀況好,。江蘇全自動探針臺機構(gòu)

半自動探針臺主要應(yīng)用于需要精確運動,、可重復(fù)接觸和采集大量數(shù)據(jù)的場合。一些公司也使用半自動探針系統(tǒng)來滿足其小批量生產(chǎn)要求,。半自動探針系統(tǒng)的組成部件大部分與手動探針臺相似,，但載物臺和控制裝置除外。晶圓載物臺通常是可編程的，并通過軟件與電子控制器來控制移動與方位,。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能,，使用者可以通過軟件或機械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺，程序可以設(shè)置映射以匹配器件,，可以選擇要檢測的器件,。四川溫控探針臺公司細(xì)針和待測器件進行物理和電學(xué)接觸。

全自動探針臺相比手動探針臺和自動探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運單元（MHU）和模式識別（自動對準(zhǔn)）,。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,?？梢?4小時連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓,、封裝基板等,。全自動探針臺價格也是遠(yuǎn)比手動/半自動探針臺要昂貴。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能,，使用者可以通過軟件或機械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺,，程序可以設(shè)置映射以匹配器件，可以選擇要檢測的器件,。

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,，半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小，復(fù)雜程度與日俱增,，生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用機械,、光學(xué)、物理,、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),，具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點,。探針臺屬于重要的半導(dǎo)體測試裝備,，在整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用，是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設(shè)備之一,。隨著自動化技術(shù)的飛速發(fā)展,，市場對自動化探針臺需求旺盛。自動化探針臺搭配測試機能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù),、光學(xué)參數(shù)進行測試,，根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量，并指導(dǎo)下一道工序,。典型的探針卡是一個帶有很多細(xì)針的印刷電路板,。

平面電機x-y步進工作臺：平面電機由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺,，動子和定子間有一層氣墊,，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上,。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長,。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,，用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽，線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,，而定子則按不同的細(xì)分控制方式,，按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動?？v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,。山西半自動探針臺公司

在探針臺上裝上打點器，打點器根據(jù)系統(tǒng)的信號來判斷是否給芯片打點標(biāo)記,。江蘇全自動探針臺機構(gòu)

探針臺可以將電探針,、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件,。這些測試可以很簡單,，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜,，包括微電路的完整功能測試,。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試,。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件,，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,，這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要,。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用,。江蘇全自動探針臺機構(gòu)