初TI退休工程師杰克·基比(JackSt.ClairKilby)發(fā)明顆單石集成電路，為現(xiàn)代半導(dǎo)體領(lǐng)域奠定基礎(chǔ)時(shí),，晶圓直徑不過(guò)1.25英寸～2英寸之間,，生產(chǎn)過(guò)程多以人工方式進(jìn)行。隨著6英寸,、8英寸晶圓的誕生,，Align/Load的校準(zhǔn)工作和一些進(jìn)階檢測(cè)也開(kāi)始自動(dòng)化；直到12英寸晶圓成形,，可謂正式邁入“單鍵探測(cè)”(OneButtonProbing)的全部自動(dòng)化時(shí)代,，就連傳輸也開(kāi)始借助機(jī)器輔助；但此時(shí)的測(cè)試大都是轉(zhuǎn)包給專(zhuān)業(yè)的廠商做,，且大部分是著重在如何縮短工藝開(kāi)發(fā)循環(huán)的參數(shù)測(cè)試上,。縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,。貴州高溫探針臺(tái)生產(chǎn)廠家

探針臺(tái)市場(chǎng)占有率及行業(yè)分析：針對(duì)于電學(xué)量測(cè)分析設(shè)備,，探針臺(tái)則是眾多量測(cè)設(shè)備之一，探針臺(tái)也是不可或缺的一部分,，就目前國(guó)內(nèi)探針臺(tái)設(shè)備的占有率來(lái)講,，好的型產(chǎn)品主要集中在歐美以及日本品牌，中端設(shè)備主要集中在品牌,，而對(duì)于量測(cè)精度而言,，產(chǎn)設(shè)備具有一定的優(yōu)勢(shì)，我公司探針臺(tái)系列產(chǎn)品量測(cè)組件均采用歐美品牌設(shè)備,，所以在量測(cè)精度上來(lái)講,，可以與歐美及日本品牌相媲美，價(jià)格適中,，應(yīng)用普遍,，并與國(guó)內(nèi)多家高校及研究所合作。這是由于射頻傳輸線和電壓探針之間缺乏阻抗匹配,，插入常用電壓探針會(huì)使得結(jié)果出現(xiàn)很大偏差,。貴州高溫探針臺(tái)生產(chǎn)廠家潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象。

下面我們來(lái)簡(jiǎn)單講講選擇探針臺(tái)設(shè)備時(shí)需要注意事項(xiàng)：一,、機(jī)械加工精度,；二、電學(xué)量測(cè)精度三,、環(huán)境要求,，如：真空環(huán)境,、高溫、低溫環(huán)境,、磁場(chǎng)環(huán)境及其它,。四、光學(xué)成像,；五,、自動(dòng)化控制精度?？傮w而言,，具有清晰并高景深的微觀成像，再通過(guò)準(zhǔn)確的探針裝置對(duì)探針進(jìn)行多方向移動(dòng),，對(duì)準(zhǔn)量測(cè)點(diǎn),，進(jìn)行信號(hào)加載，通過(guò)高精度線纜將所需測(cè)試數(shù)據(jù)傳輸至量測(cè)儀表,，以達(dá)到所需得到的分析數(shù)據(jù),，所以，如果想得到高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù),，從成像到點(diǎn)針,，再到數(shù)據(jù)傳輸每項(xiàng)步驟都會(huì)起到重要的作用，另外振動(dòng)對(duì)精度也有一定的影響,。

探針臺(tái)由哪些部分組成？樣品臺(tái)（載物臺(tái)）：是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備,。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小,，并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能。光學(xué)元件：這個(gè)部件的作用使得用戶能夠從視覺(jué)上放大觀察待測(cè)物,，以便精確地將探針尖銳端對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/芯片的測(cè)量點(diǎn)上,。有的采用立體變焦顯微鏡，有的采用數(shù)碼相機(jī),，或者兩者兼有,。卡盤(pán)：有一個(gè)非常平坦的金屬表面,，卡盤(pán)用夾具來(lái)固定待測(cè)物,，或使用真空來(lái)吸附晶圓。探針（探針卡）：待測(cè)芯片需要測(cè)試探針的連接,，才能與測(cè)試儀器建立連接,。常見(jiàn)的有普通DC測(cè)試探針、同軸DC測(cè)試探針,、有源探針和微波探針等,。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上,。探針臺(tái)需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子，以免造成定子及動(dòng)子的損傷,。

精細(xì)探測(cè)技術(shù)帶來(lái)新優(yōu)勢(shì)：先進(jìn)應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的,。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷，在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對(duì)易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng),。以先進(jìn)工藝驅(qū)動(dòng)在有效區(qū)域上墊片的測(cè)試,，以低沖擊的探針卡，避免接觸所產(chǎn)生阻抗問(wèn)題,。另一個(gè)可能損害到晶圓的來(lái)源是探針力道過(guò)猛或不平均,，因此能動(dòng)態(tài)控制探針強(qiáng)度也是很重要的；若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細(xì)的移動(dòng)控制,，即可提升晶圓翻面時(shí)的探測(cè)精確度,，使精細(xì)的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào)，以提高精確度,，并縮短索引的時(shí)間,。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15～25℃，相對(duì)濕度小于50％的環(huán)境中,。江西溫控探針臺(tái)生產(chǎn)廠家

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探針臺(tái)的分類(lèi)：探針臺(tái)可以按照使用類(lèi)型與功能來(lái)劃分，也可以按照操作方式來(lái)劃分成：手動(dòng)探針臺(tái),、半自動(dòng)探針臺(tái),、全自動(dòng)探針臺(tái)。手動(dòng)探針臺(tái)：手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的,，這意味著晶圓載物臺(tái)和卡盤(pán),、壓盤(pán)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的,。因此一般是在沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái),。該類(lèi)探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要很少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境,，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備,、PC或軟件。貴州高溫探針臺(tái)生產(chǎn)廠家