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成都制版光刻膠感光膠

來源： 發(fā)布時間：2025-06-15

納米制造與表面工程

? 納米結構模板：作為納米壓印光刻（NIL）的母版制備材料,，通過電子束光刻膠寫出高精度納米圖案（如50nm以下的柱陣列,、孔陣列），用于批量復制微流控芯片或柔性顯示基板,。

? 表面功能化：在基底表面構建納米級粗糙度（如仿生荷葉超疏水表面）或化學圖案（引導細胞定向生長的納米溝槽）,，用于生物醫(yī)學或能源材料（如電池電極的納米陣列結構）。

量子技術與精密測量

? 超導量子比特：在鈮酸鋰或硅基底上，通過光刻膠定義納米級約瑟夫森結陣列,，構建量子電路,。

? 納米傳感器：制備納米級懸臂梁（表面鍍光刻膠圖案化的金屬電極），用于探測單個分子的質量或電荷變化（分辨率達亞納米級）,。
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 晶圓制造（前道工藝）
? 功能：在硅片表面形成高精度電路圖形，是光刻工藝的主要材料,。

? 細分場景：

? 邏輯/存儲芯片：用于28nm及以上成熟制程的KrF光刻膠（分辨率0.25-1μm）,、14nm以下先進制程的ArF浸沒式光刻膠（分辨率≤45nm），以及極紫外（EUV）光刻膠（目標7nm以下,，研發(fā)中）,。

? 功率半導體（如IGBT）：使用厚膜光刻膠（膜厚5-50μm），滿足深溝槽刻蝕需求,。

? MEMS傳感器：通過高深寬比光刻膠（如SU-8）實現(xiàn)微米級結構（如加速度計,、陀螺儀的懸臂梁）。

 芯片封裝（后道工藝）

? 先進封裝技術：

? Flip Chip（倒裝芯片）：用光刻膠形成凸點（Bump）下的 Redistribution Layer（RDL）,，線寬精度要求≤10μm,。

? 2.5D/3D封裝：在硅通孔（TSV）工藝中，光刻膠用于定義通孔開口（直徑5-50μm）,。

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依托自主研發(fā)與國產供應鏈,，吉田半導體 LCD 光刻膠市占率達 15%,，躋身國內前段企業(yè)。吉田半導體 YK-200 LCD 正性光刻膠采用國產樹脂與單體,，實現(xiàn) 100% 國產化替代,。其分辨率 0.35μm，附著力 > 3N/cm,，性能優(yōu)于 JSR 的 AR-P310 系列,。通過與國內多家大型企業(yè)的深度合作，產品覆蓋智能手機,、電視等顯示終端,，年供貨量超 200 噸。公司建立國產原材料溯源體系,，確保每批次產品穩(wěn)定性,，推動 LCD 面板材料國產化進程。

納米電子器件制造

? 半導體芯片：在22nm以下制程中,，EUV光刻膠（分辨率≤10nm）用于制備晶體管柵極,、納米導線等關鍵結構,，實現(xiàn)芯片集成度提升（如3nm制程的FinFET/GAA晶體管）。

? 二維材料器件：在石墨烯,、二硫化鉬等二維材料表面,，通過電子束光刻膠定義納米電極陣列，構建單原子層晶體管或傳感器,。

 納米光子學與超材料

? 光子晶體與波導：利用光刻膠制備亞波長周期結構（如光子晶體光纖,、納米級波導彎頭），調控光的傳播路徑,，用于集成光路或量子光學器件,。

? 超材料設計：在金屬/介質基底上刻蝕納米級“魚網(wǎng)狀”“蝴蝶結”等圖案（如太赫茲超材料），實現(xiàn)對電磁波的超常調控（吸收,、偏振轉換）。
吉田公司以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝打造環(huán)保光刻膠,。

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 全品類覆蓋與定制化能力
吉田半導體的光刻膠產品覆蓋芯片光刻膠,、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠等全品類,，適用于半導體,、顯示面板、MEMS等多個領域,。例如,，其LCD正性光刻膠YK-200和水油光刻膠JT-2001可滿足0.45μm及以上線寬需求，支持客戶定制化工藝參數(shù),，尤其在柔性顯示（OLED）和Mini/Micro LED等新興領域表現(xiàn)突出,。
技術亮點：通過自主研發(fā)的樹脂配方和光敏劑體系，實現(xiàn)了高分辨率（120nm）和高抗蝕性的平衡,，部分指標（如線寬粗糙度LWR<3nm）接近國際主流產品水平,。

 國產化材料與工藝適配
公司采用進口原材料+本地化生產模式，關鍵樹脂單體,、光敏劑等主要成分通過德國默克,、日本信越等供應商采購，同時建立了超純提純工藝（雜質含量<1ppm）,，確保產品穩(wěn)定性,。此外，其光刻膠與國內主流光刻機（如上海微電子SSA800）,、勻膠顯影機（如盛美上海）的兼容性已通過驗證,，縮短客戶工藝調試周期。
吉田半導體實現(xiàn)光刻膠技術突破,，為半導體產業(yè)鏈自主化提供材料支撐,。廈門3微米光刻膠感光膠

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吉田半導體柯圖泰全系列感光膠：進口品牌品質,，本地化服務支持

柯圖泰全系列感光膠依托進口技術，提供高性價比的絲網(wǎng)印刷解決方案,。
吉田半導體代理的柯圖泰全系列感光膠（如 PLUS 6000,、Autosol 2000），源自美國先進配方,，分辨率達 120 線 / 英寸,，適用于玻璃、陶瓷等多種基材,。產品通過 SGS 認證,，符合電子行業(yè)有害物質限制要求，其高感光度與耐摩擦性,，確保絲網(wǎng)印刷的清晰度與耐久性,。公司提供技術參數(shù)匹配、制版工藝指導等本地化服務,，幫助客戶優(yōu)化生產流程,，降低材料損耗。
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