隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件,，表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了,。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生，利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái),，便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試,、分析。探針臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,，控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng),，移動(dòng)范圍12mm，移動(dòng)精度可以達(dá)到0.7微米,。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測(cè)點(diǎn)上(說(shuō)明探針是耗材,，一般客戶自己準(zhǔn)備)，探針探測(cè)到的信號(hào)可以通過(guò)探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測(cè)試機(jī)上,，從而得到電性能的參數(shù),。對(duì)于重復(fù)測(cè)試同種器件，多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測(cè)試,。重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命。湖南直流探針臺(tái)報(bào)價(jià)

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片,，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,，然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸,。確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),，可能會(huì)碰到一些問(wèn)題,，下表列舉了常見的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù),。黑龍江高溫探針臺(tái)要多少錢探針臺(tái)配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓,、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè),。

手動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格描述（以實(shí)驗(yàn)室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,，六寸探針臺(tái)為例）：探針臺(tái)載物臺(tái)平整度：5μm探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu)，可抬高顯微鏡,，便于更換鏡頭和換待測(cè)物探針臺(tái)左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺(tái)面8mm,，并具備鎖定功能探針臺(tái)右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪，可微調(diào)控制臺(tái)面升降范圍25mm（客戶有特殊需求,，可以增大范圍）,，精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選，卡盤平整度：5μm,，采用真空吸附方式,，中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),，微調(diào)精度為0.1度,，標(biāo)配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為150mm or 200mm,，移動(dòng)精度為1μm載物臺(tái)具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能,。

全自動(dòng)探針臺(tái)相比手動(dòng)探針臺(tái)和自動(dòng)探針臺(tái)兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試,。可以24小時(shí)連續(xù)工作,，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓,、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴,。軟件為探針臺(tái)系統(tǒng)增加了很多功能,，使用者可以通過(guò)軟件或機(jī)械操縱桿以各種速度向任何方向移動(dòng)載物臺(tái),，程序可以設(shè)置映射以匹配器件，可以選擇要檢測(cè)的器件,。探針臺(tái)用于晶圓加工之后,、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,。

高精度探針臺(tái)：目前世界出貨量的型號(hào)吸收了很新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù),，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證,。特性1：OTS-近的位置對(duì)正系統(tǒng)（光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)）OTS通過(guò)對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),，來(lái)源于精密的度量技術(shù),。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)（四方型系統(tǒng)）為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,，硅片承載臺(tái)各部分的剛性一致是非常重要的,，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置（QPU），達(dá)到高剛性,，高穩(wěn)定度的接觸,。上海勤確科技有限公司信任是合作的基石。浙江磁場(chǎng)探針臺(tái)供應(yīng)

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探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試,。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng),，全自動(dòng),。從功能上來(lái)區(qū)分有：高溫探針臺(tái)，低溫探針臺(tái),，RF探針臺(tái),，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái),，表面電阻率探針臺(tái),。縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,，即主要由x-y向工作臺(tái),，可編程承片臺(tái)、探卡／探卡支架,、打點(diǎn)器,、探邊器、操作手柄等組成,，并配有與測(cè)試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,，即：平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)（又叫磁性氣浮工作臺(tái)）自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,，應(yīng)區(qū)別對(duì)待。湖南直流探針臺(tái)報(bào)價(jià)