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來源： 發(fā)布時間：2025-06-14

吉田半導體突破 ArF 光刻膠技術壁壘，國產(chǎn)替代再迎新進展

自主研發(fā) ArF 光刻膠通過中芯國際驗證,，吉田半導體填補國內光刻膠空白,。
吉田半導體成功研發(fā)出 AT-450 ArF 光刻膠,，分辨率達 90nm,，適用于 14nm 及以上制程,，已通過中芯國際量產(chǎn)驗證,。該產(chǎn)品采用國產(chǎn)原材料與自主配方,，突破日本企業(yè)對 ArF 光刻膠的壟斷。其光酸產(chǎn)率提升 30%,，蝕刻選擇比達 4:1,，性能對標日本信越的 ArF 系列,。吉田半導體的技術突破加速了國產(chǎn)芯片制造材料自主化進程，為國內晶圓廠提供高性價比解決方案,。
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 感光機制

? 重氮型（雙液型）：需混合光敏劑（如二疊氮二苯乙烯二磺酸鈉）,，曝光后通過交聯(lián)反應固化，適用于精細圖案（如PCB電路線寬≤0.15mm）,。

? SBQ型（單液型）：預混光敏劑,，無需調配，感光度高（曝光時間縮短30%）,，適合快速制版（如服裝印花）,。

? 環(huán)保型：采用無鉻配方（如CN10243143A），通過多元固化體系（熱固化+光固化）實現(xiàn)12-15mJ/cm2快速曝光,，分辨率達2μm,，符合歐盟REACH標準。

 功能細分

? 耐溶劑型：如日本村上AD20,，耐酒精,、甲苯等溶劑，適用于電子油墨印刷,。

? 耐水型：如瑞士科特1711,，抗水性強，適合紡織品水性漿料,。

? 厚版型：如德國K?ppen厚版膠,，單次涂布可達50μm，用于立體印刷,。


典型應用場景：

? PCB制造：使用360目尼龍網(wǎng)+重氮感光膠,，配合LED曝光（405nm波長），實現(xiàn)0.15mm線寬,，耐酸性蝕刻液,。

? 紡織印花：圓網(wǎng)制版采用9806A型感光膠，涂布厚度20μm,，耐堿性染料色漿,，耐印率超10萬次。

? 包裝印刷：柔版制版選用杜邦賽麗® Lightning LFH版材,，UV-LED曝光+無溶劑工藝,，碳排放降低40%。
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納米制造與表面工程

? 納米結構模板：作為納米壓印光刻（NIL）的母版制備材料,，通過電子束光刻膠寫出高精度納米圖案（如50nm以下的柱陣列,、孔陣列）,，用于批量復制微流控芯片或柔性顯示基板。

? 表面功能化：在基底表面構建納米級粗糙度（如仿生荷葉超疏水表面）或化學圖案（引導細胞定向生長的納米溝槽）,，用于生物醫(yī)學或能源材料（如電池電極的納米陣列結構）,。

量子技術與精密測量

? 超導量子比特：在鈮酸鋰或硅基底上，通過光刻膠定義納米級約瑟夫森結陣列,，構建量子電路,。

? 納米傳感器：制備納米級懸臂梁（表面鍍光刻膠圖案化的金屬電極），用于探測單個分子的質量或電荷變化（分辨率達亞納米級）,。

光刻膠（如液晶平板顯示器光刻膠）

  • 液晶平板顯示器制造：在液晶平板顯示器（LCD）的生產(chǎn)過程中,，光刻膠用于制作液晶盒內的各種精細圖案，包括像素電極,、公共電極,、取向層圖案等。這些圖案的精度和質量直接影響液晶顯示器的顯示效果,，如分辨率,、對比度、視角等,。
  • 有機發(fā)光二極管顯示器（OLED）制造：OLED 顯示器的制造同樣需要光刻膠來制作電極,、像素定義層等關鍵結構。OLED 顯示器具有自發(fā)光,、響應速度快等優(yōu)點,，而光刻膠能保障其精細的像素結構制作，提升顯示器的發(fā)光效率和顯示質量 ,。


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廣東吉田半導體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,，各有特性與優(yōu)勢，適用于不同領域,。

厚板光刻膠 JT - 3006：具有優(yōu)異的分辨率和感光度,，抗深蝕刻性能良好，符合歐盟 ROHS 標準,，保質期 1 年,。需保存在干燥區(qū)域并密封，使用前要閱讀參考技術資料,。適用于厚板的光刻加工,，在對精度、感光度和抗蝕刻要求高的生產(chǎn)場景中發(fā)揮作用,，如特定的電路板制造領域,。

水油光刻膠 SR - 3303：適用于光學儀器,、太陽能電池等領域的光刻工藝。品質保障,、性能穩(wěn)定的特點,，由工廠研發(fā)且支持定制，工廠直銷,。 吉田半導體全流程解決方案,，賦能客戶提升生產(chǎn)效率。浙江紫外光刻膠國產(chǎn)廠商

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 研發(fā)投入
? 擁有自己實驗室和研發(fā)團隊,，研發(fā)費用占比超15%,，聚焦EUV光刻膠前驅體、低缺陷納米壓印膠等前沿領域,，與中山大學、華南理工大學建立產(chǎn)學研合作,。

? 專項布局：累計申請光刻膠相關的項目30余項,，涵蓋樹脂合成、配方優(yōu)化,、涂布工藝等細致環(huán)節(jié),。

 生產(chǎn)體系

? 全自動化產(chǎn)線：采用德國曼茨（Manz）涂布設備、日本島津（Shimadzu）檢測儀器,，年產(chǎn)能超500噸（光刻膠）,，支持小批量定制（小訂單100g）和大規(guī)模量產(chǎn)。

? 潔凈環(huán)境：生產(chǎn)車間達萬級潔凈標準（ISO 8級）,，避免顆粒污染,，確保光刻膠缺陷密度<5個/cm2。
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