微泰使用激光加工超精密幾何產(chǎn)品,??梢詫?duì)各種材料(包括PCD,、PCBN,、陶瓷膜,、硬質(zhì)合金,、不銹鋼,、熱處理鋼和鉬)進(jìn)行精細(xì)加工,。在工業(yè)加工中,,沒(méi)有激光,,很難實(shí)現(xiàn)。然而,,典型的激光加工機(jī)的加工質(zhì)量主要取決于激光成形加工,,而激光成形加工的精度只有±0.1mm,。這是因?yàn)榧す馐且郧懈顬橹鞯男袠I(yè)。相比之下,,微泰加工技術(shù)非常成熟,,生產(chǎn)和供應(yīng)精度高、質(zhì)量高的激光加工產(chǎn)品,。應(yīng)用于PCD嵌件,、斷屑漕、激光固定板,、Ink-cup板,、MLCC測(cè)包機(jī)分度盤(pán)。超精密激光加工是可以高速制造精密零件的加工技術(shù),,它可以減少工業(yè)廢物,,同時(shí)將有害物質(zhì)的排放量降低。自動(dòng)化超精密切割
超精密加工技術(shù)的特點(diǎn)及其應(yīng)用超精密加工目前尚沒(méi)有統(tǒng)一的定義,,在不同的歷史時(shí)期,,不同的科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平情況下,有不同的理解,。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達(dá)到零點(diǎn)幾微米,,表面粗糙度優(yōu)于百分之幾微米的加工技術(shù)稱(chēng)為超精密加工技術(shù)。超精密加工的重要手段包括①超精密切削,,如超精密金剛石刀具鏡面車(chē)削,、銷(xiāo)削和銑削等;②超精密磨削、研磨和拋光;③超精密微細(xì)加工(電子束,、離子束,、激光束加工以及微硅器件的加工、LIGA技術(shù)等),。飛秒激光超精密陣列遮罩板通常,,按加工精度劃分,機(jī)械加工可分為一般加工,、精密加工,、超精密加工三個(gè)階段。
技術(shù)特點(diǎn)高精度:超精密加工能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米級(jí)別的加工精度,,這使得它非常適合用于制造需要極高精度的零部件,。高質(zhì)量表面:通過(guò)控制加工過(guò)程中的各種參數(shù),超精密加工可以產(chǎn)生非常光滑的表面,,減少表面粗糙度,。材料適用性廣:超精密加工技術(shù)可以應(yīng)用于各種材料,包括金屬、陶瓷和聚合物等,。應(yīng)用領(lǐng)域光學(xué)元件制造:如激光核聚變光學(xué)元件的制造,,需要極高的表面質(zhì)量和精度。微電子器件:如半導(dǎo)體芯片的制造,,需要極高的加工精度和表面質(zhì)量,。航空航天:用于制造高性能的航空零部件,如渦輪葉片等,。
超精密加工技術(shù)當(dāng)前是指被加工零件的尺寸和形狀精度高于0.1μm,,表面粗糙度Ra小于0.025μm,以及機(jī)床定位精度的分辨率和重復(fù)性高于0.01μm的加工技術(shù),,亦稱(chēng)之為亞微米級(jí)加工技術(shù),,目前正在向納米級(jí)加工技術(shù)發(fā)展。超精密加工技術(shù)在國(guó)際上處于前地位的國(guó)家是美國(guó),、英國(guó)和日本,。美國(guó)是開(kāi)展超精密加工技術(shù)研究很早的國(guó)家,也是迄今處于前方地位的國(guó)家,。英國(guó)的克蘭菲爾德精密工程研究所(簡(jiǎn)稱(chēng)CUPE)享有較高聲譽(yù),是當(dāng)今世界上精密工程的研究中心之一,。日本的超精密加工技術(shù)的研究相對(duì)于英美來(lái)說(shuō)起步較晚,,但它是當(dāng)今世界上超精密加工技術(shù)發(fā)展很快的國(guó)家。尤其在用于聲,、光,、圖像、辦公設(shè)備中的小型,、超小型電子和光學(xué)零件的超精密加工技術(shù)方面,,甚至超過(guò)了美國(guó)。激光的應(yīng)用已從大尺寸的粗糙加工,,慢慢擴(kuò)展到小尺寸,、高精度的領(lǐng)域。
高精度,、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題,。總的來(lái)說(shuō),,固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度,,而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP,、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性,,但以部分放棄加工效率為保證。超精密切削,、磨削技術(shù)雖然加工效率高,,但無(wú)法獲得如CMP,、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法,,成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標(biāo),。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢(shì)。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨,、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生,。超精密加工是為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路,、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來(lái)的精度極高的一種加工技術(shù),。進(jìn)口超精密半導(dǎo)體元件
超精密激光加工鉆孔也可以在電子產(chǎn)品表面,也可用于手機(jī)揚(yáng)聲器,、麥克風(fēng)及其他玻璃上的鉆孔,。自動(dòng)化超精密切割
超精密加工的機(jī)理研究:包括微細(xì)加工機(jī)理研究;微觀表面完整性研究,;在超精密范疇內(nèi)的對(duì)各種材料(包括被加工材料和刀具磨具材料)的加工過(guò)程,、現(xiàn)象、性能以及工藝參數(shù)進(jìn)行提示性研究1,。超精密加工的設(shè)備制造技術(shù)研究:如納米級(jí)超精密車(chē)床工程化研究,;超精密磨床研究;關(guān)鍵基礎(chǔ)件,,像軸系,、導(dǎo)軌副、數(shù)控伺服系統(tǒng),、微位移裝置等研究,;超精密機(jī)床總成制造技術(shù)研究1。超精密加工工具及刃磨技術(shù)研究:例如金剛石刀具及刃磨技術(shù),、金剛石微粉砂輪及其修整技術(shù)研究1,。超精密測(cè)量技術(shù)和誤差補(bǔ)償技術(shù)研究:包含納米級(jí)基準(zhǔn)與傳遞系統(tǒng)建立;納米級(jí)測(cè)量?jī)x器研究,;空間誤差補(bǔ)償技術(shù)研究,;測(cè)量集成技術(shù)研究1自動(dòng)化超精密切割