EVG?850TB臨時(shí)鍵合機(jī)特征: 開放式膠粘劑平臺(tái); 各種載體(硅,,玻璃,,藍(lán)寶石等); 適用于不同基板尺寸的橋接工具功能,; 提供多種裝載端口選項(xiàng)和組合,; 程序控制系統(tǒng),; 實(shí)時(shí)監(jiān)控和記錄所有相關(guān)過程參數(shù); 完全集成的SECS/GEM接口,; 可選的集成在線計(jì)量模塊,,用于自動(dòng)反饋回路; 技術(shù)數(shù)據(jù): 晶圓直徑(基板尺寸):蕞長300毫米,,可能有超大的托架 不同的基材/載體組合 組態(tài) 外套模塊 帶有多個(gè)熱板的烘烤模塊 通過光學(xué)或機(jī)械對準(zhǔn)來對準(zhǔn)模塊 鍵合模塊: 選件 在線計(jì)量 ...
一旦將晶片粘合在一起,,就必須測試粘合表面,看該工藝是否成功,。通常,,將批處理過程中產(chǎn)生的一部分產(chǎn)量留給破壞性和非破壞性測試方法使用。破壞性測試方法用于測試成品的整體剪切強(qiáng)度,。非破壞性方法用于評估粘合過程中是否出現(xiàn)了裂紋或異常,,從而有助于確保成品沒有缺陷。 EV Group(EVG)是制造半導(dǎo)體,,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),,化合物半導(dǎo)體,,功率器件和納米技術(shù)器件的設(shè)備和工藝解決方案的**供應(yīng)商,。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,薄晶圓加工,,光刻/納米壓印光刻(NIL)和計(jì)量設(shè)備,,以及光刻膠涂布機(jī),清潔劑和檢查系統(tǒng),。成立于1980年的EV Group服務(wù)于復(fù)雜的全球客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò),,并為其提...
封裝技術(shù)對微機(jī)電系統(tǒng) (micro-electro-mechanical system,MEMS) 器件尺寸及功能的影響巨大,已成為 MEMS技術(shù)發(fā)展和實(shí)用化的關(guān)鍵技術(shù)[1],。實(shí)現(xiàn)封裝的技術(shù)手段很多,,其中較關(guān)鍵的工藝步驟就是鍵合工藝。隨著 MEMS 技術(shù)的發(fā)展,,越來越多的器件封裝需要用到表面帶有微結(jié)構(gòu)的硅片鍵合,,然而MEMS器件封裝一般采用硅—硅直接鍵合( silicon directly bonding,SDB) 技術(shù)[2],。由于表面有微結(jié)構(gòu)的硅片界面已經(jīng)受到極大的損傷,,其平整度和光滑度遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到SDB的要求,要進(jìn)行復(fù)雜的拋光處理,,這**加大了工藝的復(fù)雜性和降低了器件的成品率[3],。EV...
什么是長久鍵合系統(tǒng)呢? EVG晶圓鍵合方法的引入將鍵合對準(zhǔn)與鍵合步驟分離開來,,立即在業(yè)內(nèi)掀起了市場**,。利用高溫和受控氣體環(huán)境下的高接觸力,,這種新穎的方法已成為當(dāng)今的工藝標(biāo)準(zhǔn),EVG的鍵合機(jī)設(shè)備占據(jù)了半自動(dòng)和全自動(dòng)晶圓鍵合機(jī)的主要市場份額,,并且安裝的機(jī)臺(tái)已經(jīng)超過1500個(gè),。EVG的晶圓鍵合機(jī)可提供蕞/佳的總擁有成本(TCO),并具有多種設(shè)計(jì)功能,,可優(yōu)化鍵合良率,。針對MEMS,3D集成或高級(jí)封裝的不同市場需求,,EVG優(yōu)化了用于對準(zhǔn)的多個(gè)模塊,。下面是EVG的鍵合機(jī)EVG500系列介紹。 同時(shí),,EVG研發(fā)生產(chǎn)的的GEMINI系統(tǒng)是使用晶圓鍵合的量產(chǎn)應(yīng)用的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。甘肅官方授權(quán)經(jīng)銷鍵合機(jī) ...