厚板光刻膠
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電路板制造:在制作對線路精度和抗蝕刻性能要求高的電路板時,厚板光刻膠可確保線路的精細(xì)度和穩(wěn)定性,,比如汽車電子,、工業(yè)控制等領(lǐng)域的電路板,能承受復(fù)雜環(huán)境和大電流,、高電壓等工況,。
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功率器件制造:像絕緣柵雙極晶體管(IGBT)這類功率器件,需要承受高電壓和大電流,,厚板光刻膠可用于其芯片制造過程中的光刻環(huán)節(jié),,保障芯片內(nèi)部電路的精細(xì)布局,提高器件的性能和可靠性,。
負(fù)性光刻膠
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半導(dǎo)體制造:在芯片制造過程中,,用于制作一些對精度要求高,、圖形面積較大的結(jié)構(gòu),,如芯片的金屬互連層、接觸孔等,。通過負(fù)性光刻膠的曝光和顯影工藝,,能實(shí)現(xiàn)精確的圖形轉(zhuǎn)移,確保芯片各部分之間的電氣連接正常,。
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平板顯示制造:在液晶顯示器(LCD)和有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)的制造中,,用于制作電極,、像素等大面積圖案。以 LCD 為例,,負(fù)性光刻膠可幫助形成液晶層與玻璃基板之間的電極圖案,,控制液晶分子的排列,從而實(shí)現(xiàn)圖像顯示,。
嚴(yán)苛光刻膠標(biāo)準(zhǔn)品質(zhì),,吉田半導(dǎo)體綠色制造創(chuàng)新趨勢。江西油性光刻膠報價
? 正性光刻膠
? YK-300:適用于半導(dǎo)體制造,,具備高分辨率(線寬≤10μm),、耐高溫(250℃)、耐酸堿腐蝕特性,,主要用于28nm及以上制程的晶圓制造,,適配UV光源(365nm/405nm)。
? 技術(shù)優(yōu)勢:采用進(jìn)口樹脂及光引發(fā)劑,,絕緣阻抗高(>10^14Ω),,滿足半導(dǎo)體器件對絕緣性的嚴(yán)苛要求。
? 負(fù)性光刻膠
? JT-1000:負(fù)性膠,,主打優(yōu)異抗深蝕刻性能,,分辨率達(dá)3μm,適用于功率半導(dǎo)體,、MEMS器件制造,,可承受氫氟酸(HF)、磷酸(H3PO4)等強(qiáng)腐蝕液處理,。
? SU-3:經(jīng)濟(jì)型負(fù)性膠,,性價比高,適用于分立器件及低端邏輯芯片,,光源適應(yīng)性廣(248nm-436nm),,曝光靈敏度≤200mJ/cm2。
2. 顯示面板光刻膠
? LCD正性光刻膠YK-200:專為TFT-LCD制程設(shè)計,,具備高涂布均勻性(膜厚誤差±1%),、良好的基板附著力,用于彩色濾光片(CF)和陣列基板(Array)制造,,支持8.5代線以上大規(guī)模生產(chǎn),。
? 水性感光膠JT-1200:環(huán)保型產(chǎn)品,VOC含量<50g/L,,符合歐盟RoHS標(biāo)準(zhǔn),,適用于柔性顯示基板,可制作20μm以下精細(xì)網(wǎng)點(diǎn),主要供應(yīng)京東方,、TCL等面板廠商,。
天津激光光刻膠供應(yīng)商吉田半導(dǎo)體全流程解決方案,賦能客戶提升生產(chǎn)效率,。
應(yīng)用場景
半導(dǎo)體集成電路(IC)制造:
? 邏輯芯片(CPU/GPU):在28nm以下制程中,,正性DUV/EUV膠用于晶體管、互連布線的精細(xì)圖案化(如10nm節(jié)點(diǎn)線寬只有100nm),。
? 存儲芯片(DRAM/NAND):3D堆疊結(jié)構(gòu)中,,正性膠用于層間接觸孔(Contact)和柵極(Gate)的高深寬比圖形(深寬比>10:1)。
平板顯示(LCD/OLED):
? 彩色濾光片(CF):制作黑矩陣(BM)和彩色層(R/G/B),,要求高透光率和邊緣銳利度(線寬5-10μm),。
? OLED電極:在柔性基板上形成微米級透明電極,需低應(yīng)力膠膜防止基板彎曲變形,。
印刷電路板(PCB):
? 高密度互連(HDI):用于細(xì)線路(線寬/線距≤50μm),,如智能手機(jī)主板,相比負(fù)性膠,,正性膠可實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的線路邊緣,。
微納加工與科研:
? MEMS傳感器:制作微米級懸臂梁、齒輪等結(jié)構(gòu),,需耐干法蝕刻的正性膠(如含硅樹脂膠),。
? 納米光刻:電子束光刻膠(正性為主)用于研發(fā)級納米圖案(分辨率<10nm)。
國際廠商策略調(diào)整
應(yīng)用材料公司獲曝光后處理,,可將光刻膠工藝效率提升40%,。杜邦因反壟斷調(diào)查在中國市場面臨壓力,但其新一代乾膜式感光型介電質(zhì)材料(CYCLOTENE DF6000 PID)仍在推進(jìn),,試圖通過差異化技術(shù)維持優(yōu)勢,。日本企業(yè)則通過技術(shù)授權(quán)(如東京應(yīng)化填補(bǔ)信越產(chǎn)能缺口)維持市場地位。
國內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同升級
TSMC通過租賃曝光設(shè)備幫助供應(yīng)商降低成本,,推動光刻膠供應(yīng)鏈本地化,,其中國臺灣EUV光刻膠工廠年產(chǎn)能達(dá)1000瓶,產(chǎn)值超10億新臺幣,。國內(nèi)企業(yè)借鑒此模式,,如恒坤新材通過科創(chuàng)板IPO募資15億元,,建設(shè)集成電路前驅(qū)體項(xiàng)目,,形成“光刻膠-前驅(qū)體-設(shè)備”協(xié)同生態(tài)。
技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)與壁壘
美國實(shí)體清單限制日本廠商對華供應(yīng)光刻膠,,中國企業(yè)需突破,。例如,日本在EUV光刻膠領(lǐng)域持有全球65%的,,而中國只占12%,。國內(nèi)企業(yè)正通過產(chǎn)學(xué)研合作(如華中科技大學(xué)與長江存儲聯(lián)合攻關(guān))構(gòu)建自主知識產(chǎn)權(quán)體系。
產(chǎn)業(yè)鏈配套:原材料與設(shè)備協(xié)同發(fā)展,。
技術(shù)挑戰(zhàn)與發(fā)展趨勢
更高分辨率需求:
? EUV光刻膠需解決“線邊緣粗糙度(LER)”問題(目標(biāo)<5nm),,通過納米顆粒分散技術(shù)或新型聚合物設(shè)計改善。
缺陷控制:
? 半導(dǎo)體級正性膠要求金屬離子含量<1ppb,,顆粒(>50nm)<1個/mL,,需優(yōu)化提純工藝(如多級過濾+真空蒸餾)。
國產(chǎn)化突破:
? 國內(nèi)企業(yè)(如上海新陽,、南大光電,、容大感光)已在KrF/ArF膠實(shí)現(xiàn)批量供貨,但EUV膠仍被日本JSR,、美國陶氏,、德國默克壟斷,需突破樹脂合成,、PAG純度等瓶頸,。
環(huán)保與節(jié)能:
? 開發(fā)水基顯影正性膠(減少有機(jī)溶劑使用),或低烘烤溫度膠(降低半導(dǎo)體制造能耗),。
典型產(chǎn)品示例
? 傳統(tǒng)正性膠:Shipley S1813(G/I線,,用于PCB)、Tokyo Ohka TSM-305(LCD黑矩陣),。
? DUV正性膠:信越化學(xué)的ArF膠(用于14nm FinFET制程),、中芯國際認(rèn)證的國產(chǎn)KrF膠(28nm節(jié)點(diǎn))。
? EUV正性膠:JSR的NeXAR系列(7nm以下,,全球市占率超70%),。
正性光刻膠是推動半導(dǎo)體微縮的主要材料,其技術(shù)進(jìn)步直接關(guān)聯(lián)芯片制程的突破,,未來將持續(xù)向更高精度,、更低缺陷、更綠色工藝演進(jìn),。
發(fā)展戰(zhàn)略與行業(yè)地位,。福州阻焊油墨光刻膠感光膠
吉田公司以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝打造環(huán)保光刻膠。江西油性光刻膠報價
主要應(yīng)用場景
印刷電路板(PCB):
? 通孔/線路加工:負(fù)性膠厚度可達(dá)20-50μm,,耐堿性蝕刻液(如氯化鐵,、堿性氯化銅),適合制作大尺寸線路(線寬/線距≥50μm),,如雙面板,、多層板的外層電路。
? 阻焊層:作為絕緣保護(hù)層,覆蓋非焊盤區(qū)域,,需厚膠(50-100μm)和高耐焊接溫度(260℃以上),,負(fù)性膠因工藝簡單、成本低而廣泛應(yīng)用,。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS):
? 深硅蝕刻(DRIE):負(fù)性膠作為蝕刻掩膜,,厚度可達(dá)100μm以上,耐SF?等強(qiáng)腐蝕性氣體,,用于制作加速度計,、陀螺儀的高深寬比結(jié)構(gòu)(深寬比>20:1)。
? 模具制造:在硅或玻璃基板上制作微流控芯片的通道模具,,利用負(fù)性膠的厚膠成型能力,。
平板顯示(LCD):
? 彩色濾光片(CF)基板預(yù)處理:在玻璃基板上制作絕緣層或緩沖層,耐濕法蝕刻(如HF溶液),,確保后續(xù)RGB色阻層的精確涂布,。
功率半導(dǎo)體與分立器件:
? IGBT、MOSFET的隔離區(qū)蝕刻:負(fù)性膠用于制作較寬的隔離溝槽(寬度>10μm),,耐高濃度酸堿蝕刻,,降低工藝成本。
江西油性光刻膠報價