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微泰,，三(多)位閘閥、三位閘閥,、多位閘閥應(yīng)用于? 蒸發(fā)?濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? 涂層? 蝕刻? 擴散?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。其特點是*3個位置功能-閥門打開,閥門關(guān)閉,第3位置*設(shè)備可通過連接到閥門的9 Pin D-Sub來讀取閥門狀態(tài)*手動和氣動閥門組合*應(yīng)用:需要壓力控制的任何其他過程*應(yīng)用:需要壓力控制的地方,。三位閘閥、多位閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸：2.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/E...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。其特點之一是能夠遠程檢查閥門狀態(tài)，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域,。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉，以調(diào)節(jié)壓力,。微泰半導(dǎo)體多定位閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD...

半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門,，主要作用是控制氣體的流動,，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu),，能夠有效地防止氣體泄漏,，保證真空系統(tǒng)的密封性。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性,，能夠在半導(dǎo)體制造過程中的化學物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作,。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量，滿足半導(dǎo)體制造工藝對精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開啟和關(guān)閉,，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過程中的快速氣體控制需求,。5. 可靠性高：設(shè)計和制造過程嚴格，保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Mi...

微泰,，高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:隔離泵。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 14英寸,、法蘭類型：CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時...

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點：其閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過精心防護處理,，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring），通過三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder）,，從而延長閥門驅(qū)動及使用壽命,。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動方式中的 Shield 功能，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，同時具備三重保護驅(qū)動保護環(huán),，可延長 GV 壽命的 Shield 方法，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司,、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備,。此外，擋板與閥體之間的距離小于 1mm,，能夠強力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成，充分考慮...

微泰,，控制系統(tǒng)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是? 主體材質(zhì)：不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 帶步進電機的集成壓力控制器? 應(yīng)用：需要壓力控制和隔離的地方?？刂葡到y(tǒng)閘閥規(guī)格如下：法蘭尺寸（ID）：1.5英寸~ 10英寸,、材料：閥體(STS304)/機構(gòu)STS...

微泰,，蝶閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰蝶閥其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護? 應(yīng)用：半導(dǎo)體和工業(yè)過程的壓力控制,。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40,、DN50、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、閥門密封：...

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點：首先,，它已向中國臺灣的 Micron、UMC,、AKT 等,，新加坡的 Micron、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認可,，同時完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。其次,，該閘閥采用陶瓷球機構(gòu),，具有良好的抗沖擊和震動性能，保證可使用 25 萬次,，且檢修方便,，維護成本較低。它無 Particle 產(chǎn)生,，采用陶瓷球不會有腐蝕和顆粒產(chǎn)生,。此外，它還具有屏蔽保護功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm,，能有效防止粉末侵入閥內(nèi)，壽命為半永久性,。其保護環(huán)設(shè)計也很獨特,，P...

微泰，定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥,，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng)。定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400、（內(nèi)徑）200×1800,、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，三重防護閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。有-屏蔽閘閥：防止氣體和粉末進入閥內(nèi)的隔離閥,，-三重防護閘閥：屏蔽1和2+保護環(huán)的3重隔離系統(tǒng)，還有步進電機閘閥和鋁閘閥,，屏蔽門閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用...

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點：閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都進行了防護處理,，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預(yù)防方式切斷粉末（Powder），延長閥門驅(qū)動和使用壽命,。三重預(yù)防驅(qū)動方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，有三重保護驅(qū)動保護環(huán)，長久延長GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導(dǎo)體T公司,、M公司和I公司Utility設(shè)備。擋板與閥體的距離小于1mm,，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料，考慮了復(fù)原力,，并采用Viton粉末熱壓制成,。三重保護保護環(huán)的主要功能說明-AL材料的重量減輕和保護環(huán)內(nèi)部照明的改善...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器，可以在本地和遠程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。其特點之一是能夠遠程檢查閥門狀態(tài),，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域,。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉，以調(diào)節(jié)壓力,。微泰半導(dǎo)體多定位閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD...

微泰,，大閘閥,、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥,。大閘閥、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?,、 法蘭型：...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒（Particle)，無需從設(shè)備上拆卸閥門,，即可更換閘門和O形圈,。大量采用缸套運動導(dǎo)軌Liner (motion guide)，實現(xiàn)高精度,、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，這里介紹一下閥門控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸,。1,，開放/關(guān)閉速度LCD顯示；2,，當閥門或泵錯誤時,，燈點亮：3，自動關(guān)閉功能-防止泵跳閘中的逆流,；4,，有閥門開關(guān)位置的信號輸出信號；5,，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進行快速操作,；6，無噪音,，功耗低,；7，歷史管理-打開/關(guān)閉/泵關(guān)閉等,；8,，UPS功能（1秒），微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有中國臺灣Micron,、UMC、...

微泰,，三(多)位閘閥,、三位閘閥、多位閘閥應(yīng)用于? 蒸發(fā)?濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? 涂層? 蝕刻? 擴散?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點是*3個位置功能-閥門打開,閥門關(guān)閉,第3位置*設(shè)備可通過連接到閥門的9 Pin D-Sub來讀取閥門狀態(tài)*手動和氣動閥門組合*應(yīng)用:需要壓力控制的任何其他過程*應(yīng)用:需要壓力控制的地方,。三位閘閥,、多位閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：2.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/E...

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點：插板閥主滑閥的球機構(gòu)方式-在量產(chǎn)工藝設(shè)備上的性能驗證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷和金屬觸摸驅(qū)動無顆粒-已向中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備,，設(shè)備廠批量供貨，已得到品質(zhì)認可,，已完成對半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證,，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅(qū)動產(chǎn)生大量顆粒。使用鋼陶瓷球,，與金屬摩擦時不會損壞,，金屬與陶瓷球之間不會產(chǎn)生Particle，半永久板簧（SUS鋼板）的應(yīng)用確保閥門驅(qū)動同步性,，采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾?。微泰半?dǎo)體閘閥應(yīng)...

微泰，控制系統(tǒng)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。其特點是? 主體材質(zhì)：不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 帶步進電機的集成壓力控制器? 應(yīng)用：需要壓力控制和隔離的地方,。控制系統(tǒng)閘閥規(guī)格如下：法蘭尺寸（ID）：1.5英寸~ 10英寸,、材料：閥體(STS304)/機構(gòu)STS...

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點：其閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過精心防護處理,，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring），通過三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder）,，從而延長閥門驅(qū)動及使用壽命,。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動方式中的 Shield 功能，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，同時具備三重保護驅(qū)動保護環(huán),，可延長 GV 壽命的 Shield 方法，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司,、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備,。此外，擋板與閥體之間的距離小于 1mm,，能夠強力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成，充分考慮...

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微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，三重防護閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。有-屏蔽閘閥：防止氣體和粉末進入閥內(nèi)的隔離閥,，-三重防護閘閥：屏蔽1和2+保護環(huán)的3重隔離系統(tǒng)，還有步進電機閘閥和鋁閘閥,，屏蔽門閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用...

微泰,，控制系統(tǒng)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點是? 主體材質(zhì)：不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 帶步進電機的集成壓力控制器? 應(yīng)用：需要壓力控制和隔離的地方,?？刂葡到y(tǒng)閘閥規(guī)格如下：法蘭尺寸（ID）：1.5英寸~ 10英寸、材料：閥體(STS304)/機構(gòu)STS...

微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400,、（內(nèi)徑）200×1800、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar,、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,...

微泰,傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。此外，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持,。負責門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ，50 x 336 / 56 x 500 ,，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified F...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，步進電機插板閥Stepper Motor Gate Valve，-產(chǎn)品范圍：2.5“~10”-壓力控制-使用步進電機Stepper Motor GV,- Product Range : 2.5” ~ 10”- Pressure Controlled- Using Stepper Motor,，用步進電機/控制器操作閥門-通過步進電機/控制器精確控制閥門的壓力-根據(jù)產(chǎn)品的不同,，控制器可以安裝在客戶需要的地方，微泰,，步進電機插板閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD...

微泰,，大閘閥、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥。大閘閥,、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?、 法蘭型：...

微泰,，鋁閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上。期特點是*不論什么工藝的設(shè)備都可以使用*由半永久性陶瓷球和彈簧組成*應(yīng)用:隔離泵,。鋁閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 10英寸、閥體：AL6061 (Anodizing),、機械裝置：AL6061 (Anodizin...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥蝶閥Butterfly Valve,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu)，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值，保持一致的真空壓力,?？梢栽诟哒婵窄h(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV,、...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，蝶閥,，Butterfly Valve產(chǎn)品范圍：DN40 ~ 50 -壓力控制-使用步進電機- Product Range : DN40 ~ 50- Pressure Controlled- Using Stepper Motor,，- Compatible with VAT Butterfly Control Valve, series61.2 - Application Process : PVD, CVD, Etching, Diffusion-使用步進電機和控制器執(zhí)行驅(qū)動。-通過步進電機/控制器精確定位,，確保精確的壓力控制,。-兼容VAT蝶閥控制器...

微泰，傳輸閥 (I-MOTION),、I型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,，半導(dǎo)體加工,，可替代VAT閘閥。其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用：半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,，傳輸閥 (I-MOTION),、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (I-MOTION),、右動轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 ,、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 mb...