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其中輸送裝置借由至少一呈順時針方向轉(zhuǎn)動的滾輪帶動基板由噴灑裝置的下端部朝向風(fēng)刀裝置的***風(fēng)刀的下端部的方向移動,。如上所述的蝕刻方法,，其中風(fēng)刀裝置分別借由一設(shè)置于該輸送裝置的上端部的***風(fēng)刀與一設(shè)置于該輸送裝置的下端部的第二風(fēng)刀朝向基板的上表面與下表面吹送氣體。借此，本實用新型所產(chǎn)生的技術(shù)效果：本實用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備主要借由具有復(fù)數(shù)個宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計,，有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異?，F(xiàn)象，確實達到保有原始擋液板的擋液效果,，以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)...

提高反應(yīng)體系的穩(wěn)定性,。當體系中加入過氧化氫后有助于提高過氧化氫的穩(wěn)定性,，避免由于過氧化氫分解而引發(fā)的，提高生產(chǎn)的安全性,。具體實施方式下面結(jié)合實施例,，對本發(fā)明的具體實施方式作進一步描述,。以下實施例用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案,，而不能以此來限制本發(fā)明的保護范圍。一種酸性銅蝕刻液的生產(chǎn)工藝,，所述工藝包括以下步驟：第一步：將純水進行低溫處理,，使純水溫度≤10℃在純水罐中備用,；純水罐中設(shè)有通過電路控制的電磁閥，當純水溫度高于10℃時,，電磁閥無法打開,。第二步：配制和準備原料,，將亞氨基二乙酸,、氫氟酸和乙醇酸分別投入對應(yīng)的原料罐中，經(jīng)過過濾器循環(huán)過濾,，備用,；將hno3,、四甲基氫氧化銨,、h2o2分...

伸縮桿12下端固定安裝有圓環(huán)塊13，圓環(huán)塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,，分隔板2與承載板3相互垂直設(shè)置,，電解池4內(nèi)部底端的傾斜角度設(shè)計為5°，進液管8的形狀設(shè)計為l型,，且進液管8貫穿分隔板2設(shè)置在進液漏斗6與伸縮管9之間,，圓環(huán)塊13通過伸縮桿12活動安裝在噴頭10上方,，且噴頭10通過伸縮管9活動安裝在電解池4上方，通過設(shè)置有伸縮管9與伸縮桿12,，能夠在蝕刻液通過進液管8流入到電解池4中時,，啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動，從而通過圓環(huán)塊13配合伸縮管9帶動噴頭10向上移動,，進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,，避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命，具有保護...

所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種,。本發(fā)明的蝕刻液推薦進一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽,。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸,、蘋果酸、檸檬酸,、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種。推薦為,，所述酸的濃度為20重量％至70重量％,，所述有機硫化合物的濃度為％至10重量％。另外，所述α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度推薦為％至5重量％,。另外,，本發(fā)明涉及一種使用所述蝕刻液在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻方法。發(fā)明的效果本發(fā)明的蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,。另外，本發(fā)明的蝕刻液實質(zhì)上不含氫氟酸及過氧化氫,，因此毒性低,，保存穩(wěn)定性優(yōu)異,。具體實施方式...

如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)，其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,，mm),。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),，其中宣泄孔為千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列方式,。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)，其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合,。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),，其中宣泄孔具有一***壁面,，以及一第二壁面,，且第二擋板具有一下表面，當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,，***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),，其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,，宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),，其中當宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時，宣泄孔的上孔徑小于下孔徑,。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),，其中...

對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚,、完整地描述,，顯然,，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例,，而不是全部的實施例，基于本實用新型中的實施例,，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,，都屬于本實用新型保護的范圍。實施例一,，請參閱圖1-4，本實用新型提供技術(shù)方案：高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,，包括裝置主體1,、支撐腿2,、電源線3和單片機4，裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2,，裝置主體1的后面一側(cè)底部固定連接有電源線3,，裝置主體1的一側(cè)中間部位固定連接有控制器5,，裝置主體1的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機4，裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲罐14,，裝...

所述液位計7安裝于所述分離器的外表面,。液位計7安裝在方便工作人員查看的位置,，有利于提高工作人員工作的效率。在一個實施例中,，如圖1所示,，所述液位開關(guān)9為控制閥，設(shè)置于所述濾液出口2處,?？刂崎y為內(nèi)螺紋截止閥，通過旋轉(zhuǎn)操縱盤實現(xiàn)閥門的開關(guān),，這種閥結(jié)構(gòu)簡單,，維修方便,，工作行程小,，啟閉時間短,，使用壽命長。在一個實施例中,，如圖2所示，所述分離器的側(cè)壁上設(shè)有多個視鏡10,。分離器側(cè)壁上設(shè)置的視鏡10可以幫助工作人員輔助判斷液位計7的工作狀況,。在一個實施例中,，如圖1所示,，所述加熱器11為盤管式加熱器,。盤管式加熱器的受熱更加均勻，加熱效率更高,。在一個實施例中,，如圖1所示，所述分離器底部為錐體形狀,。分離器底...

目前的平面顯示裝置，尤其是有機電激發(fā)光顯示器,，多使用鉻金屬作為導(dǎo)線的材料,。但是因為鉻金屬的阻值高,，因此研究者一直在尋求利用阻值較低的金屬作為導(dǎo)線的材料,。以往曾經(jīng)有提議以銀作為平面顯示裝置的導(dǎo)線材料，但是因為無適當穩(wěn)定的蝕刻液組成物,，所以并未有***的運用,。近幾年為提高平面顯示裝置的效能，研究者仍專注于如何降低導(dǎo)線材料的電阻值,。銀合金目前被視為適當?shù)膶?dǎo)線材料,，因其阻值低于其他的金屬,。此外,，含銀量超過80％以上的銀合金,，雖然阻值未若銀金屬一般低,，但是其阻值遠低于鉻金屬,。然而由于銀合金未具有適當?shù)奈g刻液，所以并沒有廣泛應(yīng)用于晶片或面板的黃光制程,。發(fā)明人爰因于此,，本于積極發(fā)明的精神,，亟思一...

下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,。圖1是實施例一中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖；圖2是實施例二中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖,；圖3是實施例三中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖；圖4是實施例四中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖,。具體實施方式下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,。實施例一鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,，包括混合罐、過濾器和數(shù)個小型的儲存罐,，混合罐通過液管與過濾器連接,，過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管，每個儲存罐的進液口和出液口中安裝有一只單向液動閥,，過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中，將過濾后的鋁蝕刻液注入儲...

銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學(xué)品產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于平板顯示,、LED制造及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。隨著新技術(shù)的不斷進步,，對該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟,、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎(chǔ)上我司自主進行了無氟,，無硝酸,，低雙氧水濃度銅蝕刻液的研發(fā)，并可兼容于不同CuMo鍍膜厚度之工藝,。產(chǎn)品特點：1.6%雙氧水濃度的銅蝕刻液lifetime可至7000ppm,。2.末期銅蝕刻液工藝溫度（32）下可穩(wěn)定72H，常溫可穩(wěn)定120H,；無暴沸現(xiàn)象,。3.銅蝕刻液CD-Loss均一性良好，taper符合制程要求,。4.銅蝕刻液可兼容MoCu結(jié)構(gòu)不同膜厚度的機種,。哪家公司的蝕刻液的口碑比較...

本實用新型涉及資源回收再利用領(lǐng)域,，特別是涉及含銅蝕刻液氣液分離裝置,。背景技術(shù)：線路板生產(chǎn)工業(yè)中,，會對已經(jīng)使用于蝕刻線路板的含銅蝕刻廢液進行回收利用,，在回收過程中，廢液在加熱器中通過蒸汽進行換熱,，換熱完的廢液在高溫狀態(tài)下進入分離器，會在分離器中發(fā)生閃蒸,，閃蒸產(chǎn)生的二次蒸汽中,，攜帶有大小不等的液滴，現(xiàn)有技術(shù)因缺乏有效的分離氣液的手段,，含有銅的液體隨著蒸汽被排走，導(dǎo)致了產(chǎn)品發(fā)生損失,。技術(shù)實現(xiàn)要素：基于此,，有必要針對現(xiàn)有技術(shù)氣液分離率低的問題,，提供一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,。一種含銅蝕刻液氣液分離裝置，包括分離器及加熱器,，所述分離器設(shè)有液體入口、蒸汽出口及濾液出口,，所述液體入口用于將加熱器產(chǎn)生...

如前文所述,，必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題，因此,，該復(fù)數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小，例如：孔徑a0小于3mm,，即可因毛細現(xiàn)象的作用，亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,，而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示),。再者，請再參閱圖10至圖12所示,，為本實用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖、其三較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,，以及宣泄孔的表面張力局部放大圖，其中該宣...

所述裝置主體前端表面靠近左上邊角位置設(shè)置有活動板，所述分隔板右端放置有蓄水箱,，所述蓄水箱上端靠近右側(cè)連接有進水管，所述回流管下端連接有抽水管,，所述抽水管內(nèi)部上端設(shè)置有三號電磁閥,，所述裝置主體前端表面靠近右側(cè)安裝有控制面板。作為本發(fā)明的進一步方案,，所述分隔板與承載板相互垂直設(shè)置,，所述電解池內(nèi)部底端的傾斜角度設(shè)計為5°。作為本發(fā)明的進一步方案,，所述進液管的形狀設(shè)計為l型，且進液管貫穿分隔板設(shè)置在進液漏斗與伸縮管之間,。作為本發(fā)明的進一步方案，所述圓環(huán)塊通過伸縮桿活動安裝在噴頭上方,，且噴頭通過伸縮管活動安裝在電解池上方。作為本發(fā)明的進一步方案,，所述回流管與進水管的形狀均設(shè)計為l型，所述傾斜板的...

且過濾部件能將內(nèi)部的過濾板進行拆卸更換,，有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,，連接構(gòu)件,，連接構(gòu)件設(shè)置在攪拌倉的底部,，連接構(gòu)件與攪拌倉固定連接,，連接構(gòu)件能將裝置主體內(nèi)部的兩個構(gòu)件進行連接并固定,，且在將兩構(gòu)件進行連接或拆卸的時候,，不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作，有效的提高了裝置連接的實用性,。附圖說明圖1為本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖,；圖2為本實用新型的過濾部件剖視圖,；圖3為本實用新型的連接構(gòu)件剖視圖,；圖4為本實用新型的內(nèi)部構(gòu)件連接框架圖。圖中：1,、裝置主體,，2、支撐腿,，3、電源線,，4、單片機,，5、控制器,，6、防滑紋,，7,、密封閥門(z45x-16...

所述液位計連接有液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器,。在其中一個實施例中，所述分離器的側(cè)壁上設(shè)有多個視鏡,。在其中一個實施例中，所述液位計安裝于所述分離器的外表面,。在其中一個實施例中,，所述液位開關(guān)為控制閥，設(shè)置于所述濾液出口處,。在其中一個實施例中,，所述加熱器為盤管式加熱器。在其中一個實施例中,，所述分離器底部為錐體形狀,。上述,，利用加熱器對含銅蝕刻液進行加熱，使其達到閃蒸要求的溫度,，將加熱好的含銅蝕刻液輸送至分離器,，經(jīng)過減壓閥及真空泵減壓，含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸,，產(chǎn)生大量蒸汽,，蒸汽中攜帶著大小不等的液滴，通過除霧組件和除沫組件可以防止大液滴從蒸汽出口飛出,，減小產(chǎn)品損失。附圖說明圖1是本實施例...

避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時候,，會因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,，有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進行。推薦的,，支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6,，在制備蝕刻液的時候，需要將裝置固定的特定的位置,，通過支撐腿2將裝置主體1進行支撐固定,，在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時，防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力,，使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上,，有效的提高了裝置固定的防滑性。推薦的,，過濾部件9的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板26,，常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合，其分散混合性能差,，蝕刻液雜質(zhì)含量多,，過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜...

本實用涉及電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,。背景技術(shù)：近年來,，人們對半導(dǎo)體裝置、液晶顯示器的需求量不斷增加的同時,，對于這些裝置所具有的配線,、電極等的微小化、高性能化的要求也越來越嚴格,，而蝕刻的效果能直接導(dǎo)致電路板制造工藝的好壞,，影響高密度細導(dǎo)線圖像的精度和質(zhì)量，為了解決蝕刻液組合物蝕刻鋁材料過程中,，對蝕刻速率慢,、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的多層配線的半導(dǎo)體裝置的配線的斷路,、短路，得到較高的成品率,，為保證其穩(wěn)定性及蝕刻的平滑度及精度,，在蝕刻液中需要加入多種組分，而常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合?，F(xiàn)有的高蝕刻速率...

避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時候,，會因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況，有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進行,。推薦的,，支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6，在制備蝕刻液的時候,，需要將裝置固定的特定的位置,，通過支撐腿2將裝置主體1進行支撐固定，在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時,，防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力,，使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上，有效的提高了裝置固定的防滑性,。推薦的,，過濾部件9的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板26，常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,，其分散混合性能差,，蝕刻液雜質(zhì)含量多，過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜...

本實用新型涉及一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,。背景技術(shù)：鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備主要包括混合罐,、過濾器和儲存罐，將蝕刻液中的各組份在混合罐混合均勻,，由過濾器濾去雜質(zhì)后投入儲存罐中暫存,，然后分裝銷售。以往,，鋁蝕刻液的分裝由人工操作,，隨著自動化技術(shù)的興起，全自動灌裝線在鋁蝕刻液生產(chǎn)企業(yè)得到廣泛應(yīng)用,，但是,，我司的鋁蝕刻液生產(chǎn)車間面積較小，無法放置自動灌裝線,，所以需要對現(xiàn)有的生產(chǎn)設(shè)備進行改造,，以實現(xiàn)鋁蝕刻液的全自動灌裝。技術(shù)實現(xiàn)要素：本實用新型提出了一種鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題,。為達前述目的,，本實用新型提供的技術(shù)方案如下：鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,，包括混合罐,、過濾器、數(shù)個儲存罐,、數(shù)輛液壓升降式拖...

伸縮桿12下端固定安裝有圓環(huán)塊13,，圓環(huán)塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,，分隔板2與承載板3相互垂直設(shè)置，電解池4內(nèi)部底端的傾斜角度設(shè)計為5°,，進液管8的形狀設(shè)計為l型,，且進液管8貫穿分隔板2設(shè)置在進液漏斗6與伸縮管9之間，圓環(huán)塊13通過伸縮桿12活動安裝在噴頭10上方,，且噴頭10通過伸縮管9活動安裝在電解池4上方,，通過設(shè)置有伸縮管9與伸縮桿12，能夠在蝕刻液通過進液管8流入到電解池4中時,，啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動，從而通過圓環(huán)塊13配合伸縮管9帶動噴頭10向上移動,，進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,，避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命，具有保護...

博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),，該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā),、品質(zhì)保證、倉儲和物流,。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天,、汽車領(lǐng)域水處理、膠黏劑行業(yè)日化,、食品,、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù)，該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā),、品質(zhì)保證,、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天,、汽車領(lǐng)域水處理,、膠黏劑行業(yè)日化、食品,、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內(nèi)外**公司提供化工產(chǎn)品的服務(wù),，該服務(wù)包含了國內(nèi)原材料資源開發(fā)、品質(zhì)保證,、倉儲和物流,。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學(xué)品航天,、汽車領(lǐng)域水處理、...

為本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,，以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,，在本實用新型其二較佳實施例中，開設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,，且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,，例如：圖4中所示的w1，其中w1大于圖3的w或圖5的w2,，其中w2大于w,，而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm，以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細現(xiàn)象,，若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,，則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面，但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,，以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上,、下二端部的壓力。此外,，請參閱圖6與圖7所示...

可以維持合適的蝕刻速度且提高sin/sio2選擇比,。(b)硅烷系偶聯(lián)劑本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶聯(lián)劑作為防蝕劑可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化時使用。上述硅烷系偶聯(lián)劑推薦使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以,，更推薦滿足,。上述硅烷系偶聯(lián)劑推薦按照蝕刻液組合物的蝕刻程度(etchingamount，e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加,。上述硅烷系偶聯(lián)劑推薦為選自由原硅酸四乙酯(tetraethylorthosilicate),、雙(三...

12、伸縮桿,；13,、圓環(huán)塊；14,、連接桿,；15、回流管,；16,、增壓泵；17,、一號排液管,；18、一號電磁閥,；19,、抽氣泵,；20、排氣管,；21,、集氣箱；22,、二號排液管,；23、二號電磁閥,；24,、傾斜板；25,、活動板,；26、蓄水箱,；27,、進水管；28,、抽水管,；29、三號電磁閥,；30、控制面板,。具體實施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,，顯然,，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例,?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,，都屬于本發(fā)明保護的范圍,。請參閱圖1-5，本發(fā)明提供一種技術(shù)方...

本發(fā)明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法,。背景技術(shù)：以往,，在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液,，該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,，并且該蝕刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的過氧化氫,、％至5重量％的磷酸、％至％的膦酸系化合物及氨所構(gòu)成的水溶液將pH值調(diào)整為7至9,。但是,，含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題，含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問題?，F(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1：日本特許第4471094號說明書,。技術(shù)實現(xiàn)要素：發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明是鑒于所述實際情況而成，其目的在于...

為本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,，以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖,，在本實用新型其二較佳實施例中，開設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,，且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離,，例如：圖4中所示的w1，其中w1大于圖3的w或圖5的w2,，其中w2大于w,，而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm，以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細現(xiàn)象,，若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,，則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面，但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,，以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上,、下二端部的壓力。此外,，請參閱圖6與圖7所示...

本實用涉及蝕刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,，具體為一種ito蝕刻液制備裝置。背景技術(shù)：蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù),，蝕刻技術(shù)分為濕蝕刻和干蝕刻,，其中，濕蝕刻是采用化學(xué)試劑,，經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)達到蝕刻的目的,，薄膜場效應(yīng)晶體管液晶顯示器(tft～lcd)、發(fā)光二極管(led),、有機發(fā)光二極管(oled)等行業(yè)用作面板過程中銦錫氧化物半導(dǎo)體透明導(dǎo)電膜(ito)的蝕刻通常采用鹽酸和硝酸的混合水溶液?，F(xiàn)有的制備裝置在進行制備時會發(fā)***熱反應(yīng)，使得裝置外殼穩(wěn)定較高,，工作人員直接接觸有燙傷風(fēng)險,，熱水與鹽酸接觸會產(chǎn)生較為劇烈的反應(yīng)，濺出容易傷害工作人員，保護性不足,，鹽酸硝酸具有較強的腐蝕性,，常規(guī)的攪...

內(nèi)部頂部兩側(cè)的震蕩彈簧件14，震蕩彈簧件14頂端的運轉(zhuǎn)電機組13,，運轉(zhuǎn)電機組13頂端的控制面板15,，內(nèi)部中間部位的致密防腐桿16和致密防腐桿16內(nèi)部內(nèi)側(cè)的攪動孔17共同組合而成，由于鹽酸硝酸具有較強的腐蝕性,，常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕,，影響蝕刻液的質(zhì)量，用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進行攪拌,，成本過高,，且混合的效果不好，通過設(shè)置高效攪拌裝置2,，該裝置通過運轉(zhuǎn)電機組13驅(qū)動旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12,，使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12帶動高效攪拌裝置2進行旋轉(zhuǎn)搖勻，同時設(shè)置的震蕩彈簧件14可通過驅(qū)動對高效攪拌裝置2進行震蕩搖勻,，高效攪拌裝置2內(nèi)部的蝕刻液通過內(nèi)置的致密防腐桿16,，致密防腐桿16內(nèi)部的攪動孔17能夠使蝕刻...

12、伸縮桿,；13,、圓環(huán)塊；14,、連接桿,；15、回流管,；16,、增壓泵；17,、一號排液管；18,、一號電磁閥,；19、抽氣泵,；20,、排氣管；21,、集氣箱,；22、二號排液管；23,、二號電磁閥,；24、傾斜板,；25,、活動板；26,、蓄水箱,；27、進水管,；28,、抽水管；29,、三號電磁閥,；30、控制面板,。具體實施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,，顯然,，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例,?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,，都屬于本發(fā)明保護的范圍,。請參閱圖1-5，本發(fā)明提供一種技術(shù)方...

近年來,，oled顯示器廣泛應(yīng)用于手機和平板顯示,。金屬銀以優(yōu)異的電導(dǎo)率和載流子遷移率被廣泛應(yīng)用于oled顯示器的陽極布線(ito/ag/ito)結(jié)構(gòu)中。為了對此進行蝕刻,，目前主要使用基于磷酸,、硝酸、醋酸和硝酸鹽的濕蝕刻液(cna),。這樣的體系雖然能有效去除金屬銀,，但在實際使用過程中仍會存在少量的銀殘留或銀再吸附沉積問題。4.本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于如何解決現(xiàn)有的銀蝕刻液在使用過程中存在少量的銀殘留,、銀再吸附沉積問題,。5.本發(fā)明通過以下技術(shù)手段實現(xiàn)解決上述技術(shù)問題的：6.一種銀蝕刻液組合物，其成分由質(zhì)量占比為40-60％磷酸、2-10％硝酸,、％有機酸,、％硝酸鹽、％含氮元素有機物,、其...