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肉桂酸酯類的光刻膠:這類光刻膠在紫外光的照射下,肉桂酸上的不飽和鍵會(huì)打開,,產(chǎn)生自由基,,形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)。主要品種有聚乙烯醇肉桂酸酯光刻膠,、聚乙烯氧乙基肉桂酸酯光刻膠和肉桂叉二酯光刻膠等,。前者膠是早期被用于光刻膠制備的光敏高分子化合物,對(duì)二氧化硅,、鋁,、氧化鉻等材料都有良好的附著力,耐氫氟酸,、磷酸腐蝕,;中者膠在曝光下幾乎不受氧的影響,無(wú)須氮?dú)獗Wo(hù),,分辨率1 μm左右,,靈敏度較前者膠高1倍,黏附性好,,抗蝕能力強(qiáng),,圖形清晰、線條整齊,,耐熱性好,,顯影后可在190℃堅(jiān)膜0.5 h不變質(zhì),,感光范圍在250~475 nm,,特別對(duì)436 nm十分敏感,屬線型高分子聚合物,;第三種膠能溶于酮類,、烷烴等溶劑,,不溶于水,、乙醇等。有較好的黏附性和感光性 ,,分辨率也很高,,感光速度快,。光刻膠所屬的微電子化學(xué)品是電子行業(yè)與化工行業(yè)交叉的領(lǐng)域,是典型的技術(shù)密集行業(yè),。蘇州光交聯(lián)型光刻膠光引發(fā)劑
在CAR技術(shù)體系中,,光刻膠中的光引發(fā)劑經(jīng)過(guò)曝光后并不直接改變光刻膠在顯影液中的溶解度,而是產(chǎn)生酸,。在后續(xù)的熱烘培流程的高溫環(huán)境下,,曝光產(chǎn)生的酸作為催化劑改變光刻膠在顯影液中的溶解度。因此CAR技術(shù)體系下的光引發(fā)劑又叫做光致酸劑。由于CAR光刻膠的光致酸劑產(chǎn)生的酸本身并不會(huì)在曝光過(guò)程中消耗而是作為催化劑而存在,,因此少量的酸就可以持續(xù)地起到有效作用,。CAR光刻膠的光敏感性很強(qiáng),所需要從深紫外輻射中吸收的能量很少,,因此加強(qiáng)了光刻的效率,。CAR光刻膠曝光速遞是DQN光刻膠的10倍左右。上海i線光刻膠顯示面板材料光刻膠下游為印刷電路板,、顯示面板和電子芯片,,廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、航空航天等領(lǐng)域,。
目前國(guó)內(nèi)從事半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)包括晶瑞股份,、南大光電、上海新陽(yáng),、北京科華等,。相關(guān)企業(yè)以i 線、g線光刻膠生產(chǎn)為主,,應(yīng)用集成電路制程為350nm以上,。在KrF光刻膠領(lǐng)域,北京科華,、博康已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),。國(guó)內(nèi)在ArF光刻膠領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程相對(duì)較快的企業(yè)為南大光電,其先后承擔(dān)國(guó)家02專項(xiàng)“高分辨率光刻膠與先進(jìn)封裝光刻膠產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目”和“ArF光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”,,公司自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成為國(guó)內(nèi)通過(guò)客戶驗(yàn)證的國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠,,其他國(guó)內(nèi)企業(yè)尚處于研發(fā)和驗(yàn)證階段。
光刻膠的產(chǎn)業(yè)鏈中游:為光刻膠制造環(huán)節(jié),,當(dāng)前全球光刻膠生產(chǎn)制造商主要被日本JSR,、信越化學(xué)、住友化學(xué),、東京應(yīng)化,、美國(guó)陶氏化學(xué)等制造商所壟斷,中國(guó)本土企業(yè)在光刻膠市場(chǎng)的份額較低,,與國(guó)外光刻膠制造商相比仍存明顯差距,。
光刻膠的產(chǎn)業(yè)鏈下游:主要涉及半導(dǎo)體、平板顯示器,、PCB等領(lǐng)域,。伴隨消費(fèi)升級(jí)、應(yīng)用終端產(chǎn)品更新迭代速度加快,,下游應(yīng)用領(lǐng)域企業(yè)對(duì)半導(dǎo)體,、平板顯示和PCB制造提出愈加精細(xì)化的要求,,將帶動(dòng)光刻膠行業(yè)持續(xù)發(fā)展。 從化學(xué)組成來(lái)看,,金屬氧化物光刻膠主要為稀土和過(guò)渡金屬有機(jī)化合物,。
從90年代后半期開始,光刻光源就開始采用248nm的KrF激光,;而從2000年代開始,,光刻就進(jìn)一步轉(zhuǎn)向使用193nm波長(zhǎng)的ArF準(zhǔn)分子激光作為光源。在那之后一直到目前的約20年里,,193nm波長(zhǎng)的ArF準(zhǔn)分子激光一直是半導(dǎo)體制程領(lǐng)域性能可靠,,使用較多的光刻光源。一般而言,,KrF(248nm)光刻膠使用聚對(duì)羥基苯乙烯及其衍生物作為成膜樹脂,,使用磺酸碘鎓鹽和硫鎓鹽作為光致酸劑;而ArF(193nm)光刻膠則多使用聚甲基丙烯酸酯衍生物,,環(huán)烯烴-馬來(lái)酸酐共聚物,,環(huán)形聚合物等作為成膜樹脂;由于化學(xué)結(jié)構(gòu)上的原因,,Arf(193nm)光刻膠需要比KrF(248nm)光刻膠更加敏感的光致酸劑,。在集成電路制造領(lǐng)域,如果說(shuō)光刻機(jī)是推動(dòng)制程技術(shù)進(jìn)步的“引擎”,,光刻膠就是這部“引擎”的“燃料”,。上海負(fù)性光刻膠印刷電路板
光刻膠市場(chǎng) ArF 與 KrF 占據(jù)主流,EUV 增長(zhǎng)較快,。蘇州光交聯(lián)型光刻膠光引發(fā)劑
環(huán)化橡膠型光刻膠:屬于聚烴類——雙疊氮系光刻膠,。這種膠是將天然橡膠溶解后,用環(huán)化劑環(huán)化制備而成的,。一般來(lái)說(shuō),,橡膠具有較好的耐腐蝕性,但是它的感光活性很差,。橡膠的分子量在數(shù)十萬(wàn)以上,因此溶解性甚低,,無(wú)論在光刻膠的配制還是顯影過(guò)程中都有很大困難,。因此無(wú)法直接采用橡膠為原料配制光刻膠。這一類光刻膠的重要組成部分為交聯(lián)劑,,又稱架橋劑,,可以起到光化學(xué)固化作用,依賴于帶有雙感光性官能團(tuán)的交聯(lián)劑參加反應(yīng),,交聯(lián)劑曝光后產(chǎn)生雙自由基,,它和聚烴類樹脂相作用,,在聚合物分子鏈之間形成橋鍵,變?yōu)槿S結(jié)構(gòu)的不溶性物質(zhì),。蘇州光交聯(lián)型光刻膠光引發(fā)劑
上海蔚云化工有限公司是一家貿(mào)易型類企業(yè),,積極探索行業(yè)發(fā)展,努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新,。上海蔚云化工是一家私營(yíng)獨(dú)資企業(yè)企業(yè),,一直“以人為本,服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營(yíng)理念;“誠(chéng)守信譽(yù),,持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針,。公司始終堅(jiān)持客戶需求優(yōu)先的原則,致力于提供高質(zhì)量的乙醇胺,,乙二胺,,丙二醇,己二酸二辛脂,。上海蔚云化工順應(yīng)時(shí)代發(fā)展和市場(chǎng)需求,,通過(guò)**技術(shù),力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的乙醇胺,,乙二胺,,丙二醇,己二酸二辛脂,。