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擴散閘閥楔式閘閥微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，一,、控制系統(tǒng)閘閥,?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,。控制系統(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。二、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值，保持一致的真空壓力,。三,、多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,，...