美國是早期研制開發(fā)超精密加工技術(shù)的國家,。早在1962年,，美國就開發(fā)出以單點金剛石車刀鏡面切削鋁合金和無氧銅的超精密半球車床,，其主軸回轉(zhuǎn)精度為 0.125μm,，加工直徑為?100mm的半球，尺寸精度為±0.6μm,，粗糙度為Ra0.025μm,。1984年又研制成功大型光學(xué)金剛石車床，可加工重1350kg,，?1625mm的大型零件,，工件的圓度和平面度達(dá)0.025μm，表面粗糙度為Ra0.042μm,。在該機(jī)床上采用多項新技術(shù),，如多光路激光測量反饋控制，用靜電電容測微儀測量工件變形,，32位機(jī)的CNC系統(tǒng),，用摩擦式驅(qū)動進(jìn)給和熱交換器控制溫度等。美國利用自己已有的成熟單元技術(shù),，只用兩周的時間便組裝成了一臺小型的超精密加工車床(BODTM型),，用刀尖半徑為5～10nm的單晶金剛石刀具，實現(xiàn)切削厚度為1nm (納米)的加工,。盡管如此,，美國還是繼續(xù)把微米級和納米級的加工技術(shù)作為國家的關(guān)鍵技術(shù)之一，這足以說明美國對這一技術(shù)的重視,。超精密激光切割的切縫小,、變形小、切割面光滑,、平整,、美觀，無須后序處理,。韓國加工超精密打孔

超精密加工的機(jī)理研究：包括微細(xì)加工機(jī)理研究,；微觀表面完整性研究；在超精密范疇內(nèi)的對各種材料（包括被加工材料和刀具磨具材料）的加工過程,、現(xiàn)象,、性能以及工藝參數(shù)進(jìn)行提示性研究1。超精密加工的設(shè)備制造技術(shù)研究：如納米級超精密車床工程化研究；超精密磨床研究,；關(guān)鍵基礎(chǔ)件,，像軸系、導(dǎo)軌副,、數(shù)控伺服系統(tǒng),、微位移裝置等研究；超精密機(jī)床總成制造技術(shù)研究1,。超精密加工工具及刃磨技術(shù)研究：例如金剛石刀具及刃磨技術(shù),、金剛石微粉砂輪及其修整技術(shù)研究1。超精密測量技術(shù)和誤差補(bǔ)償技術(shù)研究：包含納米級基準(zhǔn)與傳遞系統(tǒng)建立,；納米級測量儀器研究,；空間誤差補(bǔ)償技術(shù)研究；測量集成技術(shù)研究1微加工超精密超精細(xì)透過超精密加工產(chǎn)生出來的零件精細(xì)度高,，不僅能提升產(chǎn)品的品質(zhì)與耐用度,，還能達(dá)到客制化的效果。

精密激光打孔是激光微加工重要的一方面,，其應(yīng)用范圍很廣,，包括金屬鉆孔，陶瓷鉆孔,，半導(dǎo)體材料鉆孔,，玻璃鉆孔，柔性材料鉆孔等等,，尤其是針對一些堅硬易碎或者彈性較大的材料,，如西林瓶打孔、安瓿瓶打孔,、輸液袋打孔等氣密性檢測相關(guān),，陶瓷，藍(lán)寶石,，薄膜等優(yōu)勢尤為明顯,。目前弘遠(yuǎn)激光智能科技有限公司能夠?qū)崿F(xiàn)高深徑比的精密鉆孔，高效密集鉆孔,，比如安瓿瓶,、西林瓶打微米孔，打裂紋,，輸液袋打微米孔,、醫(yī)用霧化片打孔等等。超精密激光打孔因為其材料特殊,，用以往的打孔機(jī)械如果掌握不好,，打出來的孔會出現(xiàn)扁孔,、多邊孔等不圓的情況，而且打出來的孔不光滑孔口毛邊很大,，有的還需要進(jìn)行二次加工才能使用,。而且機(jī)械打孔目前不能實現(xiàn)微米級別打孔，隨著人們對打孔工藝的要求越來越精細(xì),，其傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法已不能滿足各種打孔加工速度,、質(zhì)量、深徑比等要求,。特別是薄鋁板的打孔與切割,，其要求更是越來越高，而激光打孔可以滿足許多加工的特殊要求,。

超精密加工技術(shù)的特點及其應(yīng)用超精密加工目前尚沒有統(tǒng)一的定義,，在不同的歷史時期,，不同的科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平情況下,，有不同的理解。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達(dá)到零點幾微米,，表面粗糙度優(yōu)于百分之幾微米的加工技術(shù)稱為超精密加工技術(shù),。超精密加工的重要手段包括①超精密切削，如超精密金剛石刀具鏡面車削,、銷削和銑削等;②超精密磨削,、研磨和拋光;③超精密微細(xì)加工(電子束、離子束,、激光束加工以及微硅器件的加工,、LIGA技術(shù)等)。激光的應(yīng)用已從大尺寸的粗糙加工,，慢慢擴(kuò)展到小尺寸,、高精度的領(lǐng)域。

微泰,，精湛的超精密加工技術(shù),，可達(dá)到微米級加工，充分考慮材料的特殊性加工超平整零件,，平整度公差小于3um零件精密加工的關(guān)鍵在于確保高水平的精度和質(zhì)量,，并確保與既定尺寸的偏差小實現(xiàn)。精密加工的半導(dǎo)體晶圓真空卡盤的平面度公差不超過3μm,，并通過三維接觸測量儀進(jìn)行全數(shù)檢查和系統(tǒng)質(zhì)量的管材,，為全球客戶提供精密加工。鋁（AL5052,、AL6061,、AL7075）、不銹鋼（SUS304、SUS316,、SUS630）,。銅、鎢,、鈦和蒙奈爾合金（MONEL）,。處理聚醚醚酮(PEEK)、聚甲醛(POM)和聚酰亞胺(PI)等材料,，需要精密加工,。使用高難度材料，如無氧高導(dǎo)銅(OFHC)制造半導(dǎo)體精密零件,。激光超精密打孔是將光斑直徑縮小到微米級,，從而獲得高的激光功率密度，幾乎可以在任何材料實行激光打孔,。韓國加工超精密VACUM CHUCK

超激光精密切割是利用脈沖激光束聚焦在加工物體表面,，形成一個個高能量密度光斑以瞬間高溫熔化被加工材料。韓國加工超精密打孔

超精密加工為了提升工藝的精細(xì)度,，超精密加工會使用到高精度位置感測器(displacementsensor),、高階CNC(computernumericalcontrol)控制器等進(jìn)階設(shè)備。由于精度高的緣故,，常應(yīng)用在光學(xué)元件,，如：雷射干涉系統(tǒng)、光碟機(jī)的讀取透鏡,、影印機(jī)與印表機(jī)用的fq鏡面,、數(shù)位相機(jī)或手機(jī)相機(jī)的光學(xué)鏡頭等；也會應(yīng)用在機(jī)械工業(yè)如：電腦硬碟,、光纖固定與連接裝置,、高精度射出或模造用模具…等。此外,，航空及航海工業(yè)中導(dǎo)航儀器上特殊精密零件,、雷射儀、光學(xué)儀器等也會運(yùn)用超精密加工的技術(shù),。韓國加工超精密打孔