超精密加工技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)向更高精度方向發(fā)展：由現(xiàn)在的亞微米級(jí)向納米級(jí)進(jìn)軍，以期達(dá)到移動(dòng)原子的目的,，實(shí)現(xiàn)原子級(jí)加工,。向大型化方向發(fā)展：研制各類大型的超精密加工設(shè)備，以滿足航空,、航天,、通信和安全的需要。向微型化方向發(fā)展：以適應(yīng)飛速發(fā)展的微機(jī)械,、集成電路的需要,。向超精結(jié)構(gòu),、多功能、光,、加工檢測(cè)一體化等方向發(fā)展：多采用先進(jìn)的檢測(cè)監(jiān)控技術(shù)實(shí)時(shí)誤差補(bǔ)償,。新工藝和復(fù)合加工技術(shù)不斷涌現(xiàn)：使加工的材料的范圍不斷擴(kuò)大1。超精密加工被定義為對(duì)細(xì)節(jié)的要求格外費(fèi)心的工業(yè)技術(shù),，且需要掌握各種各樣的知識(shí),，才能準(zhǔn)確操作。超精密半導(dǎo)體卡盤

(4)超精密機(jī)電系統(tǒng)器件加工,。微機(jī)電系統(tǒng)(ME—MS)是從集成電路制造技術(shù)發(fā)展起來的新興機(jī)電產(chǎn)品,，如微小型傳感器、執(zhí)行器等,。硅光刻技術(shù),、LIGA技術(shù)和其它微細(xì)加工技術(shù)的生產(chǎn)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備都是超精密加工的產(chǎn)品,。超精密加工技術(shù)的發(fā)展及分析超精密加工技術(shù)是以高精度為目標(biāo)的技術(shù),，它必須綜合應(yīng)用各種新技術(shù)，在各個(gè)方面精益求精的條件下,，才有可能突破常規(guī)技術(shù)達(dá)不到的精度界限,，達(dá)到新的高精度指標(biāo)。近20年來超精密加工技術(shù)在以下幾個(gè)方面有很大的進(jìn)展：①超精密加工機(jī)床技術(shù);②超精密加工刀具及加工工藝技術(shù);③超精密加工的測(cè)量與控制技術(shù);④超精密加工環(huán)境控制(包括恒溫,、隔熱,、潔凈控制等)。超精密加工機(jī)床的設(shè)計(jì)與制造技術(shù)韓國加工超精密貼片電容透過超精密加工產(chǎn)生出來的零件精細(xì)度高,，不僅能提升產(chǎn)品的品質(zhì)與耐用度,，還能達(dá)到客制化的效果。

超精密加工技術(shù)是現(xiàn)代高技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)的重要支撐技術(shù),，是現(xiàn)代高科技產(chǎn)業(yè)和科學(xué)技術(shù)的發(fā)展基礎(chǔ),，是現(xiàn)代制造科學(xué)的發(fā)展方向。現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以試驗(yàn)為基礎(chǔ),，所需試驗(yàn)儀器和設(shè)備幾乎無一不需要超精密加工技術(shù)的支撐,。由宏觀制造進(jìn)入微觀制造是未來制造業(yè)發(fā)展趨勢(shì)之一，當(dāng)前超精密加工已進(jìn)入納米尺度,，納米制造是超精密加工前沿的課題,。世界發(fā)達(dá)國家均予以高度重視。下面就由慧聞智造淺析超精密加工的發(fā)展階段和cnc精加工影響因素,。目前的超精密加工,，以不改變工件材料物理特性為前提，以獲得極限的形狀精度、尺寸精度,、表面粗糙度,、表面完整性(無或極少的表面損傷，包括微裂紋等缺陷,、殘余應(yīng)力,、組織變化)為目標(biāo)。

精密和超精密磨削精密,、超精密加工發(fā)展初期,，磨削這種加工方法是被忽略的，因?yàn)樯拜喼心チＧ邢魅懈叨妊貜较蚍植嫉碾S機(jī)性和磨損的不規(guī)則性限制了磨削加工精度的提高,。隨著超硬磨料砂輪及砂輪修整技術(shù)的發(fā)展,，精密、超精密磨削技術(shù)逐漸成形并迅速發(fā)展,。金屬結(jié)合劑超硬磨料砂輪硬度高,、強(qiáng)度大、保形能力強(qiáng),、耐磨性好,，往往為精密和超精密磨削,、成形磨削所采用,。多層金屬結(jié)合劑超硬砂輪在實(shí)際使用過程中遇到的突出問題是：磨料把持力低、易脫落;磨粒出刃難,、出刃后出刃高度難以保持;磨料分布隨機(jī)性強(qiáng),。針對(duì)磨粒把持力弱的問題，在磨粒表面鍍上活性金屬,，通過活性金屬與磨料和結(jié)合劑的化學(xué)反應(yīng)與擴(kuò)散作用,，提高結(jié)合劑對(duì)磨料的把持力，如此誕生了鍍衣砂輪,。為解決磨粒出刃難的問題,，引入孔隙結(jié)構(gòu)誕生了多孔金屬結(jié)合劑砂輪。電鍍,、高溫釬焊砂輪對(duì)上述三個(gè)方面都有改善,，這些新型超硬磨料砂輪均出現(xiàn)于20世紀(jì)90年代。航空及航海工業(yè)中導(dǎo)航儀器上特殊精密零件,、雷射儀,、光學(xué)儀器等也會(huì)運(yùn)用超精密加工的技術(shù)。

高精度,、高效率高精度與高效率是超精密加工永恒的主題,。總的來說，固著磨粒加工不斷追求著游離磨粒的加工精度,，而游離磨粒加工不斷追求的是固著磨粒加工的效率,。當(dāng)前超精密加技術(shù)如CMP、EEM等雖能獲得極高的表面質(zhì)量和表面完整性,，但以失去加工效率為保證,。超精密切削、磨削技術(shù)雖然加工效率高,，但無法獲得如CMP,、EEM的加工精度。探索能兼顧效率與精度的加工方法,，成為超精密加工領(lǐng)域研究人員的目標(biāo),。半固著磨粒加工方法的出現(xiàn)即體現(xiàn)了這一趨勢(shì)。另一方面表現(xiàn)為電解磁力研磨,、磁流變磨料流加工等復(fù)合加工方法的誕生,。超精密飛秒激光技術(shù)是一種高精度、非接觸,、非熱效應(yīng)的加工方法,，適用于各種材料的微細(xì)加工。微加工超精密微孔

激光的應(yīng)用已從大尺寸的粗糙加工,，慢慢擴(kuò)展到小尺寸,、高精度的領(lǐng)域。超精密半導(dǎo)體卡盤

超精密加工超精密加工（Ultra-precision machining）是一種高度精確的制造技術(shù),，通常用于生產(chǎn)具有極高表面質(zhì)量和尺寸精度的零部件,。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、航空航天,、醫(yī)療器械等領(lǐng)域,。以下是一些關(guān)于超精密加工的關(guān)鍵點(diǎn)：特點(diǎn)和應(yīng)用高精度：超精密加工能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的精度，這使得它非常適合用于制造光學(xué)鏡頭,、半導(dǎo)體器件和其他需要極高精度的產(chǎn)品,。表面質(zhì)量控制：超精密加工的目標(biāo)是通過表面質(zhì)量控制獲得預(yù)定的表面功能。例如,，光學(xué)鏡片的表面需要非常光滑以確保光線的正確傳播,。超精密半導(dǎo)體卡盤