MEMS陣鏡激光雷達(dá),，MEMS振鏡是一種硅基半導(dǎo)體元器件,，屬于固態(tài)電子元件；它是在硅基芯片上集成了體積十分精巧的微振鏡,，其主要結(jié)構(gòu)是尺寸很小的懸臂梁——反射鏡懸浮在前后左右各一對(duì)扭桿之間以一定諧波頻率振蕩,，由旋轉(zhuǎn)的微振鏡來(lái)反射激光器的光線,，從而實(shí)現(xiàn)掃描。硅基MEMS微振鏡可控性好,，可實(shí)現(xiàn)快速掃描,，其等效線束能高達(dá)一至兩百線，因此,，要同樣的點(diǎn)云密度時(shí),，硅基MEMSLidar的激光發(fā)射器數(shù)量比機(jī)械式旋轉(zhuǎn)Lidar少很多，體積小很多,，系統(tǒng)可靠性高很多,。激光雷達(dá)通過(guò)多角度掃描,，獲取目標(biāo)的完整信息。浙江覓道Mid-70激光雷達(dá)廠商

為了克服探測(cè)距離的限制,，F(xiàn)LASH激光雷達(dá)的表示廠商Ibeo,、LedderTech開(kāi)始在激光收發(fā)模塊進(jìn)行創(chuàng)新。車規(guī)級(jí)激光雷達(dá)鼻祖Ibeo,，則一步到位推出了單光子激光雷達(dá),，Ibeo稱其為Focal Plane Array焦平面，實(shí)際也可歸為FlASH激光雷達(dá),。2019年8月27日,，長(zhǎng)城汽車與德國(guó)激光雷達(dá)廠商Ibeo正式簽署了激光雷達(dá)技術(shù)戰(zhàn)略合作協(xié)議，三方合作的產(chǎn)品基礎(chǔ)就是ibeonEXT Generic 4D Solid State LiDAR,。從長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看,，F(xiàn)LASH激光雷達(dá)芯片化程度高，規(guī)?；慨a(chǎn)后大概率能拉低成本,，隨著技術(shù)的發(fā)展，F(xiàn)LASH激光雷達(dá)有望成為主流的技術(shù)方案,。廣西AMR激光雷達(dá)礦山開(kāi)采中激光雷達(dá)監(jiān)測(cè)地形變化,，預(yù)防潛在地質(zhì)災(zāi)害。

從車規(guī)級(jí)應(yīng)用來(lái)看,，小鵬P5配備2顆大疆Livox車規(guī)級(jí)棱鏡式激光雷達(dá),，另外大疆Livox也獲得了一汽解放量產(chǎn)項(xiàng)目的定點(diǎn) 。針對(duì)單顆棱鏡式中心區(qū)域點(diǎn)云密集,。兩側(cè)點(diǎn)云相對(duì)稀疏的情況,，小鵬P5選擇在車前部署了2顆激光雷達(dá)，前方提高至 180度的超寬點(diǎn)云視野,，提高應(yīng)對(duì)近處車輛加塞,、十字路口拐彎等復(fù)雜路況的通行能力。針對(duì)車規(guī)級(jí)設(shè)備需要在連續(xù)振動(dòng),、高低溫,、高濕高鹽等環(huán)境下連續(xù)工作的特點(diǎn)，固態(tài)激光雷達(dá)成為了較為可行的發(fā)展方向,。喜歡特種行業(yè)的朋友應(yīng)該都聽(tīng)過(guò)軍機(jī)、軍艦上搭載的相控陣?yán)走_(dá),，而OPA光學(xué)相控陣激光雷達(dá)便是運(yùn)用了與之相似的原理,，并把它搬到了車端。

探測(cè)距離,，激光雷達(dá)標(biāo)稱的較遠(yuǎn)探測(cè)距離一般為150-200m,，實(shí)際上距離過(guò)遠(yuǎn)的時(shí)候,，采樣的點(diǎn)數(shù)會(huì)明顯變少，測(cè)量距離和激光雷達(dá)的分辨率有著很大的關(guān)系,。以激光雷達(dá)的垂直分辨率為0.4°較遠(yuǎn)探測(cè)距離為200m舉例,，在經(jīng)過(guò)200m后激光光束2個(gè)點(diǎn)之間的距離為，也就是說(shuō)只能檢測(cè)到高于1.4m的障礙物,。如下圖10所示,。如果要分辨具體的障礙物類型，那么需要采樣點(diǎn)的數(shù)量更多,，因此激光雷達(dá)有效的探測(cè)距離可能只有60-70m,。增加激光雷達(dá)的探測(cè)距離有2種方法，一是增加物體的反射率,，二是增加激光的功率,。物體的反射率是固定的，無(wú)法改變,，那么就只能增加激光的功率了,。但是增加激光的功率會(huì)損傷人眼，只能想辦法增加激光的波長(zhǎng),，以避開(kāi)人眼可見(jiàn)光的范圍,，這樣可以適當(dāng)增大激光的功率。探測(cè)距離是制約激光雷達(dá)的另一個(gè)障礙,，汽車在高速行駛的過(guò)程中越早發(fā)現(xiàn)障礙物,，就越能預(yù)留越多的反應(yīng)時(shí)間，從而避免交通事故,。Mid - 360 作為新選擇,，讓移動(dòng)機(jī)器人在更多場(chǎng)景精確感知環(huán)境。

優(yōu)劣勢(shì)分析,，優(yōu)勢(shì)：MEMS激光雷達(dá)因?yàn)閿[脫了笨重的「旋轉(zhuǎn)電機(jī)」和「掃描鏡」等機(jī)械運(yùn)動(dòng)裝置,，去除了金屬機(jī)械結(jié)構(gòu)部件，同時(shí)配備的是毫米級(jí)的微振鏡,，這較大程度上減少了MEMS激光雷達(dá)的尺寸,，與傳統(tǒng)的光學(xué)掃描鏡相比，在光學(xué),、機(jī)械性能和功耗方面表現(xiàn)更為突出,。其次，得益于激光收發(fā)單元的數(shù)量的減少,，同時(shí)MEMS振鏡整體結(jié)構(gòu)所使用的硅基材料還有降價(jià)空間,，因此MEMS激光雷達(dá)的整體成本有望進(jìn)一步降低。劣勢(shì)：MEMS激光雷達(dá)的「微振鏡」屬于振動(dòng)敏感性器件,，同時(shí)硅基MEMS的懸臂梁結(jié)構(gòu)非常脆弱,，外界的振動(dòng)或沖擊極易直接致其斷裂,，車載環(huán)境很容易對(duì)其使用壽命和工作穩(wěn)定性產(chǎn)生影響。激光雷達(dá)通過(guò)發(fā)射激光束,，精確測(cè)量目標(biāo)距離,，是自動(dòng)駕駛的關(guān)鍵傳感器。廣西AMR激光雷達(dá)

覽沃 Mid - 360 混合固態(tài)技術(shù),，成就 360° 全向超大視場(chǎng)角優(yōu)越性能,。浙江覓道Mid-70激光雷達(dá)廠商

工作原理，相控陣?yán)走_(dá)發(fā)射的是電磁波,，OPA（Optical Phase Array的簡(jiǎn)稱,即光學(xué)相控陣）激光雷達(dá)發(fā)射的是光,，而光和電磁波一樣也表現(xiàn)出波的特性，所以原理上是一樣的,。波與波之間會(huì)產(chǎn)生干涉現(xiàn)象,，通過(guò)控制相控陣?yán)走_(dá)平面陣列各個(gè)陣元的電流相位，利用相位差可以讓不同的位置的波源會(huì)產(chǎn)生干涉（類似的是兩圈水波相互疊加后,，有的方向會(huì)相互抵消,，有的會(huì)相互增強(qiáng)），從而指向特定的方向,，往復(fù)控制便得以實(shí)現(xiàn)掃描效果,。利用光的相干性質(zhì)，通過(guò)人為控制相位差實(shí)現(xiàn)不同方向的光發(fā)射效果,；我們知道光和電磁波一樣也表現(xiàn)出波的特性,，因此同樣可以利用相位差控制干涉讓激光“轉(zhuǎn)向”特定的角度，往復(fù)控制實(shí)現(xiàn)掃描效果,。浙江覓道Mid-70激光雷達(dá)廠商