圖7:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)運(yùn)作局部放大圖,。圖8:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,。圖9:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,。圖11:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其三較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,。圖12:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實(shí)施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖,。圖13:本實(shí)用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號(hào)說(shuō)明:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)a擋液板結(jié)構(gòu)b風(fēng)刀c氣體本實(shí)用新型1蝕刻設(shè)備10擋液板結(jié)構(gòu)11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211**...
當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時(shí),,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會(huì)往該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121流動(dòng),,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,,亦可達(dá)到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問(wèn)題,;此外,為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問(wèn)題,,因此,,該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,,即可因毛細(xì)現(xiàn)象的作用,,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與...
且過(guò)濾部件能將內(nèi)部的過(guò)濾板進(jìn)行拆卸更換,有效的提高了裝置連接安裝的便利性,。2.高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,,連接構(gòu)件,連接構(gòu)件設(shè)置在攪拌倉(cāng)的底部,,連接構(gòu)件與攪拌倉(cāng)固定連接,連接構(gòu)件能將裝置主體內(nèi)部的兩個(gè)構(gòu)件進(jìn)行連接并固定,,且在將兩構(gòu)件進(jìn)行連接或拆卸的時(shí)候,,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,有效的提高了裝置連接的實(shí)用性,。附圖說(shuō)明圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖,;圖2為本實(shí)用新型的過(guò)濾部件剖視圖;圖3為本實(shí)用新型的連接構(gòu)件剖視圖,;圖4為本實(shí)用新型的內(nèi)部構(gòu)件連接框架圖,。圖中:1、裝置主體,,2,、支撐腿,3,、電源線,,4、單片機(jī),,5,、控制器,6,、防滑紋,,7,、密封閥門(z45x-16...
ITO蝕刻液的分類:已經(jīng)使用的蝕刻液類型有六種類型:酸性氯化銅、堿性氯化銅,、氯化鐵,、過(guò)硫酸銨、硫酸/鉻酸,、硫酸/雙氧水蝕刻液,。酸性氯化銅,工藝體系,,根據(jù)添加不同的氧化劑又可細(xì)分為氯化銅+空氣體系,、氯化銅+氯酸鈉體系、氯化銅+雙氧水體系三種蝕刻工藝,,在生產(chǎn)過(guò)程中通過(guò)補(bǔ)加鹽酸+空氣,、鹽酸加氯酸鈉、鹽酸+雙氧水和少量的添加劑來(lái)實(shí)現(xiàn)線路板板的連續(xù)蝕刻生產(chǎn),。ITO蝕刻液由氟化銨,、草酸、硫酸鈉,、氫氟酸,、硫酸、硫酸銨,、甘油,、水組成。江蘇TIO去膜液生產(chǎn)商ITO顯影劑就是一種納米導(dǎo)光性能的材料合成的,。如何正確使用蝕刻液,。深圳哪家蝕刻液蝕刻液訂做價(jià)格 避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時(shí)候,會(huì)因操...
以帶動(dòng)該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風(fēng)刀裝置40的該***風(fēng)刀41下端部的方向移動(dòng),。該風(fēng)刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,,該風(fēng)刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風(fēng)刀41,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風(fēng)刀42,,其中該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42分別吹出一氣體43至該基板20,,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進(jìn)方向,以使該基板20上該藥液51減少,,其中該氣體43遠(yuǎn)離該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。此外,,請(qǐng)一并參閱圖8與圖9所示,,為本實(shí)用新型蝕...
所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種。本發(fā)明的蝕刻液推薦進(jìn)一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽,。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸,、蘋果酸、檸檬酸,、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種,。推薦為,所述酸的濃度為20重量%至70重量%,,所述有機(jī)硫化合物的濃度為%至10重量%,。另外,所述α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度推薦為%至5重量%,。另外,,本發(fā)明涉及一種使用所述蝕刻液在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻方法。發(fā)明的效果本發(fā)明的蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,。另外,,本發(fā)明的蝕刻液實(shí)質(zhì)上不含氫氟酸及過(guò)氧化氫,因此毒性低,,保存穩(wěn)定性優(yōu)異,。具體實(shí)施方式...
也不能在回收結(jié)束后對(duì)裝置內(nèi)部進(jìn)行清理的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,,包括裝置主體,所述裝置主體內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板,,所述分隔板左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板,,所述承載板上端表面放置有電解池,所述電解池內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜,,所述裝置主體上端表面靠近右側(cè)安裝有進(jìn)液漏斗,所述進(jìn)液漏斗上設(shè)置有過(guò)濾網(wǎng),,所述裝置主體內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進(jìn)液管,,所述進(jìn)液管左端連接有伸縮管,所述伸縮管下端安裝有噴頭,,所述裝置主體上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸,,所述液壓缸下端安裝有伸縮桿,所述伸縮桿下端固定安裝有圓環(huán)塊,,所述圓環(huán)塊與噴頭之間固定連接有連接桿,,...
操作人員的手會(huì)與連接構(gòu)件11接觸,海綿層12可以將操作人員手上的水分進(jìn)行吸收,,避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時(shí)候,,會(huì)因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進(jìn)行,;然后,,通過(guò)連接構(gòu)件11將裝置主體1內(nèi)部構(gòu)件進(jìn)行連接,,連接構(gòu)件11設(shè)置有十四個(gè),連接構(gòu)件11設(shè)置在攪拌倉(cāng)23的底部,,連接構(gòu)件11與攪拌倉(cāng)23固定連接,,連接構(gòu)件11能將裝置主體1內(nèi)部的兩個(gè)構(gòu)件進(jìn)行連接并固定,且在將兩構(gòu)件進(jìn)行連接或拆卸的時(shí)候,,不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作,,在將兩構(gòu)件的連接管放在連接構(gòu)件11的兩端,再通過(guò)連接管與連接構(gòu)件11內(nèi)側(cè)兩端的螺紋管27進(jìn)行連接,,通過(guò)...
鋁板面蝕刻用:酸,、堿都行。(鋁板是兩性材料,,既能與酸反應(yīng),,又能與堿反應(yīng),所以腐蝕液有的用堿性材料腐蝕,,有的用酸性材料腐蝕,,一般情況下,以酸性材料腐蝕的為多,,堿性材料可以洗白,。下好料的鋁板用棗木碳研磨,去掉油膩,、劃痕,,磨出啞光表面。然后用絲網(wǎng)版印上紋樣,,油墨型號(hào)為80-39,、80-59、80-49等,。這種耐腐蝕油墨細(xì)膩,,印出的紋樣質(zhì)量高。印完紋樣后放進(jìn)電爐內(nèi)烘干,,然后用即時(shí)貼封住后面,,用膠帶封邊,進(jìn)入腐蝕工藝,。鋁板的腐蝕液配方如下:三氯化鐵50%硫酸銅50%水適量,,波美度15~20°之間,鋁板腐蝕時(shí)應(yīng)平放,,在腐蝕的過(guò)程中紋樣上溢出赭紅色的滓渣,,應(yīng)隨時(shí)用毛刷去掉,鋁面上冒出大量泡泡,滓渣隨泡泡浮起...
ITO顯影劑也稱為造影劑或?qū)Ρ葎?,是一種X光無(wú)法穿透的藥劑,,用于讓體內(nèi)組織在X光檢查時(shí)能看得更清楚。例如消化道攝影時(shí),,醫(yī)師會(huì)讓患者喝下一杯顯影劑溶液(大多含鋇),,然后用各種角度照相,就能讓胃腸道看得很清楚,。如果顯影只是在光強(qiáng)較大的地方產(chǎn)生游離銀,,而對(duì)底片不做進(jìn)一步處理,則把它一拿出暗室,,未顯影的鹵化銀就會(huì)立刻曝光,。此后,幾乎任何還原劑都將使底片完全形成灰霧,。為了克服這個(gè)問(wèn)題,,必須找到一種適當(dāng)?shù)奈镔|(zhì)以除去未還原的鹵化銀。黑白照相中較常用的定影液是硫代硫酸鈉溶液,。其中的硫代硫酸根離子(S2O32-)與銀離子形成可溶于水的穩(wěn)定配合物,,因而達(dá)到“固定”底片的目的。ITO顯影液的市場(chǎng)需求會(huì)隨著電子行業(yè)的...
ITO蝕刻液的分類:已經(jīng)使用的蝕刻液類型有六種類型:酸性氯化銅,、堿性氯化銅,、氯化鐵、過(guò)硫酸銨,、硫酸/鉻酸,、硫酸/雙氧水蝕刻液。酸性氯化銅,,工藝體系,,根據(jù)添加不同的氧化劑又可細(xì)分為氯化銅+空氣體系、氯化銅+氯酸鈉體系,、氯化銅+雙氧水體系三種蝕刻工藝,,在生產(chǎn)過(guò)程中通過(guò)補(bǔ)加鹽酸+空氣、鹽酸加氯酸鈉,、鹽酸+雙氧水和少量的添加劑來(lái)實(shí)現(xiàn)線路板板的連續(xù)蝕刻生產(chǎn)。ITO蝕刻液由氟化銨,、草酸,、硫酸鈉、氫氟酸,、硫酸,、硫酸銨、甘油、水組成,。江蘇TIO去膜液生產(chǎn)商ITO顯影劑就是一種納米導(dǎo)光性能的材料合成的,。銅蝕刻液的配方是什么?綿陽(yáng)江化微的蝕刻液蝕刻液銷售價(jià)格 蝕刻液也可含有α-羥基羧酸和/或其鹽,。α-羥基羧...
所述硫醚系化合物推薦為選自由甲硫氨酸,、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種。本發(fā)明的蝕刻液推薦進(jìn)一步含有α-羥基羧酸和/或其鹽,。所述α-羥基羧酸推薦為選自由酒石酸,、蘋果酸、檸檬酸,、乳酸及甘油酸所組成的群組中的至少一種,。推薦為,所述酸的濃度為20重量%至70重量%,,所述有機(jī)硫化合物的濃度為%至10重量%,。另外,所述α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度推薦為%至5重量%,。另外,,本發(fā)明涉及一種使用所述蝕刻液在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻方法。發(fā)明的效果本發(fā)明的蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,。另外,,本發(fā)明的蝕刻液實(shí)質(zhì)上不含氫氟酸及過(guò)氧化氫,因此毒性低,,保存穩(wěn)定性優(yōu)異,。具體實(shí)施方式...
將蝕刻液通過(guò)回流管抽入到一號(hào)排液管中,并由進(jìn)液管導(dǎo)入到伸縮管中,,直至蝕刻液由噴頭重新噴到電解池中,,可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉(zhuǎn)化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用,;該回收處理裝置通過(guò)設(shè)置有伸縮管與伸縮桿,,能夠在蝕刻液通過(guò)進(jìn)液管流入到電解池中時(shí),啟動(dòng)液壓缸帶動(dòng)伸縮桿向上移動(dòng),,從而通過(guò)圓環(huán)塊配合伸縮管帶動(dòng)噴頭向上移動(dòng),,進(jìn)而將蝕刻液緩慢的由噴頭噴入到電解池中,避免蝕刻液對(duì)電解池造成沖擊而影響其使用壽命,,具有保護(hù)電解池的功能,;該回收處理裝置通過(guò)設(shè)置有集氣箱與蓄水箱,能夠在電解蝕刻液結(jié)束后,,啟動(dòng)抽氣泵,,將電解池中產(chǎn)生的有害氣體抽入到排氣管并導(dǎo)入到集氣箱中,,實(shí)現(xiàn)有害氣體的清理,接著啟動(dòng)增壓...
在上述硅烷系偶聯(lián)劑的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下,,能夠調(diào)節(jié)添加劑本身凝膠化,,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能。(c)水本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導(dǎo)體工序的去離子水,,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水,。上述水的含量可以為使包含本發(fā)明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量。推薦可以按照本發(fā)明的組合物總重量的2~45重量%來(lái)包含,。<選擇添加劑的方法,、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,本發(fā)明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對(duì)上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法,、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的...
伸縮桿12下端固定安裝有圓環(huán)塊13,,圓環(huán)塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,分隔板2與承載板3相互垂直設(shè)置,,電解池4內(nèi)部底端的傾斜角度設(shè)計(jì)為5°,,進(jìn)液管8的形狀設(shè)計(jì)為l型,且進(jìn)液管8貫穿分隔板2設(shè)置在進(jìn)液漏斗6與伸縮管9之間,,圓環(huán)塊13通過(guò)伸縮桿12活動(dòng)安裝在噴頭10上方,,且噴頭10通過(guò)伸縮管9活動(dòng)安裝在電解池4上方,通過(guò)設(shè)置有伸縮管9與伸縮桿12,,能夠在蝕刻液通過(guò)進(jìn)液管8流入到電解池4中時(shí),,啟動(dòng)液壓缸11帶動(dòng)伸縮桿12向上移動(dòng),從而通過(guò)圓環(huán)塊13配合伸縮管9帶動(dòng)噴頭10向上移動(dòng),,進(jìn)而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,,避免蝕刻液對(duì)電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護(hù)...
本發(fā)明涉及回收處理技術(shù)領(lǐng)域,,具體為一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,。背景技術(shù):廢銅蝕刻液含有可回收的金屬,所以需要進(jìn)行回收處理,,目前通用的做法是,,使用化學(xué)方法回收廢液內(nèi)的銅,或提煉成硫酸銅產(chǎn)品,,工藝落后,,銅回收不徹底,處理的經(jīng)濟(jì)效益不明顯,,有二次污染污染物排放,,一旦處理不當(dāng)往外排放,勢(shì)必對(duì)水體生態(tài)系統(tǒng)造成大的沖擊,。市場(chǎng)上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡(jiǎn)單的對(duì)蝕刻液進(jìn)行回收處理,,不能對(duì)蝕刻液進(jìn)行循環(huán)電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,,而且蝕刻液導(dǎo)入到電解池中會(huì)對(duì)電解池造成沖擊,,進(jìn)而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會(huì)產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境,,也不能在回收結(jié)束后對(duì)裝置內(nèi)部進(jìn)行清理,,...
并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121落下造成該基板20的蝕刻不均等異常現(xiàn)象,,確實(shí)達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板而導(dǎo)致該基板20刮傷或破片風(fēng)險(xiǎn)等主要優(yōu)勢(shì)。該蝕刻設(shè)備1可進(jìn)一步設(shè)置有一噴灑裝置50,,該噴灑裝置50設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,,且該基板20設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的下方約8毫米至15毫米之間,其中該噴灑裝置50用以噴灑一藥液51至該基板20上,,以對(duì)該基板20進(jìn)行一濕式蝕刻制程,;由上述的說(shuō)明,擋液板結(jié)構(gòu)10的設(shè)置即是為了避免噴灑裝置50的藥液51繼續(xù)對(duì)已經(jīng)完成蝕刻步驟的基板20再進(jìn)行蝕刻制程,,故仍舊會(huì)有少量的藥液51噴灑...
所述制備裝置主體的內(nèi)部中間部位活動(dòng)連接有高效攪拌裝置,,所述制備裝置主體的一側(cè)中間部位嵌入連接有翻折觀察板,所述制備裝置主體的底端固定連接有裝置底座,,所述裝置底座的內(nèi)部底部固定連接有成品罐,,所述裝置底座的頂端一側(cè)固定連接有鹽酸裝罐,所述裝置底座的頂端另一側(cè)固定連接有硝酸裝罐,,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部頂部中間部位活動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤,,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部頂部?jī)蓚?cè)活動(dòng)連接有震蕩彈簧件,所述震蕩彈簧件的頂端固定連接有運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組,,所述運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組的頂端電性連接有控制面板,,所述高效攪拌裝置的內(nèi)部中間部位固定連接有致密防腐桿,所述致密防腐桿的內(nèi)部?jī)?nèi)側(cè)貫穿連接有攪動(dòng)孔,,所述鹽酸裝罐的內(nèi)部一側(cè)嵌入連接有...
該擋液板結(jié)構(gòu)10包括有一***擋板11,、一與該***擋板11接合的第二擋板12,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,,其主要特征在于:該第二擋板12具有復(fù)數(shù)個(gè)貫穿該第二擋板12且錯(cuò)位設(shè)置的宣泄孔121,。該***擋板11與該第二擋板12呈正交設(shè)置,且該第二擋板12與該第三擋板13呈正交設(shè)置,,以使該***擋板11,、該第二擋板12與該第三擋板13圍設(shè)成一凹槽的態(tài)樣,在一實(shí)施例中,,該***擋板11,、該第二擋板12與該第三擋板13可以為一體成形,其中該第二擋板12的長(zhǎng)度h介于10cm至15cm之間,,而該等開設(shè)于該第二擋板12上的宣泄孔121可呈千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列的態(tài)樣,,且該宣...
本發(fā)明涉及回收處理技術(shù)領(lǐng)域,,具體為一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。背景技術(shù):廢銅蝕刻液含有可回收的金屬,,所以需要進(jìn)行回收處理,,目前通用的做法是,使用化學(xué)方法回收廢液內(nèi)的銅,,或提煉成硫酸銅產(chǎn)品,,工藝落后,,銅回收不徹底,,處理的經(jīng)濟(jì)效益不明顯,,有二次污染污染物排放,,一旦處理不當(dāng)往外排放,,勢(shì)必對(duì)水體生態(tài)系統(tǒng)造成大的沖擊。市場(chǎng)上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡(jiǎn)單的對(duì)蝕刻液進(jìn)行回收處理,,不能對(duì)蝕刻液進(jìn)行循環(huán)電解,,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,,而且蝕刻液導(dǎo)入到電解池中會(huì)對(duì)電解池造成沖擊,進(jìn)而影響電解池的使用壽命,,并且在回收處理中會(huì)產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境,也不能在回收結(jié)束后對(duì)裝置內(nèi)部進(jìn)行清理,,...
對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,,顯然,,所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,,而不是全部的實(shí)施例,基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。實(shí)施例一,,請(qǐng)參閱圖1-4,,本實(shí)用新型提供技術(shù)方案:高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,,包括裝置主體1、支撐腿2,、電源線3和單片機(jī)4,,裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2,裝置主體1的后面一側(cè)底部固定連接有電源線3,,裝置主體1的一側(cè)中間部位固定連接有控制器5,,裝置主體1的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機(jī)4,裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲(chǔ)罐14,,裝...
在上述硅烷系偶聯(lián)劑的含量處于上述含量范圍內(nèi)的情況下,,能夠調(diào)節(jié)添加劑本身凝膠化,且獲得合適的sio2防蝕和sin蝕刻性能,。(c)水本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述水可以為用于半導(dǎo)體工序的去離子水,,推薦使用18mω/㎝以上的上述去離子水。上述水的含量可以為使包含本發(fā)明的必須成分以及除此以外的其他成分的組合物總重量成為100重量%的余量,。推薦可以按照本發(fā)明的組合物總重量的2~45重量%來(lái)包含,。<選擇添加劑的方法、由此選擇的添加劑及利用其的蝕刻方法>此外,,本發(fā)明提供選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*對(duì)上述氮化物膜選擇性蝕刻的蝕刻液組合物的添加劑的方法,、由此選擇的添加劑以及利用該添加劑的...
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問(wèn)題即在于提供一種擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,尤其是指一種適用于濕式蝕刻機(jī)的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產(chǎn)品損耗的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設(shè)備,,主要借由具有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風(fēng)刀裝置的硬體設(shè)計(jì),,有效使風(fēng)刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異?,F(xiàn)象,,確實(shí)達(dá)到保有原始擋液板的擋液效果,以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導(dǎo)致的基板刮傷或破片風(fēng)險(xiǎn)等主要優(yōu)勢(shì),。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段如下所述,。為了達(dá)到上述的實(shí)施目的,本實(shí)用新型提出一種擋液板結(jié)構(gòu),,適用于一濕式蝕刻機(jī),,擋液板...
將hno3,、四甲基氫氧化銨、h2o2分別投入對(duì)應(yīng)的原料罐,,備用,;第三步:根據(jù)混酸配制表算出各個(gè)原料的添加量,按照純水→亞氨基二乙酸→氫氟酸→hno3→四甲基氫氧化銨→乙醇酸的順序依次將原料加入調(diào)配罐,,將上述混料充分?jǐn)嚢?,攪拌時(shí)間為3~5h;第四步:在第三步的混料中再添加h2o2,,繼續(xù)攪拌混勻,,攪拌時(shí)間為3~5h,用磁力泵將混合液通過(guò)過(guò)濾器循環(huán)過(guò)濾,。作為推薦的技術(shù)方案,,所述磁力泵出口壓力≤,過(guò)濾器入口壓力≤,。根據(jù)制備銅蝕刻液的原料確定磁力泵的出口壓力和過(guò)濾器的入口壓力,,包裝原料可以被充分過(guò)濾。作為推薦的技術(shù)方案,,所述調(diào)配罐內(nèi)的溫度設(shè)定在30~35℃,。調(diào)配罐的溫度不能超過(guò)35℃,由于過(guò)氧化...
該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等,,且該上孔徑a1小于該下孔徑a2,,或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮,以維持毛細(xì)現(xiàn)象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問(wèn)題,。當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板(本圖式未標(biāo)示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時(shí),,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會(huì)往該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121流動(dòng),并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示),,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現(xiàn)象,,亦可達(dá)到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸...
目前的平面顯示裝置,尤其是有機(jī)電激發(fā)光顯示器,,多使用鉻金屬作為導(dǎo)線的材料,。但是因?yàn)殂t金屬的阻值高,因此研究者一直在尋求利用阻值較低的金屬作為導(dǎo)線的材料,。以往曾經(jīng)有提議以銀作為平面顯示裝置的導(dǎo)線材料,,但是因?yàn)闊o(wú)適當(dāng)穩(wěn)定的蝕刻液組成物,所以并未有***的運(yùn)用,。近幾年為提高平面顯示裝置的效能,,研究者仍專注于如何降低導(dǎo)線材料的電阻值。銀合金目前被視為適當(dāng)?shù)膶?dǎo)線材料,因其阻值低于其他的金屬,。此外,,含銀量超過(guò)80%以上的銀合金,雖然阻值未若銀金屬一般低,,但是其阻值遠(yuǎn)低于鉻金屬,。然而由于銀合金未具有適當(dāng)?shù)奈g刻液,所以并沒(méi)有廣泛應(yīng)用于晶片或面板的黃光制程,。發(fā)明人爰因于此,,本于積極發(fā)明的精神,亟思一...
內(nèi)部頂部?jī)蓚?cè)的震蕩彈簧件14,,震蕩彈簧件14頂端的運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13,,運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13頂端的控制面板15,內(nèi)部中間部位的致密防腐桿16和致密防腐桿16內(nèi)部?jī)?nèi)側(cè)的攪動(dòng)孔17共同組合而成,,由于鹽酸硝酸具有較強(qiáng)的腐蝕性,常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕,,影響蝕刻液的質(zhì)量,,用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進(jìn)行攪拌,成本過(guò)高,,且混合的效果不好,,通過(guò)設(shè)置高效攪拌裝置2,該裝置通過(guò)運(yùn)轉(zhuǎn)電機(jī)組13驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12,,使旋轉(zhuǎn)搖勻轉(zhuǎn)盤12帶動(dòng)高效攪拌裝置2進(jìn)行旋轉(zhuǎn)搖勻,,同時(shí)設(shè)置的震蕩彈簧件14可通過(guò)驅(qū)動(dòng)對(duì)高效攪拌裝置2進(jìn)行震蕩搖勻,高效攪拌裝置2內(nèi)部的蝕刻液通過(guò)內(nèi)置的致密防腐桿16,,致密防腐桿16內(nèi)部的攪動(dòng)孔17能夠使蝕刻...
避免連接構(gòu)件11的兩側(cè)與操作人員的手接觸的時(shí)候,,會(huì)因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況,有效的保證了裝置內(nèi)部構(gòu)件的連接工作能正常的進(jìn)行,。推薦的,,支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6,在制備蝕刻液的時(shí)候,,需要將裝置固定的特定的位置,,通過(guò)支撐腿2將裝置主體1進(jìn)行支撐固定,在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時(shí),,防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力,,使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上,有效的提高了裝置固定的防滑性,。推薦的,,過(guò)濾部件9的內(nèi)部?jī)蓚?cè)嵌入連接有過(guò)濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,,蝕刻液雜質(zhì)含量多,,過(guò)濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜...
圖7:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)運(yùn)作局部放大圖。圖8:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,。圖9:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖,。圖10:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖。圖11:本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其三較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,。圖12:本實(shí)用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實(shí)施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖,。圖13:本實(shí)用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號(hào)說(shuō)明:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)a擋液板結(jié)構(gòu)b風(fēng)刀c氣體本實(shí)用新型1蝕刻設(shè)備10擋液板結(jié)構(gòu)11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211**...
本發(fā)明涉及回收處理技術(shù)領(lǐng)域,,具體為一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,。背景技術(shù):廢銅蝕刻液含有可回收的金屬,所以需要進(jìn)行回收處理,,目前通用的做法是,,使用化學(xué)方法回收廢液內(nèi)的銅,或提煉成硫酸銅產(chǎn)品,,工藝落后,,銅回收不徹底,處理的經(jīng)濟(jì)效益不明顯,,有二次污染污染物排放,,一旦處理不當(dāng)往外排放,勢(shì)必對(duì)水體生態(tài)系統(tǒng)造成大的沖擊,。市場(chǎng)上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡(jiǎn)單的對(duì)蝕刻液進(jìn)行回收處理,,不能對(duì)蝕刻液進(jìn)行循環(huán)電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,,而且蝕刻液導(dǎo)入到電解池中會(huì)對(duì)電解池造成沖擊,,進(jìn)而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會(huì)產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境,,也不能在回收結(jié)束后對(duì)裝置內(nèi)部進(jìn)行清理,,...