氮化鋁粉體的制備工藝主要有直接氮化法和碳熱還原法,此外還有自蔓延合成法,、高能球磨法,、原位自反應合成法、等離子化學合成法及化學氣相沉淀法等,。直接氮化法:直接氮化法就是在高溫的氮氣氣氛中,,鋁粉直接與氮氣化合生成氮化鋁粉體,其化學反應式為2Al(s)+N2(g)→2AlN(s),,反應溫度在800℃-1200℃,。其優(yōu)點是工藝簡單,成本較低,,適合工業(yè)大規(guī)模生產,。其缺點是鋁粉表面有氮化物產生,導致氮氣不能滲透,,轉化率低,;反應速度快,反應過程難以控制,;反應釋放出的熱量會導致粉體產生自燒結而形成團聚,,從而使得粉體顆粒粗化,后期需要球磨粉碎,,會摻入雜質,。AIN晶體以〔AIN4〕四面體為結構單元共價鍵化合物,具有纖鋅礦型結構,,屬六方晶系,。湖州微米氮化鋁粉體
氮化鋁陶瓷的制備技術:壓制成形的三個階段:一階段,主要是顆粒的滑動和重排,,無論是一般的粉體或者造粒后的粉體,,其填充于模具中的很初結構中都含有和顆粒尺寸接近或稍小的空隙。第二階段,,顆粒接觸點部位發(fā)生變形和破裂,,當壓力超過顆粒料的表觀屈服應力時,顆粒發(fā)生變形使得顆粒間空隙減小,,隨著顆粒的變形,,坯體體積很大空隙尺寸減少,塑性低的致密粒料對應的屈服應力大,,達到相同致密度所需要更高的壓力,。第三階段,坯體進一步密實與彈性壓縮,這一階段起始于高壓力階段,,但密度提高幅度較小,,此階段發(fā)生一定程度的彈性壓縮,這種彈性壓縮過大,,則在脫模后會造成應力開裂與分層,。模壓成型的優(yōu)點是成型坯體尺寸準確、操作簡單,、模壓坯體中粘結劑含量較少,、干燥和燒成收縮較小,特別適用于制備形狀簡單,、長徑比小的制品,。但是,這種傳統(tǒng)的成型方法效率低,,且制得的AlN陶瓷零部件的尺寸精度取決于所用模具的精度,,而高精度模具的制備成本較高。麗水微米氮化硼價格氮化鋁薄膜用于薄膜器件的介質和耐磨,、耐熱,、散熱好的鍍層。
活性金屬釬焊法是在普通釬料中加入一些化學性質較為活潑的過渡元素如:Ti,、Zr,、Al、Nb,、V等。一定溫度下,,這些活潑元素會與陶瓷基板在界面處發(fā)生化學反應,,形成反應過渡層,如圖7所示,。反應過渡層的主要產物是一些金屬間化合物,,并具有與金屬相同的結構,因此可以被熔化的金屬潤濕,。共燒法是通過絲網(wǎng)印刷工藝在AlN陶瓷生片表面涂刷一層難熔金屬(Mo,、W等)的厚膜漿料,一起脫脂燒成,,使導電金屬與AlN陶瓷燒成為一體結構,。共燒法根據(jù)燒結溫度的高低可分為低溫共燒(LTCC)和高溫共燒(HTCC)兩種方式,低溫共燒基板的燒結溫度一般為800-900℃,,而高溫共燒基板的燒結溫度為1600-1900℃,。燒結后,為了便于芯片引線鍵合及焊接,還需在金屬陶瓷復合體的金屬位置鍍上一層Sn或Ni等熔點較低的金屬,。
氮化鋁的應用:應用于襯底材料,,AlN晶體是GaN、AlGaN以及AlN外延材料的理想襯底,。與藍寶石或SiC襯底相比,,AlN與GaN熱匹配和化學兼容性更高、襯底與外延層之間的應力更小,。因此,,AlN晶體作為GaN外延襯底時可大幅度降低器件中的缺陷密度,提高器件的性能,,在制備高溫,、高頻、高功率電子器件方面有很好的應用前景,。另外,,用AlN晶體做高鋁(Al)組份的AlGaN外延材料襯底還可以有效降低氮化物外延層中的缺陷密度,極大地提高氮化物半導體器件的性能和使用壽命,?;贏lGaN的高質量日盲探測器已經獲得成功應用。由于氮化鋁的聲表面波速度高,,具有壓電性,,可用作聲表面波器件。
AIN的作用:關于密集六角結構的A1N(a=0.3104,,C=0.4965nm)與硅鐵母相的析出方位關系,。在2000個約1微米左右的針狀A1N中,對用電子射線可明確分析的單晶中122個,、冷軋后155個試樣進行了調查,。結果是,觀察到大半的針狀AIN似乎沿{100}Fe及{120}Fe為慣析面析出,,但實際上,,A1N與硅鐵母相之間具有一定關系。關于晶界通過一個析出物時,,其對移動的抑制力,,如按Zener公式,一直用取決于形狀,、尺寸,、體積比等因子的機械抑制力IR來進行討論。從母相晶體與AIN之問的特殊析出位向關系出發(fā),,產生了新的抑制效果,,在此,稱之為選擇抑制力。AIN對母相晶體之所以具有特定的析出位向關系,,是因為其析出方位穩(wěn)定的原因,。氮化鋁耐熱、耐熔融金屬的侵蝕,,對酸穩(wěn)定,,但在堿性溶液中易被侵蝕。成都絕緣氮化鋁廠家直銷
制備氮化鋁粉末一般都需要較高的溫度,,從而導致生產制備過程中的能耗較高,,同時存在安全風險。湖州微米氮化鋁粉體
燒結是指陶瓷粉體經壓力壓制后形成的素坯在高溫下的致密化過程,在燒結溫度下陶瓷粉末顆粒相互鍵聯(lián),,晶粒長大,,晶界和坯體內空隙逐漸減少,坯體體積收縮,,致密度增大,,直至形成具有一定強度的多晶燒結體。氮化鋁作為共價鍵化合物,,難以進行固相燒結,。通常采用液相燒結機制,即向氮化鋁原料粉末中加入能夠生成液相的燒結助劑,,并通過溶解產生液相,,促進燒結。AlN燒結動力:粉末的比表面能,、晶格缺陷,、固液相之間的毛細力等。要制備高熱導率的AlN陶瓷,,在燒結工藝中必須解決兩個問題:是要提高材料的致密度,,第二是在高溫燒結時,要盡量避免氧原子溶入的晶格中,。
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