高精度,、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題,?？偟膩碚f，固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度,，而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率,。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性,，但以失去加工效率為保證,。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高,，但無法獲得如CMP,、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法,，成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標(biāo),。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢(shì)。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨,、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生,。超快激光采用的超短脈沖激光是利用場(chǎng)效應(yīng)進(jìn)行加工，不僅可以達(dá)到更高的精度,，并且不會(huì)對(duì)材料表面造成損傷,。韓國加工超精密半導(dǎo)體流量閥

精密、超精密加工技術(shù)是提高機(jī)電產(chǎn)品性能,、質(zhì)量,、工作壽命和可靠性,，以及節(jié)材節(jié)能的重要途徑。如：提高汽缸和活塞的加工精度,，就可提高汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的效率和馬力，減少油耗,；提高滾動(dòng)軸承的滾動(dòng)體和滾道的加工精度,，就可提高軸承的轉(zhuǎn)速，減少振動(dòng)和噪聲,；提高磁盤加工的平面度,，從而減少它與磁頭間的間隙，就可提高磁盤的存儲(chǔ)量,；提高半導(dǎo)體器件的刻線精度（減少線寬,，增加密度）就可提高微電子芯片的集成度。工業(yè)發(fā)達(dá)國家的一般工廠已能穩(wěn)定掌握3 μm的加工精度（我國為5 μm）,。同此,，通常稱低于此值的加工為普通精度加工，而高于此值的加工則稱之為高精度加工,。超快激光超精密分配板納米級(jí)的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) ,。

精密激光打孔是激光微加工重要的一方面，其應(yīng)用范圍很廣,，包括金屬鉆孔,，陶瓷鉆孔，半導(dǎo)體材料鉆孔,，玻璃鉆孔,，柔性材料鉆孔等等，尤其是針對(duì)一些堅(jiān)硬易碎或者彈性較大的材料,，如西林瓶打孔,、安瓿瓶打孔、輸液袋打孔等氣密性檢測(cè)相關(guān),，陶瓷,，藍(lán)寶石，薄膜等優(yōu)勢(shì)尤為明顯,。由于激光打孔具有效率高,、成本低及綜合技術(shù)經(jīng)濟(jì)效益好等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)成為超精密激光打孔認(rèn)可設(shè)備,。解決超精密激光打孔長(zhǎng)期的痛點(diǎn),。1、激光打孔機(jī)的技術(shù)已經(jīng)越來越成熟,，不單單可以進(jìn)行打孔,，還能切割,、焊接一體化，屬于多功能激光一體機(jī),。激光打孔是利用高性能激光束對(duì)樣品進(jìn)行瞬時(shí)打孔,，激光束打孔無需接觸，熱變形極小,，所以也就解決了傳統(tǒng)機(jī)械打孔出現(xiàn)變形的問題,。2、激光打孔機(jī)具備加工速度快,、效率高,、直邊割縫小、割面光滑,，可獲得大的深徑比和深寬比,，激光打出來的孔徑均勻、大小一致,，誤差極小,。3、激光打孔機(jī)可在硬,、脆,、軟等各種材料上進(jìn)行精細(xì)打孔切割。節(jié)省人工,，提高產(chǎn)能,，傻瓜式操作無需儲(chǔ)備技術(shù)人才，操作簡(jiǎn)單輕易上手,。超精密激光打孔機(jī)打孔速度非?？欤瑢⒏咝芗す馄髋c高精度的機(jī)床及控制系統(tǒng)配合,，通過微處理機(jī)進(jìn)行程序控制,，實(shí)現(xiàn)高效率打孔。

超精密加工技術(shù)是指加工精度達(dá)到亞微米級(jí)甚至納米級(jí)的制造技術(shù),，主要包括超精密車削,、磨削、銑削和電化學(xué)加工等方法,。這些方法能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)硬脆材料,、難加工材料和功能材料的精確加工，適用于光學(xué)元件,、微型機(jī)械,、生物醫(yī)療器件等領(lǐng)域。常見的超精密加工方法有：1.超精密車削：使用金剛石刀具進(jìn)行加工,，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)非球面和自由曲面的高精度加工,。2.超精密磨削：采用超硬磨料磨具,，適用于加工硬質(zhì)合金、陶瓷等高硬度材料,。3.超精密銑削：利用金剛石或立方氮化硼刀具,，適用于復(fù)雜形狀零件的高精度加工。4.超精密電化學(xué)加工：通過電解作用去除材料,，適用于加工微細(xì),、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的零件。超精密加工技術(shù)的發(fā)展對(duì)提高我國制造業(yè)的國際競(jìng)爭(zhēng)力具有重要意義,。超精密加工中的超微細(xì)加工技術(shù)是指制造超微小尺寸零件的加工技術(shù),。

超精密加工技術(shù)的特點(diǎn)及其應(yīng)用超精密加工目前尚沒有統(tǒng)一的定義,，在不同的歷史時(shí)期,，不同的科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平情況下，有不同的理解,。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達(dá)到零點(diǎn)幾微米,，表面粗糙度優(yōu)于百分之幾微米的加工技術(shù)稱為超精密加工技術(shù)。超精密加工的重要手段包括①超精密切削,，如超精密金剛石刀具鏡面車削,、銷削和銑削等;②超精密磨削、研磨和拋光;③超精密微細(xì)加工(電子束,、離子束,、激光束加工以及微硅器件的加工、LIGA技術(shù)等),。航空及航海工業(yè)中導(dǎo)航儀器上特殊精密零件,、雷射儀、光學(xué)儀器等也會(huì)運(yùn)用超精密加工的技術(shù),。微米級(jí)超精密超細(xì)孔

超精密激光表面處理的特點(diǎn)是無需使用外加材料,，只改變被處理材料表面層的組織結(jié)構(gòu)，被處理件變形很小,。韓國加工超精密半導(dǎo)體流量閥

通過介于工件和工具間的磨料及加工液,，工件及研具作相互機(jī)械摩擦，使工件達(dá)到所要求的尺寸與精度的加工方法,。對(duì)于金屬和非金屬工件都可以達(dá)到其他加工方法所不能達(dá)到的精度和表面粗糙度,，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm，加工變質(zhì)層很小,，表面質(zhì)量高,。精密研磨的設(shè)備簡(jiǎn)單，主要用于平面,、圓柱面,、齒輪齒面及有密封要求的配偶件的加工,，也可用于量規(guī)、量塊,、噴油嘴,、閥體與閥芯的光整加工。但精密研磨的效率較低（如干研速度一般為10 - 30m/min,，濕研速度為20 - 120m/min）,，對(duì)加工環(huán)境要求嚴(yán)格，如有大磨料或異物混入時(shí),，將使表面產(chǎn)生很難去除的劃傷,。拋光是利用機(jī)械、化學(xué),、電化學(xué)的方法對(duì)工件表面進(jìn)行的一種微細(xì)加工,，主要用來降低工件表面粗糙度，常用的方法有手工或機(jī)械拋光,、超聲波拋光,、化學(xué)拋光、電化學(xué)拋光及電化學(xué)機(jī)械復(fù)合加工等,。手工或機(jī)械拋光是用涂有磨膏的拋光器,，在一定的壓力下，與工件表面做相對(duì)運(yùn)動(dòng),，以實(shí)現(xiàn)對(duì)工件表面的光整加工,，加工后工件表面粗糙度Ra≤0.05μm，可用于平面,、柱面,、曲面及模具型腔的拋光加工，手工拋光的加工效果與操作者的熟練程度有關(guān),。超聲波拋光是利用工具端面做超聲振動(dòng),，通過磨料懸浮液對(duì)硬脆材料進(jìn)行光整加工。韓國加工超精密半導(dǎo)體流量閥