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探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件,、光電器件,、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量,,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。探針臺用于晶圓加工之后,、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序,,可分為前道工序與后道工序,,探針臺是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備,。經(jīng)過檢測,,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,,極大降低器件的制造成本,。半導(dǎo)體設(shè)備價值普遍較高,,一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中,設(shè)備價值約占總投資規(guī)模的75%以上,。云南自動探針臺生產(chǎn)
探針臺市場占有率及行業(yè)分析:針對于電學(xué)量測分析設(shè)備,,探針臺則是眾多量測設(shè)備之一,探針臺也是不可或缺的一部分,,就目前國內(nèi)探針臺設(shè)備的占有率來講,,好的型產(chǎn)品主要集中在歐美以及日本品牌,中端設(shè)備主要集中在品牌,,而對于量測精度而言,,產(chǎn)設(shè)備具有一定的優(yōu)勢,我公司探針臺系列產(chǎn)品量測組件均采用歐美品牌設(shè)備,,所以在量測精度上來講,,可以與歐美及日本品牌相媲美,價格適中,,應(yīng)用普遍,,并與國內(nèi)多家高校及研究所合作。這是由于射頻傳輸線和電壓探針之間缺乏阻抗匹配,,插入常用電壓探針會使得結(jié)果出現(xiàn)很大偏差,。青海芯片探針臺報(bào)價上海勤確科技有限公司擁有一批年輕、專業(yè)的員工,。
以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流,、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),,測試人員一般會采用表筆去點(diǎn)測,。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了,。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對此測試、分析,。探針臺執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,,移動精度可以達(dá)到0.7微米,。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測點(diǎn)上(說明探針是耗材,一般客戶自己準(zhǔn)備),,探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機(jī)上,,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復(fù)測試同種器件,多個點(diǎn)位的推薦使用探針臺安裝探卡進(jìn)行測試,。
晶圓是制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片,,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,,然后慢慢拉出,,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨,,拋光,,切片后,形成硅晶圓片,,也就是晶圓,。半導(dǎo)體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準(zhǔn)確,,能夠捕捉有效缺陷,,實(shí)現(xiàn)實(shí)時檢測。較為普遍的表面檢測技術(shù)主要可以分為兩大類:針接觸法和非接觸法,,接觸法以針觸法為象征,;非接觸法又可以分為原子力法和光學(xué)法。在具體使用時,,又可以分為成像的和非成像的,。上海勤確科技有限公司專業(yè)的一站式多方位貼心服務(wù)。
全自動探針臺相比手動探針臺和自動探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)和模式識別(自動對準(zhǔn)),。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試??梢?4小時連續(xù)工作,,通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等,。全自動探針臺價格也是遠(yuǎn)比手動/半自動探針臺要昂貴,。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能,使用者可以通過軟件或機(jī)械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺,,程序可以設(shè)置映射以匹配器件,,可以選擇要檢測的器件。隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)市場規(guī)模不斷擴(kuò)大,,半導(dǎo)體設(shè)備市場也呈增長趨勢,。云南自動探針臺生產(chǎn)
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探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,,才能與測試儀器建立連接,。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針,、有源探針和微波探針等,。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型,。探針尖直接接觸被測件,,探針臂應(yīng)與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件:探針夾具用于夾持探針,、并將探針連接至測量儀器,。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件,。操縱器(定位器):探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上,,它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢?。一旦固定,,操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,,并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動,。云南自動探針臺生產(chǎn)