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伴隨全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)東移,,加上我國(guó)持續(xù)增長(zhǎng)的下游需求和政策支持力度。同時(shí),,國(guó)內(nèi)晶圓廠進(jìn)入投產(chǎn)高峰期,由于半導(dǎo)體光刻膠與下游晶圓廠具有伴生性特點(diǎn),,國(guó)內(nèi)光刻膠廠商將直接受益于晶圓廠制造產(chǎn)能的大幅擴(kuò)張,。當(dāng)前我國(guó)光刻膠與全球先進(jìn)水平有近40年的差距,半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化的大趨勢(shì)下,,國(guó)內(nèi)企業(yè)有望逐步突破與國(guó)內(nèi)集成電路制造工藝相匹配的光刻膠,,所以必須要對(duì)光刻膠足夠的重視,不斷向日本和歐美等發(fā)達(dá)國(guó)家學(xué)習(xí),,努力開(kāi)發(fā)出性能優(yōu)異的國(guó)產(chǎn)光刻膠,,使我國(guó)在未來(lái)的市場(chǎng)中占據(jù)一席之地。彩色光刻膠及黑色光刻膠市場(chǎng)也呈現(xiàn)日韓企業(yè)主導(dǎo)的格局,,國(guó)內(nèi)企業(yè)有雅克科技,、飛凱材料、彤程新材等,。浦東濕膜光刻膠樹(shù)脂
1)增感劑(光引發(fā)劑):是光刻膠的關(guān)鍵成分,,對(duì)光刻膠的感光度、分辨率起著決定性作用,。2)感光樹(shù)脂(聚合劑):用于將光刻膠中不同材料聚合在一起,,構(gòu)成光刻膠的骨架,,決定光刻膠的硬度、柔韌性,、附著力等基本屬性,。3)溶劑:是光刻膠中比較大成分,目的是使光刻膠處于液態(tài),,但溶劑本身對(duì)光刻膠的化學(xué)性質(zhì)幾乎無(wú)影響,。4)助劑:通常是專有化合物,主要用來(lái)改變光刻膠特定化學(xué)性質(zhì),。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域,,光刻膠可分為半導(dǎo)體光刻膠、LCD光刻膠和PCB光刻膠,,其技術(shù)壁壘依次降低(半導(dǎo)體光刻膠> LCD光刻膠> PCB光刻膠),。從國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程來(lái)看,PCB光刻膠目前國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)度較快,,LCD光刻膠替代進(jìn)度相對(duì)較快,,而在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)技術(shù)較國(guó)外先進(jìn)技術(shù)差距比較大。蘇州半導(dǎo)體光刻膠溶劑光刻膠按應(yīng)用領(lǐng)域分類,,可分為 PCB 光刻膠,、顯示面板光刻膠、半導(dǎo)體光刻膠及其他光刻膠,。
中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模增速超過(guò)全球,。隨著半導(dǎo)體制程節(jié)點(diǎn)不斷縮小,光刻工藝對(duì)光刻膠要求越來(lái)越高,,需求量也越來(lái)越大,。據(jù)智研咨詢數(shù)據(jù),2018年全球半導(dǎo)體用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模約13億美元,,年復(fù)合增速為5.4%,,預(yù)計(jì)未來(lái)5年年均增速約8%-10%;中國(guó)半導(dǎo)體用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模約23億元人民幣,,年復(fù)合增速為9.8%,,預(yù)計(jì)未來(lái)5年年均增速約10%。以前,,光刻膠主要依賴進(jìn)口,,隨著科技的逐漸發(fā)展,國(guó)產(chǎn)化光刻膠趨勢(shì)越來(lái)越明顯,,相信國(guó)內(nèi)光刻膠技術(shù)會(huì)越來(lái)越成熟,,光刻膠國(guó)產(chǎn)化是必然趨勢(shì)。
光刻膠又稱光致抗蝕劑,,是一種對(duì)光敏感的混合液體,。其組成部分包括:光引發(fā)劑(包括光增感劑,、光致產(chǎn)酸劑)、光刻膠樹(shù)脂,、單體,、溶劑和其他助劑。光刻膠可以通過(guò)光化學(xué)反應(yīng),,經(jīng)曝光,、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓?xì)圖形從光罩(掩模版)轉(zhuǎn)移到待加工基片上。依據(jù)使用場(chǎng)景,,這里的待加工基片可以是集成電路材料,,顯示面板材料或者印刷電路板。據(jù)第三方機(jī)構(gòu)智研咨詢統(tǒng)計(jì),,2019年全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)近90億美元,,自 2010年至今CAGR約5.4%。預(yù)計(jì)該市場(chǎng)未來(lái)3年仍將以年均5%的速度增長(zhǎng),,至2022年全球光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)100億美元,。光刻膠發(fā)展至今已有百年歷史,現(xiàn)已用于集成電路,、顯示,、PCB 等領(lǐng)域,是光刻工藝的重要材料,。
在半導(dǎo)體集成電路光刻技術(shù)開(kāi)始使用深紫外(DUV)光源以后,,化學(xué)放大(CAR)技術(shù)逐漸成為行業(yè)應(yīng)用的主流。在化學(xué)放大光刻膠技術(shù)中,,樹(shù)脂是具有化學(xué)基團(tuán)保護(hù)因而難以溶解的聚乙烯,。化學(xué)放大光刻膠使用光致酸劑(PAG)作為光引發(fā)劑,。當(dāng)光刻膠曝光后,,曝光區(qū)域的光致酸劑(PAG)將會(huì)產(chǎn)生一種酸,。這種酸在后熱烘培工序期間作為催化劑,,將會(huì)移除樹(shù)脂的保護(hù)基團(tuán)從而使得樹(shù)脂變得易于溶解?;瘜W(xué)放大光刻膠曝光速遞是DQN光刻膠的10倍,,對(duì)深紫外光源具有良好的光學(xué)敏感性,同時(shí)具有高對(duì)比度,,對(duì)高分辨率等優(yōu)點(diǎn),。按照曝光波長(zhǎng)分類;光刻膠可分為紫外光刻膠(300~450nm),、深紫外光刻膠(160~280nm),、極紫外光刻膠(EUV,,13.5nm)、電子束光刻膠,、離子束光刻膠,、X射線光刻膠等。不同曝光波長(zhǎng)的光刻膠,,其適用的光刻極限分辨率不同,。通常來(lái)說(shuō),在使用工藝方法一致的情況下,,波長(zhǎng)越短,,加工分辨率越佳。按照化學(xué)結(jié)構(gòu)分類:光刻膠可以分為光聚合型,,光分解型,,光交聯(lián)型和化學(xué)放大型。江蘇光刻膠溶劑
半導(dǎo)體光刻膠的涂敷方法主要是旋轉(zhuǎn)涂膠法,,具體可以分為靜態(tài)旋轉(zhuǎn)法和動(dòng)態(tài)噴灑法,。浦東濕膜光刻膠樹(shù)脂
受制于國(guó)內(nèi)光刻膠技術(shù)發(fā)展水平,目前我國(guó)前沿光刻膠的自給率仍然保持較低水平,。盡管國(guó)內(nèi)光刻膠市場(chǎng)保持良好的增長(zhǎng)趨勢(shì),,但以KrF、ArF光刻膠為主的半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額仍然較小,,前沿光刻膠市場(chǎng)長(zhǎng)期為國(guó)外巨頭所壟斷,。從技術(shù)水平來(lái)看,目前中國(guó)本土光刻膠的整體技術(shù)水平與國(guó)際先進(jìn)水平存在明顯差距,,且主要集中在技術(shù)含量較低的PCB光刻膠領(lǐng)域,,而在半導(dǎo)體光刻膠和LCD光刻膠方面自給率較低。具體而言,,半導(dǎo)體光刻膠中g(shù)線/i線光刻膠國(guó)產(chǎn)化率為10%,,而ArF/KrF光刻膠的國(guó)產(chǎn)化率為1%,對(duì)于前沿的EUV光刻膠目前仍處于研發(fā)階段,。浦東濕膜光刻膠樹(shù)脂
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