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真空鍍膜：隨著沉積方法和技術(shù)的提升，物理的氣相沉積技術(shù)不僅可沉積金屬膜,、合金膜,、還可以沉積化合物,、陶瓷,、半導(dǎo)體、聚合物膜等,。物理的氣相沉積技術(shù)早在20世紀(jì)初已有些應(yīng)用，但30年迅速發(fā)展成為一門(mén)極具廣闊應(yīng)用前景的新技術(shù),，并向著環(huán)保型,、清潔型趨勢(shì)發(fā)展。在鐘表行業(yè),，尤其是較好手表金屬外觀件的表面處理方面達(dá)到越來(lái)越為普遍的應(yīng)用,。物理的氣相沉積技術(shù)基本原理可分三個(gè)工藝步驟：鍍料的氣化：即使鍍料蒸發(fā)，升華或被濺射,，也就是通過(guò)鍍料的氣化源,。鍍料原子、分子或離子的遷移：由氣化源供出原子,、分子或離子經(jīng)過(guò)碰撞后,，產(chǎn)生多種反應(yīng)。鍍料原子,、分子或離子在基體上沉積,。真空鍍膜被稱為可以在任何基板上沉積任何材料的薄膜技術(shù)。...

電子束蒸發(fā)是基于鎢絲的蒸發(fā),。大約 5 到 10 kV 的電流通過(guò)鎢絲（位于沉積區(qū)域外以避免污染）并將其加熱到發(fā)生電子熱離子發(fā)射的點(diǎn),。使用永磁體或電磁體將電子聚焦并導(dǎo)向蒸發(fā)材料（放置在坩堝中）。在電子束撞擊蒸發(fā)丸表面的過(guò)程中,，其動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱量,，釋放出高能量（每平方英寸數(shù)百萬(wàn)瓦以上）。因此,，容納蒸發(fā)材料的爐床必須水冷以避免熔化,。電子束蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉,，而且可以蒸發(fā)高熔點(diǎn)材料,，在蒸鍍合金時(shí)可以實(shí)現(xiàn)快速蒸發(fā)，避免合金的分餾,，其鍍膜質(zhì)量也可以達(dá)到較高水平,，可以廣泛應(yīng)用于激光器腔面鍍膜以及玻璃等各種光學(xué)材料表面鍍膜，是一種可易于實(shí)現(xiàn)大批量生產(chǎn)的成熟鍍膜技術(shù),。真空鍍膜中離子鍍清洗效果極好,，能使鍍層...

真空鍍膜：磁控濺射法：濺射鍍膜較初出現(xiàn)的是簡(jiǎn)單的直流二極濺射，它的優(yōu)點(diǎn)是裝置簡(jiǎn)單,，但是直流二極濺射沉積速率低,；為了保持自持放電,，不能在低氣壓(

真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件（金屬,、半導(dǎo)體或絕緣體）表面而形成薄膜的一種方法,。例如，真空鍍鋁,、真空鍍鉻等,。真空電鍍工藝中，ABS,、PC以及TPU等材質(zhì)的使用較為普遍,，但如果在注塑成型的過(guò)程中素材表面有脫模劑等油污的話，在真空電鍍之后罩UV光油時(shí),，表面會(huì)出現(xiàn)油點(diǎn),、油窩以及油斑等不良缺陷。真空鍍膜是一種由物理方法產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù),，在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來(lái)打到被鍍物體的表面上,。此項(xiàng)技術(shù)首先用于生產(chǎn)光學(xué)鏡片，如航海望遠(yuǎn)鏡鏡片等,；后延伸到其他功能薄膜,，唱片鍍鋁、裝飾鍍膜和材料表面改性等,，如手表外殼鍍仿金色,，機(jī)械刀具鍍膜，改變加工紅硬性,。真空鍍膜有三...

真空鍍膜的方法：離子鍍：在機(jī)加工刀具方面,鍍制的TiN,、TiC以其硬度高、耐磨性好,不粘刀等特性,使得刀具的使用壽命可提高3~10倍,生產(chǎn)效率也提高,。在固體潤(rùn)滑膜方面,Z新研制的多相納米復(fù)合膜TiN-MoS2/Ti及TiN-MoS2/WSe2,這類薄膜具有摩擦系數(shù)低,摩擦噪聲小,抗潮濕氧化能力較高,高低溫性能好,抗粉塵磨損能力較強(qiáng)及磨損壽命較長(zhǎng)等特點(diǎn),被普遍運(yùn)用于車(chē)輛零部件上,。與此同時(shí),離子鍍鈦也在航空航天,光學(xué)器件等領(lǐng)域應(yīng)用普遍,收效顯著。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所,。真空鍍膜中離子鍍的鍍層無(wú)小孔,。紹興新型真空鍍膜真空鍍膜的方法很多，計(jì)有：真空蒸鍍：將需鍍膜的基體清洗后放到鍍膜室,，抽空后將膜料加...

真空鍍膜：技術(shù)原理：PVD(PhysicalVaporDeposition)即物理的氣相沉積,，分為：真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜,。我們通常所說(shuō)的PVD鍍膜,，指的就是真空離子鍍膜和真空濺射鍍；通常說(shuō)的NCVM鍍膜，就是指真空蒸發(fā)鍍膜,。真空蒸鍍基本原理：在真空條件下,，使金屬、金屬合金等蒸發(fā),，然后沉積在基體表面上,，蒸發(fā)的方法常用電阻加熱，電子束轟擊鍍料,，使蒸發(fā)成氣相,，然后沉積在基體表面，歷史上,，真空蒸鍍是PVD法中使用較早的技術(shù)。分子束外延是一種很特殊的真空鍍膜工藝,。蕪湖UV真空鍍膜真空鍍膜：磁控濺射法：濺射鍍膜較初出現(xiàn)的是簡(jiǎn)單的直流二極濺射,，它的優(yōu)點(diǎn)是裝置簡(jiǎn)單，但是直流二極濺射沉積速率...

真空鍍膜的方法：化學(xué)氣相沉積：化學(xué)氣相沉積是一種化學(xué)生長(zhǎng)方法,簡(jiǎn)稱CVD(ChemicalVaporDeposition)技術(shù),。這種方法是把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物的單質(zhì)氣體供給基片,利用加熱,、等離子體、紫外光乃至激光等能源,借助氣相作用或在基片表面的化學(xué)反應(yīng)(熱分解或化學(xué)合成)生成要求的薄膜,。真空鍍鈦的CVD法中Z常用的就是等離子體化學(xué)氣相沉積(PCVD),。利用低溫等離子體作能量源,樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度,然后通入適量的反應(yīng)氣體,氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),在樣品表面形成固態(tài)薄膜。真空鍍膜中等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉...

真空鍍膜：磁控濺射法：濺射鍍膜較初出現(xiàn)的是簡(jiǎn)單的直流二極濺射,，它的優(yōu)點(diǎn)是裝置簡(jiǎn)單,，但是直流二極濺射沉積速率低；為了保持自持放電,，不能在低氣壓(

真空鍍膜的方法：濺射鍍膜：濺射鍍膜有很多種方式,。按電極結(jié)構(gòu)、電極相對(duì)位置以及濺射的過(guò)程,可以分為二極濺射,、三極或四極濺射,、磁控濺射、對(duì)向靶濺射,、和ECR濺射,。除此之外還根據(jù)制作各種薄膜的要求改進(jìn)的濺射鍍膜技術(shù)。比較常用的有:在Ar中混入反應(yīng)氣體如O2,、N2,、CH4、C2H2等,則可制得鈦的氧化物,、氮化物,、碳化物等化合物薄膜的反應(yīng)濺射。在成膜的基板上施加直到500V的負(fù)電壓,使離子轟擊膜層的同時(shí)成膜,由此改善膜層致密性的偏壓濺射。在真空中制備膜層,，包括鍍制晶態(tài)的金屬,、半導(dǎo)體、絕緣體等單質(zhì)或化合物膜,。云浮真空鍍膜加工磁控濺射由于其優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用日趨增長(zhǎng),成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中主要的技術(shù)之一,相應(yīng)的濺射技術(shù)與...

真空蒸發(fā)鍍膜是在真空室中,，加熱蒸發(fā)容器待形成薄膜的原材料，使其原子或者分子從表面氣化逸出,，形成蒸汽流,，入射到襯底或者基片表面，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法,。真空蒸發(fā)鍍膜法,，設(shè)備比較簡(jiǎn)單、容易操作,、制成的薄膜純度高,、質(zhì)量好、膜厚容易控制,，成膜速率快,，效果高。在一定溫度下,，在真空當(dāng)中,，蒸發(fā)物質(zhì)的蒸氣與固體或液體平衡過(guò)程中所表現(xiàn)出的壓力， 稱為該物質(zhì)的飽和蒸氣壓,。此時(shí)蒸發(fā)物表面液相,、氣相處于動(dòng)態(tài)平衡，即到達(dá)液相表面的分子全部粘接而不離開(kāi),，并與從液相都?xì)庀嗟姆肿訑?shù)相等,。物質(zhì)的飽和蒸氣壓隨溫度的上升而增大，在一定溫度下,，各種物質(zhì)的飽和蒸氣壓不相同,，且具有恒定的數(shù)值。相反,，一定的飽和蒸氣壓必定對(duì)應(yīng)一定的物質(zhì)的溫...

真空鍍膜：眾所周知,，在某些材料的表面上，只要鍍上一層薄膜,，就能使材料具有許多新的,、良好的物理和化學(xué)性能。20世紀(jì)70年代,，在物體表面上鍍膜的方法主要有電鍍法和化學(xué)鍍法,。前者是通過(guò)通電，使電解液電解，被電解的離子鍍到作為另一個(gè)電極的基體表面上,，因此這種鍍膜的條件,，基體必須是電的良導(dǎo)體，而且薄膜厚度也難以控制,。后者是采用化學(xué)還原法,，必須把膜材配制成溶液，并能迅速參加還原反應(yīng),，這種鍍膜方法不僅薄膜的結(jié)合強(qiáng)度差,，而且鍍膜既不均勻也不易控制，同時(shí)還會(huì)產(chǎn)生大量的廢液,，造成嚴(yán)重的污染,。因此，這兩種被人們稱之為濕式鍍膜法的鍍膜工藝受到了很大的限制,。真空鍍膜機(jī)的優(yōu)點(diǎn):可以通過(guò)涂料處理形成彩色膜,，其裝潢效果是鋁箔...

真空鍍膜：各種鍍膜技術(shù)都需要有一個(gè)蒸發(fā)源或靶子，以便把蒸發(fā)制膜的材料轉(zhuǎn)化成氣體,。由于源或靶的不斷改進(jìn)，擴(kuò)大了制膜材料的選用范圍,，無(wú)論是金屬,、金屬合金、金屬間化合物,、陶瓷或有機(jī)物質(zhì),，都可以蒸鍍各種金屬膜和介質(zhì)膜，而且還可以同時(shí)蒸鍍不同材料而得到多層膜,。蒸發(fā)或?yàn)R射出來(lái)的制膜材料,，在與待鍍的工件生成薄膜的過(guò)程中，對(duì)其膜厚可進(jìn)行比較精確的測(cè)量和控制,，從而保證膜厚的均勻性,。每種薄膜都可以通過(guò)微調(diào)閥精確地控制鍍膜室中殘余氣體的成分和質(zhì)量分?jǐn)?shù)，從而防止蒸鍍材料的氧化,，把氧的質(zhì)量分?jǐn)?shù)降低到較小的程度,，還可以充入惰性氣體等，這對(duì)于濕式鍍膜而言是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的,。由于鍍膜設(shè)備的不斷改進(jìn),，鍍膜過(guò)程可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)化，從而地提...

磁控濺射技術(shù)可制備裝飾薄膜,、硬質(zhì)薄膜,、耐腐蝕摩擦薄膜、超導(dǎo)薄膜、磁性薄膜,、光學(xué)薄膜,，以及各種具有特殊功能的薄膜，是一種十分有效的薄膜沉積方法,，在各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用非常廣,。“濺射”是指具有一定能量的粒子（一般為Ar+離子）轟擊固體（靶材）表面,，使得固體（靶材）分子或原子離開(kāi)固體,，從表面射出，沉積到被鍍工件上,。磁控濺射是在靶材表面建立與電場(chǎng)正交磁場(chǎng),，電子受電場(chǎng)加速作用的同時(shí)受到磁場(chǎng)的束縛作用，運(yùn)動(dòng)軌跡成擺線,，增加了電子和帶電粒子以及氣體分子相碰撞的幾率,，提高了氣體的離化率，提高了沉積速率,。真空鍍膜技術(shù)有化學(xué)氣相沉積鍍膜,。杭州真空鍍膜廠PECVD系統(tǒng)的氣源幾乎都是由氣體鋼瓶供氣，這些鋼瓶被放置在有許多...

在等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)工藝中,，由等離子體輔助化學(xué)反應(yīng)過(guò)程,。在等離子體輔助下，200 到500°C的工藝溫度足以實(shí)現(xiàn)成品膜層的制備,，因此該技術(shù)降低了基材的溫度負(fù)荷,。等離子可在接近基片的周?chē)患ぐl(fā)(近程等離子法)。而對(duì)于半導(dǎo)體硅片等敏感型基材,，輻射和離子轟擊可能損壞基材,。另一方面，在遠(yuǎn)程等離子法中,，等離子體與基材間設(shè)有空間隔斷,。隔斷不僅能夠保護(hù)基材，也允許激發(fā)混合工藝氣體的特定成分,。然而,，為保證化學(xué)反應(yīng)在被激發(fā)的粒子真正抵達(dá)基材表面時(shí)才開(kāi)始進(jìn)行，需精心設(shè)計(jì)工藝過(guò)程,。在真空中把金屬,、合金或化合物進(jìn)行蒸發(fā)或?yàn)R射，使其在被涂覆的物體上凝固并沉積的方法,，稱為真空鍍膜,。三亞新型真空鍍膜磁控濺...

真空鍍膜：離子鍍：離子鍍基本原理是在真空條件下,，采用某種等離子體電離技術(shù)，使鍍料原子部分電離成離子,，同時(shí)產(chǎn)生許多高能量的中性原子,，在被鍍基體上加負(fù)偏壓。這樣在深度負(fù)偏壓的作用下,，離子沉積于基體表面形成薄膜,。離子鍍借助于惰性氣體輝光放電，使鍍料（如金屬鈦）氣化蒸發(fā)離子化,，離子經(jīng)電場(chǎng)加速,，以較高能量轟擊工件表面，此時(shí)如通入二氧化碳,、氮?dú)獾确磻?yīng)氣體,，便可在工件表面獲得TiC、TiN覆蓋層,，硬度高達(dá)2000HV,。離子鍍技術(shù)較早在1963年由D。M,。Mattox提出,。1972年，Bunshah&Juntz推出活性反應(yīng)蒸發(fā)離子鍍(AREIP),，該方法可以沉積TiN,、TiC等超硬膜。1972年Moley&S...

真空鍍膜：濺射鍍膜：濺射鍍膜是指在真空條件下,，利用獲得功能的粒子（如氬離子）轟擊靶材料表面，使靶材表面原子獲得足夠的能量而逃逸的過(guò)程稱為濺射,。在真空條件下充入氬氣(Ar),，并在高電壓下使氬氣進(jìn)行輝光放電，可使氬(Ar)原子電離成氬離子(Ar+),。氬離子在電場(chǎng)力的作用下,，加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材，靶材會(huì)被濺射出來(lái)而沉積到工件表面,。被濺射的靶材沉積到基材表面,，就稱作濺射鍍膜。濺射鍍膜中的入射離子,，一般采用輝光放電獲得,，在10-2Pa～10Pa范圍。真空鍍膜機(jī)電磁閥是由電磁線圈和磁芯組成,，是包含一個(gè)或幾個(gè)孔的閥體,。三亞真空鍍膜廠真空鍍膜：物理的氣相沉積技術(shù)工藝過(guò)程簡(jiǎn)單,，對(duì)環(huán)境改善，無(wú)污染,，耗材少...

所謂的原子層沉積技術(shù),，是指通過(guò)將氣相前驅(qū)體交替脈沖通入反應(yīng)室并在沉積基體表面發(fā)生氣固相化學(xué)吸附反應(yīng)形成薄膜的一種方法。原子層沉積（ALD）是一種在氣相中使用連續(xù)化學(xué)反應(yīng)的薄膜形成技術(shù),?；瘜W(xué)氣相沉積：1個(gè)是分類的（CVD的化學(xué)氣相沉積）。在許多情況下,，ALD是使用兩種稱為前體的化學(xué)物質(zhì)執(zhí)行的,。每種前體以連續(xù)和自我控制的方式與物體表面反應(yīng)。通過(guò)依次重復(fù)對(duì)每個(gè)前體的曝光來(lái)逐漸形成薄膜,。ALD是半導(dǎo)體器件制造中的重要過(guò)程,，部分設(shè)備也可用于納米材料合成。真空鍍膜機(jī)爐體與爐門(mén)為了充分利用爐體的內(nèi)部空間,，減輕真空系統(tǒng)的負(fù)載,。東莞UV真空鍍膜真空鍍膜：PVD技術(shù)工藝步驟：清洗工件：接通直流電源，氬氣進(jìn)行輝光放...

真空鍍膜：多弧離子鍍：多弧離子鍍又稱作為電弧離子鍍,，由于在陰極上有多個(gè)弧斑持續(xù)呈現(xiàn),，所以稱作為“多弧”。多弧離子鍍的主要特點(diǎn)說(shuō)明：陰極電弧蒸發(fā)離化源可從固體陰極直接產(chǎn)生等離子體,，而不產(chǎn)生熔池,，所以可以任意方位布置，也可采用多個(gè)蒸發(fā)離化源,。鍍料的離化率高,，一般達(dá)60%～90%，卓著提高與基體的結(jié)合力改善膜層的性能,。沉積速率高,，改善鍍膜的效率。設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，弧電源工作在低電壓大電流工況,，工作較為安全。廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所,。真空鍍膜機(jī)模具滲碳是為了提高模具的整體強(qiáng)韌性,，即模具的工作表面具有高的強(qiáng)度和耐磨性。貴金屬真空鍍膜實(shí)驗(yàn)室磁控濺射的工作原理是指電子在外加電場(chǎng)的作用下,，在飛向襯底過(guò)程中與氬原子...

真空鍍膜的方法：真空蒸鍍法：激光束蒸發(fā)源蒸鍍技術(shù)是一種比較理想的薄膜制備方法,利用激光器發(fā)出高能量的激光束,經(jīng)聚焦照射到鍍料上,使之受熱氣化,。激光器可置于真空室外,避免了蒸發(fā)器對(duì)鍍材的污染,使膜層更純潔。同時(shí)聚焦后的激光束功率很高,可使鍍料達(dá)到極高的溫度,從而蒸發(fā)任何高熔點(diǎn)的材料,甚至可以使某些合金和化合物瞬時(shí)蒸發(fā),從而獲得成分均勻的薄膜,。真空蒸鍍法具有設(shè)備簡(jiǎn)單,節(jié)約金屬原材料,沉積Ti金屬及其氧化物,、合金鍍層等,表面附著均勻,生產(chǎn)周期短,對(duì)環(huán)境友好,可大規(guī)模生產(chǎn)等突出優(yōu)點(diǎn),。真空鍍膜機(jī)類金剛石薄膜通過(guò)蒸餾或?yàn)R射等方式在塑件表面沉積各種金屬和非金屬薄膜。山西等離子體增強(qiáng)氣相沉積真空鍍膜真空鍍膜的...

真空蒸發(fā)鍍膜是在真空室中,，加熱蒸發(fā)容器待形成薄膜的原材料,，使其原子或者分子從表面氣化逸出，形成蒸汽流,，入射到襯底或者基片表面,，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法。真空蒸發(fā)鍍膜法,，設(shè)備比較簡(jiǎn)單,、容易操作、制成的薄膜純度高,、質(zhì)量好,、膜厚容易控制，成膜速率快,，效果高,。在一定溫度下，在真空當(dāng)中,，蒸發(fā)物質(zhì)的蒸氣與固體或液體平衡過(guò)程中所表現(xiàn)出的壓力,， 稱為該物質(zhì)的飽和蒸氣壓。此時(shí)蒸發(fā)物表面液相,、氣相處于動(dòng)態(tài)平衡,，即到達(dá)液相表面的分子全部粘接而不離開(kāi)，并與從液相都?xì)庀嗟姆肿訑?shù)相等,。物質(zhì)的飽和蒸氣壓隨溫度的上升而增大,，在一定溫度下，各種物質(zhì)的飽和蒸氣壓不相同,，且具有恒定的數(shù)值,。相反，一定的飽和蒸氣壓必定對(duì)應(yīng)一定的物質(zhì)的溫...

針對(duì)PVD制備薄膜應(yīng)力的解決辦法主要有：1.提高襯底溫度,，有利于薄膜和襯底間原子擴(kuò)散，并加速反應(yīng)過(guò)程,，有利于形成擴(kuò)散附著,，降低內(nèi)應(yīng)力；2.熱退火處理,，薄膜中存在的各種缺陷是產(chǎn)生本征應(yīng)力的主要原因,，這些缺陷一般都是非平衡缺陷，有自行消失的傾向,，但需要外界給予活化能,。對(duì)薄膜進(jìn)行熱處理,，非平衡缺陷大量消失，薄膜內(nèi)應(yīng)力降低,；3.添加亞層控制多層薄膜應(yīng)力,，利用應(yīng)變相消原理，在薄膜層之間再沉積一層薄膜,，控制工藝使其呈現(xiàn)與結(jié)構(gòu)薄膜相反的應(yīng)力狀態(tài),，緩解應(yīng)力帶來(lái)的破壞作用，整體上抵消內(nèi)部應(yīng)力 真空鍍膜機(jī)在集成電路制造中的應(yīng)用：PVCD技術(shù),、真空蒸發(fā)金屬技術(shù),、磁控濺射技術(shù)和射頻濺射技術(shù)。EB真空鍍膜平臺(tái)真空鍍膜：...

真空鍍膜：真空蒸發(fā)鍍膜法：真空蒸發(fā)法的原理是：在真空條件下,，用蒸發(fā)源加熱蒸發(fā)材料,，使之蒸發(fā)或升華進(jìn)入氣相，氣相粒子流直接射向基片上沉積或結(jié)晶形成固態(tài)薄膜,；由于環(huán)境是真空,，因此，無(wú)論是金屬還是非金屬,，在這種情況下蒸發(fā)要比常壓下容易得多,。真空蒸發(fā)鍍膜是發(fā)展較早的鍍膜技術(shù)，其特點(diǎn)是：設(shè)備相對(duì)簡(jiǎn)單,，沉積速率快,，膜層純度高，制膜材料及被鍍件材料范圍很廣,，鍍膜過(guò)程可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)化,，應(yīng)用相當(dāng)普遍。按蒸發(fā)源的不同,，主要分為：電阻加熱蒸發(fā),、電子束蒸發(fā)、電弧蒸發(fā)和激光蒸發(fā)等,。真空鍍膜的鍍層質(zhì)量好,。叉指電極真空鍍膜廠商真空鍍膜：離子鍍膜法：離子鍍膜技術(shù)是在真空條件下，應(yīng)用氣體放電實(shí)現(xiàn)鍍膜的,，即在真空室中使氣體或蒸發(fā)物...

通過(guò)PVD制備的薄膜通常存在應(yīng)力問(wèn)題,，不同材料與襯底間可能存在壓應(yīng)力或張應(yīng)力，在多層膜結(jié)構(gòu)中可能同時(shí)存在多種形式的應(yīng)力,。薄膜應(yīng)力的起源是薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中的某種結(jié)構(gòu)不完整性(雜質(zhì),、空位、晶粒邊界,、錯(cuò)位等),、表面能態(tài)的存在,、薄膜與基底界面間的晶格錯(cuò)配等.對(duì)于薄膜應(yīng)力主要有以下原因：1.薄膜生長(zhǎng)初始階段，薄膜面和界面的表面張力的共同作用,；2.沉積過(guò)程中膜面溫度遠(yuǎn)高于襯底溫度產(chǎn)生熱應(yīng)變,；3.薄膜和襯底間點(diǎn)陣錯(cuò)配而產(chǎn)生界面應(yīng)力；4.金屬膜氧化后氧化物原子體積增大產(chǎn)生壓應(yīng)力,；5.斜入射造成各向異性成核,、生長(zhǎng)；6.薄膜內(nèi)產(chǎn)生相變或化學(xué)組分改變導(dǎo)致原子體積變化 真空鍍膜機(jī)光學(xué)鍍膜主要有兩種：一種是抗反射膜,、另一...

磁控濺射一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍,基本的原理是在真空中利用輝光放電(glowdischarge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面,，電漿中的陽(yáng)離子會(huì)加速?zèng)_向作為被濺鍍材的負(fù)電極表面，這個(gè)沖擊將使靶材的物質(zhì)飛出而沉積在基板上形成薄膜,。磁控濺射主要利用輝光放電(glowdischarge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面,靶材的原子被彈出而堆積在基板表面形成薄膜,。濺鍍薄膜的性質(zhì)、均勻度都比蒸鍍薄膜來(lái)的好,但是鍍膜速度卻比蒸鍍慢比較多,。新型的濺鍍?cè)O(shè)備幾乎都使用強(qiáng)力磁鐵將電子成螺旋狀運(yùn)動(dòng)以加速靶材周?chē)臍鍤怆x子化,造成靶與氬氣離子間的...

真空鍍膜：隨著沉積方法和技術(shù)的提升,，物理的氣相沉積技術(shù)不僅可沉積金屬膜、合金膜,、還可以沉積化合物,、陶瓷、半導(dǎo)體,、聚合物膜等,。物理的氣相沉積技術(shù)早在20世紀(jì)初已有些應(yīng)用，但30年迅速發(fā)展成為一門(mén)極具廣闊應(yīng)用前景的新技術(shù),，并向著環(huán)保型,、清潔型趨勢(shì)發(fā)展。在鐘表行業(yè),，尤其是較好手表金屬外觀件的表面處理方面達(dá)到越來(lái)越為普遍的應(yīng)用,。物理的氣相沉積技術(shù)基本原理可分三個(gè)工藝步驟：鍍料的氣化：即使鍍料蒸發(fā)，升華或被濺射,，也就是通過(guò)鍍料的氣化源,。鍍料原子、分子或離子的遷移：由氣化源供出原子,、分子或離子經(jīng)過(guò)碰撞后,，產(chǎn)生多種反應(yīng)。鍍料原子,、分子或離子在基體上沉積,。真空鍍膜機(jī),、真空鍍膜設(shè)備多弧離子鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量的高低是針...

真空鍍膜：隨著沉積方法和技術(shù)的提升,，物理的氣相沉積技術(shù)不僅可沉積金屬膜,、合金膜、還可以沉積化合物,、陶瓷,、半導(dǎo)體、聚合物膜等,。物理的氣相沉積技術(shù)早在20世紀(jì)初已有些應(yīng)用,，但30年迅速發(fā)展成為一門(mén)極具廣闊應(yīng)用前景的新技術(shù)，并向著環(huán)保型,、清潔型趨勢(shì)發(fā)展,。在鐘表行業(yè)，尤其是較好手表金屬外觀件的表面處理方面達(dá)到越來(lái)越為普遍的應(yīng)用,。物理的氣相沉積技術(shù)基本原理可分三個(gè)工藝步驟：鍍料的氣化：即使鍍料蒸發(fā),，升華或被濺射，也就是通過(guò)鍍料的氣化源,。鍍料原子,、分子或離子的遷移：由氣化源供出原子、分子或離子經(jīng)過(guò)碰撞后,，產(chǎn)生多種反應(yīng),。鍍料原子、分子或離子在基體上沉積,。真空鍍膜技術(shù)四五十年代開(kāi)始出現(xiàn)工業(yè)應(yīng)用,。朝陽(yáng)UV真空鍍...

真空鍍膜技術(shù)初現(xiàn)于20世紀(jì)30年代，四五十年代開(kāi)始出現(xiàn)工業(yè)應(yīng)用,，工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)開(kāi)始于20世紀(jì)80年代,，在電子、宇航,、包裝,、裝潢、燙金印刷等工業(yè)中取得普遍的應(yīng)用,。真空鍍膜是指在真空環(huán)境下,，將某種金屬或金屬化合物以氣相的形式沉積到材料表面(通常是非金屬材料)，屬于物理的氣相沉積工藝,。因?yàn)殄儗映榻饘俦∧?，故也稱真空金屬化。廣義的真空鍍膜還包括在金屬或非金屬材料表面真空蒸鍍聚合物等非金屬功能性薄膜,。在所有被鍍材料中,，以塑料較為常見(jiàn)，其次，為紙張鍍膜,。相對(duì)于金屬,、陶瓷、木材等材料,，塑料具有來(lái)源充足,、性能易于調(diào)控、加工方便等優(yōu)勢(shì),，因此種類繁多的塑料或其他高分子材料作為工程裝飾性結(jié)構(gòu)材料,，大量應(yīng)用于汽車(chē)...

真空鍍膜的方法：化學(xué)氣相沉積：化學(xué)氣相沉積是一種化學(xué)生長(zhǎng)方法,簡(jiǎn)稱CVD(ChemicalVaporDeposition)技術(shù)。這種方法是把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物的單質(zhì)氣體供給基片,利用加熱,、等離子體,、紫外光乃至激光等能源,借助氣相作用或在基片表面的化學(xué)反應(yīng)(熱分解或化學(xué)合成)生成要求的薄膜。真空鍍鈦的CVD法中Z常用的就是等離子體化學(xué)氣相沉積(PCVD),。利用低溫等離子體作能量源,樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上,利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使樣品升溫到預(yù)定的溫度,然后通入適量的反應(yīng)氣體,氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng),在樣品表面形成固態(tài)薄膜,。真空鍍膜機(jī)在集成電路制造中的應(yīng)用...

真空鍍膜：可鍍材料普遍：離子鍍由于是利用高能離子轟擊工件表面，使大量的電能在工件表面轉(zhuǎn)換成熱能,，從而促進(jìn)了表層組織的擴(kuò)散作用和化學(xué)反應(yīng),。然而，整個(gè)工件,，特別是工件心部并未受到高溫的影響,。因此這種鍍膜工藝的應(yīng)用范圍較廣，受到的局限性則較小,。通常,，各種金屬、合金以及某些合成材料,、絕緣材料,、熱敏材料和高熔點(diǎn)材料等均可鍍復(fù)。即可在金屬工件上鍍非金屬或金屬,，也可在非金屬上鍍金屬或非金屬,，甚至可鍍塑料、橡膠,、石英,、陶瓷等。真空鍍膜是在真空室內(nèi)把材料的原子從加熱源離析出來(lái)打到被鍍物體的表面上,。杭州真空鍍膜技術(shù)原子層沉積技術(shù)和其他薄膜制備技術(shù),。與傳統(tǒng)的薄膜制備技術(shù)相比，原子層沉積技術(shù)優(yōu)勢(shì)明顯,。傳統(tǒng)的溶液化學(xué)方...

磁控濺射由于其優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用日趨增長(zhǎng),成為工業(yè)鍍膜生產(chǎn)中主要的技術(shù)之一,相應(yīng)的濺射技術(shù)與也取得了進(jìn)一步的發(fā)展,。非平衡磁控濺射改善了沉積室內(nèi)等離子體的分布,提高了膜層質(zhì)量;中頻和脈沖磁控濺射可有效避免反應(yīng)濺射時(shí)的遲滯現(xiàn)象,消除靶中毒和打弧問(wèn)題,提高制備化合物薄膜的穩(wěn)定性和沉積速率;改進(jìn)的磁控濺射靶的設(shè)計(jì)可獲得較高的靶材利用率;高速濺射和自濺射為濺射鍍膜技術(shù)開(kāi)辟了新的應(yīng)用領(lǐng)域,，具有誘人的成膜效率和經(jīng)濟(jì)效益，實(shí)驗(yàn)簡(jiǎn)單方便,。真空鍍膜中離子鍍的鍍層有高硬度,、高耐磨性。寧波真空鍍膜工藝真空鍍膜的方法：真空蒸鍍法：電子束蒸發(fā)源利用燈絲發(fā)射的熱電子,經(jīng)加速陽(yáng)極加速,獲得動(dòng)能轟擊處于陽(yáng)極的蒸發(fā)材料,是蒸發(fā)材料加熱氣化...