微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥,，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400、（內(nèi)徑）200×1800,、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：材料：不銹鋼304,、A5083~A7075、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：6 ~ 8 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。真空閘閥屬于真空隔離閥類別。但是,，它也有可用于控制氣流,。多定位閘閥TRANSFER VALVE

半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門,，主要作用是控制氣體的流動,，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu),，能夠有效地防止氣體泄漏,，保證真空系統(tǒng)的密封性。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性,，能夠在半導(dǎo)體制造過程中的化學(xué)物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作,。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量，滿足半導(dǎo)體制造工藝對精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開啟和關(guān)閉,，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過程中的快速氣體控制需求,。5. 可靠性高：設(shè)計和制造過程嚴格,，保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。濺射閘閥蝶閥閘閥啟閉時較省力。是與截止閥相比而言,，因為無論是開或閉,，閘板運動方向均與介質(zhì)流動方向相垂直。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒（Particle),，無需從設(shè)備上拆卸閥門,，即可更換閘門和O形圈。大量采用缸套運動導(dǎo)軌Liner (motion guide),，實現(xiàn)高精度,、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。這節(jié)介紹加熱閘閥,、加熱式閘閥護套,、加熱器插入式閥門。帶加熱器閘閥,，加熱器插入閘閥：產(chǎn)品范圍：2~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；客戶指定法蘭，加熱溫度：450℃,；蝶形閥,；蝶閥：產(chǎn)品范圍：DN40、DN50隔離?泄漏率：1.0E-9mbar·l/秒,；有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰揪_控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥,、多定位閘閥,。

微泰，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。其特點是*使用加熱套或內(nèi)部加熱器加熱*加熱控制器*應(yīng)用:去除粉末/氣體設(shè)備,。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：ISO,、JIS、ASA,、CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。真空閘閥的密封裝置確保關(guān)閉時的高真空完整性,，防止泄漏并維持腔室內(nèi)的真空壓力。定制閘閥

真空閘閥廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和工藝過程中,，如半導(dǎo)體生產(chǎn),、電子設(shè)備制造、科研實驗,、航空航天等領(lǐng)域,。多定位閘閥TRANSFER VALVE

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，蝶閥,，Butterfly Valve產(chǎn)品范圍：DN40 ~ 50 -壓力控制-使用步進電機- Product Range : DN40 ~ 50- Pressure Controlled- Using Stepper Motor,，- Compatible with VAT Butterfly Control Valve, series61.2 - Application Process : PVD, CVD, Etching, Diffusion-使用步進電機和控制器執(zhí)行驅(qū)動。-通過步進電機/控制器精確定位,，確保精確的壓力控制,。-兼容VAT蝶閥控制器，系列61.2,，-應(yīng)用工藝： PVD,，CVD，蝕刻,，擴散,。微泰蝶閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。多定位閘閥TRANSFER VALVE