微泰半導體閘閥的工作原理主要是通過閘板的升降來控制流體的通斷,。當閘板升起時,，閘閥打開,，允許流體通過,；當閘板降下時,，閘閥關閉,，阻止流體通過,。在具體工作中,，它利用各種機構(gòu)和設計來實現(xiàn)精確的控制和可靠的密封,，以滿足半導體設備中對工藝控制的要求,。微泰半導體閘閥被廣泛應用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）,、CVD（化學氣相沉積）等設備上，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，三重防護閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）等設備,。超大型真空閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰,，蝶閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上?？商娲鶹AT閘閥,。微泰蝶閥其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設計? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護? 應用：半導體和工業(yè)過程的壓力控制。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40,、DN50,、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通、閥門密封：FKM（VITON）,、執(zhí)行器：步進電機,、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1200 mbar 、開啟壓差：≤ 30 mbar,、開啟壓差≤30mbar,、氦泄漏率1X10 -9Mbar/秒、維護前可用次數(shù)：250,000次,、閥體溫度≤ 150 °,、控制器≤ 35 °C、材料：閥體STS304/機制STS304,、安裝位置：任意,、接口：RS232、RS485,、Devicenet,、Profibus、EtherCat,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。VAT閘閥Global Foundries精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥、多定位閘閥,。

微泰半導體閘閥的特點：插板閥主滑閥的球機構(gòu)方式-在量產(chǎn)工藝設備上的性能驗證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成，陶瓷和金屬觸摸驅(qū)動無顆粒-已向中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備，設備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認可,，已完成對半導體Utility設備和批量生產(chǎn)設備的驗證，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅(qū)動產(chǎn)生大量顆粒,。使用鋼陶瓷球,，與金屬摩擦時不會損壞，金屬與陶瓷球之間不會產(chǎn)生Particle,，半永久板簧（SUS鋼板）的應用確保閥門驅(qū)動同步性,，采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾伞Ｎ⑻┌雽w閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上,。可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。

微泰主要產(chǎn)品有1,、-手動鎖定閥：操作鎖定按鈕關閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭：2、特殊閥門：全金屬配件構(gòu)成,，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成,；3、三位閥：半開功能的壓力控制閥,。氣動閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次?響應時間：0.2秒~3秒,；手動（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次；專門用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次,，響應時間：0.2秒客戶指定的法蘭,，可安裝角閥；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應時間：0.2秒~3秒,；有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。閘閥啟閉時較省力。是與截止閥相比而言,，因為無論是開或閉,，閘板運動方向均與介質(zhì)流動方向相垂直。

微泰,，三(多)位閘閥,、三位閘閥、多位閘閥應用于? 蒸發(fā)?濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? 涂層? 蝕刻? 擴散?CVD（化學氣相沉積）等設備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點是*3個位置功能-閥門打開,閥門關閉,第3位置*設備可通過連接到閥門的9 Pin D-Sub來讀取閥門狀態(tài)*手動和氣動閥門組合*應用:需要壓力控制的任何其他過程*應用:需要壓力控制的地方,。三位閘閥,、多位閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：2.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型ISO, JIS, ASA, CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：Viton O型圈,、響應時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機構(gòu)溫度≤ 60 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績金屬材料高壓閘閥主要有：碳鋼閥門,、合金鋼閥門,、不銹鋼閥門、鑄鐵閥門,、鈦合金閥門,、銅合金閥門等。PVD閘閥L型轉(zhuǎn)移閥

介質(zhì)可向兩側(cè)任意方向流動,，易于安裝,。閘閥通道兩側(cè)是對稱的。超大型真空閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，這里介紹一下閥門控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸,。1，開放/關閉速度LCD顯示,；2,，當閥門或泵錯誤時，燈點亮：3,，自動關閉功能-防止泵跳閘中的逆流,；4，有閥門開關位置的信號輸出信號,；5,，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進行快速操作；6,，無噪音,，功耗低；7,，歷史管理-打開/關閉/泵關閉等,；8，UPS功能（1秒）,，微泰半導體主加工設備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。超大型真空閘閥BUTTERFLY VALVE