光刻膠的技術壁壘包括配方技術,，質量控制技術和原材料技術,。配方技術是光刻膠實現(xiàn)功能的要點，質量控制技術能夠保證光刻膠性能的穩(wěn)定性而較好的原材料則是光刻膠性能的基礎,。配方技術：由于光刻膠的下游用戶是IC芯片和FPD面板制造商,，不同的客戶會有不同的應用需求，同一個客戶也有不同的光刻應用需求,。一般一塊半導體芯片在制造過程中需要進行10-50道光刻過程,，由于基板不同、分辨率要求不同,、蝕刻方式不同等,，不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣，即使類似的光刻過程,，不同的廠商也會有不同的要求,。針對以上不同的應用需求，光刻膠的品種非常多,，這些差異主要通過調整光刻膠的配方來實現(xiàn),。因此,，通過調整光刻膠的配方，滿足差異化的應用需求,，是光刻膠制造商重要的技術,。光刻膠是集成電路制造的重要材料：光刻膠的質量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關鍵因素,。上海LCD觸摸屏用光刻膠集成電路材料

日韓材料摩擦：半導體材料國產化是必然趨勢,；2019年7月份，在日韓貿易爭端的背景下,，日本宣布對韓國實施三種半導體產業(yè)材料實施禁運,，包含刻蝕氣體，光刻膠和氟聚酰亞胺,。韓國是全球存儲器生產基地,，顯示屏生產基地，也是全球晶圓代工基地,，三星,，海力士，東部高科等一大批晶圓代工廠和顯示屏廠都需要日本的半導體材料,。這三種材料直接掐斷了韓國存儲器和顯示屏的經濟支柱,。目前中國大陸對于電子材料，特別是光刻膠方面對國外依賴較高,。所以在半導體材料方面的國產代替是必然趨勢,。浦東KrF光刻膠溶劑我國光刻膠行業(yè)起步較晚，生產能力主要集中在 PCB 光刻膠,、TN/STN-LCD 光刻膠等中低端產品,。

質量控制技術：由于用戶對光刻膠的穩(wěn)定性、一致性要求高,，包括不同批次間的一致性,，通常希望對感光靈敏度、膜厚的一致性保持在較高水平,，因此,，光刻膠生產商不僅要配備齊全的測試儀器，還需要建立一套嚴格的QA體系以保證產品的質量穩(wěn)定,。原材料技術：光刻膠是一種經過嚴格設計的復雜,、精密的配方產品，由成膜劑,、光敏劑,、溶劑和添加劑等不同性質的原料，通過不同的排列組合,，經過復雜,、精密的加工工藝而制成,。因此，光刻膠原材料的品質對光刻膠的質量起著關鍵作用,。對于半導體化學化學試劑的純度,，際半導體設備和材料組織（SEMI）制定了國際統(tǒng)一標準。

離子束光刻技術可分為聚焦離子束光刻,、離子束投影式光刻,。聚焦離子束光刻用途較多，常以鎵離子修補傳統(tǒng)及相位轉移掩膜板,；離子束投影式光刻主要使用150 keV的H+,、H2+、H3+,、He+,，以鏤空式模板，縮小投影（4~5倍） ,。離子束光刻與電子束直寫光刻技術類似,，不需要掩膜板，應用高能離子束直寫,。離子束的散射沒有電子束那么強，因此具有更好的分辨率,。液態(tài)金屬離子源為較簡單的曝光源：在鎢針或鉬針的頂端附上鎵或金硅合金,，加熱融化后經由外層為液態(tài)金屬表面產生的場使離子發(fā)射，其發(fā)射面積很?。?lt;10 nm）,，因此利用離子光學系統(tǒng)可較容易地將發(fā)射的離子聚焦成細微離子束，從而進行高分辨率的離子束曝光,。在半導體集成電路制造行業(yè)：主要使用g線光刻膠,、i線光刻膠、KrF光刻膠,、ArF光刻膠等,。

伴隨全球半導體產業(yè)東移，加上我國持續(xù)增長的下游需求和政策支持力度,。同時,，國內晶圓廠進入投產高峰期，由于半導體光刻膠與下游晶圓廠具有伴生性特點,，國內光刻膠廠商將直接受益于晶圓廠制造產能的大幅擴張,。當前我國光刻膠與全球先進水平有近40年的差距，半導體國產化的大趨勢下,，國內企業(yè)有望逐步突破與國內集成電路制造工藝相匹配的光刻膠,，所以必須要對光刻膠足夠的重視,，不斷向日本和歐美等發(fā)達國家學習，努力開發(fā)出性能優(yōu)異的國產光刻膠,，使我國在未來的市場中占據(jù)一席之地,。在選擇光刻膠時需要考慮化學性質、照射時間,、敏感度和穩(wěn)定性等因素,，以確保所選的光刻膠能夠滿足制造要求。浦東LCD觸摸屏用光刻膠其他助劑

光刻膠只是一種形象的說法,，因為光刻膠從外觀上呈現(xiàn)為膠狀液體,。上海LCD觸摸屏用光刻膠集成電路材料

光刻膠的產業(yè)鏈上游：主要涉及溶劑、樹脂,、光敏劑等原材料供應商和光刻機,、顯影機、檢測與測試等設備供應商,。從原材料市場來看,，由于中國從事光刻膠原材料研發(fā)及生產的供應商較少，中國光刻膠原材料市場主要被日本,、韓國和美國廠商所占據(jù),。從設備市場來看，中國在光刻機,、顯影機,、檢測與測試設備行業(yè)的起步時間較晚，且這些設備具備較高的制造工藝壁壘,，導致中國在光刻膠,、顯影機、檢測與測試設備的國產化程度均低于10%,。相信后期國產化程度會越來越高,。上海LCD觸摸屏用光刻膠集成電路材料

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