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Diffusion閘閥微泰主要產(chǎn)品有1,、-手動鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭：2,、特殊閥門：全金屬配件構(gòu)成,，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成；3、三位閥：半開功能的壓力控制閥,。氣動閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；手動（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次；專門用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次,，響應(yīng)時間：0.2秒客戶指定的法蘭,，可安裝角閥；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：2...
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HV閘閥三星半導(dǎo)體微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒（Particle),，無需從設(shè)備上拆卸閥門,，即可更換閘門和O形圈。大量采用缸套運動導(dǎo)軌Liner (motion guide),，實現(xiàn)高精度,、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西...
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鋁閘閥插板閥微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負責門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型,。一,、I型轉(zhuǎn)移閥。I型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機構(gòu),，保證高耐用性和長壽命,。二、L型轉(zhuǎn)移閥,。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,，其特點是設(shè)計緊湊，易于維護,。L型轉(zhuǎn)移閥的特點是閘門在兩個階段...
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氣動閘閥TRANSFER VALVE微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。其特點之一是能夠遠程檢查閥門狀態(tài)，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域,。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉，以調(diào)節(jié)壓力,。微泰半導(dǎo)體多定位閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD...
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低真空閘閥ALUMINUM GATE VALVE微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，控制系統(tǒng)閘閥,，控制閘閥、控制系統(tǒng)插板閥,、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,。控制系統(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴散）...
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轉(zhuǎn)移閘閥閘板閥
微泰,，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點是*使用加熱套或內(nèi)部加熱器加熱*加熱控制器*應(yīng)用:去除粉末/氣體設(shè)備,。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸、法蘭類型：ISO,、JIS,、ASA、CF,、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：...
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鋁閘閥
微泰，多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥其特點是?操作模式：本地和遠程?緊急情況：自動關(guān)閉?慢速泵送功能。多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304， 機制 STS3...
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化學氣相沉積閘閥手動閥微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，氣動多位置閘閥,，氣動多定位閘閥,，多定位插板閥,，Pneumatic Multi Position 其特點是1,，全開和關(guān)閉位置使用帶有位置發(fā)射器的氣動電磁閥進行控制,；2,，所有位置控制都由控制器進行操作,。1)控制類型-全開：高速閘門全開操作-全閉：高速閘門全閉操作-位置（POS.）控制：將閘門移動到設(shè)定的位置值,；2)操作時間-完全打開?完全關(guān)閉：<2秒（取決于速度控制器設(shè)置)-位置（POS,。）控制： 0%?100%工作,，
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超真空閘閥I型轉(zhuǎn)移閥微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨特的特點：其插板閥主滑閥采用球機構(gòu)方式,，并且在量產(chǎn)工藝設(shè)備上經(jīng)過了性能驗證。該閘閥由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷與金屬接觸驅(qū)動時不會產(chǎn)生顆粒,。目前已向中國臺灣的 Micron、UMC,、AKT,，新加坡的 Micron、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認可,，同時也完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。與其他廠家閘閥的金屬與金屬接觸驅(qū)動會產(chǎn)生大量顆粒不同,，微泰半導(dǎo)體閘閥采用鋼陶瓷球,，在與金屬摩擦時不會損壞，且金屬與陶瓷球之間不會產(chǎn)生 Particle,。半永久板簧（S...
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CVD閘閥HV GATE VALVE
微泰,，大閘閥、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥。大閘閥,、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?、 法蘭型：...
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電動閘閥微泰,，多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥其特點是?操作模式：本地和遠程?緊急情況：自動關(guān)閉?慢速泵送功能。多位閘閥,，多位置閘閥,，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304， 機制 STS3...
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HV閘閥HV GATE VALVE
微泰半導(dǎo)體閘閥的特點：已向中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備,，設(shè)備廠批量供貨，已得到品質(zhì)認可,，已完成對半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證,。1，采用陶瓷球機構(gòu),，抗沖擊和震動,，保證使用25萬次，檢修方便,，較低維護成本,。2，無Particle（顆粒）產(chǎn)生,，采用陶瓷球無腐蝕和顆粒產(chǎn),。3，屏蔽保護：屏蔽式保護功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm,，可防止粉末侵入閥內(nèi)，壽命為半永久性,。4,，保護環(huán)：Protecrion Ring通過流速上升設(shè)計防止粉末凝固，并通過打磨（研磨...
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超大型真空閘閥氣動閥
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，一,、控制系統(tǒng)閘閥?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。二,、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力。三,、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能，...
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定制閘閥ALUMINUM GATE VALVE微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，步進電機插板閥Stepper Motor Gate Valve,，-產(chǎn)品范圍：2.5“~10”-壓力控制-使用步進電機Stepper Motor GV,- Product Range : 2.5” ~ 10”- Pressure Controlled- Using Stepper Motor，用步進電機/控制器操作閥門-通過步進電機/控制器精確控制閥門的壓力-根據(jù)產(chǎn)品的不同,，控制器可以安裝在客戶需要的地方,，微泰，步進電機插板閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD...
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閘閥蝶形控制閥
半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門,，主要作用是控制氣體的流動,，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu),，能夠有效地防止氣體泄漏,，保證真空系統(tǒng)的密封性。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性,，能夠在半導(dǎo)體制造過程中的化學物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作,。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量，滿足半導(dǎo)體制造工藝對精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開啟和關(guān)閉,，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過程中的快速氣體控制需求。5. 可靠性高：設(shè)計和制造過程嚴格,，保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性,。有中國臺灣Micron、UMC、AKT,、新加坡Mi...
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超真空閘閥蝶形控制閥
微泰,，蝶閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰蝶閥其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護? 應(yīng)用：半導(dǎo)體和工業(yè)過程的壓力控制,。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40,、DN50、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、閥門密封：...
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控制閘閥閘板閥微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒（Particle),，無需從設(shè)備上拆卸閥門,，即可更換閘門和O形圈,。大量采用缸套運動導(dǎo)軌Liner (motion guide)，實現(xiàn)高精度,、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西...
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電動閘閥Micron
微泰,，屏蔽閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? 濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)? Coating（涂層）? Etch? Diffusion?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。其特點是*閥體和阻斷器之間的間隙小于1mm*防止流入的氣體（粉末）進入閥體內(nèi)部*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:隔離泵,，氣流中的高水平工藝。屏蔽閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：2.5英寸~ 10英寸,、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型...
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超高壓閘閥氣動閥
微泰,，控制系統(tǒng)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是? 主體材質(zhì)：不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 帶步進電機的集成壓力控制器? 應(yīng)用：需要壓力控制和隔離的地方?？刂葡到y(tǒng)閘閥規(guī)格如下：法蘭尺寸（ID）：1.5英寸~ 10英寸,、材料：閥體(STS304)/機構(gòu)STS...
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轉(zhuǎn)移閘閥L型轉(zhuǎn)移閥
微泰半導(dǎo)體閘閥的特點：已向中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備，設(shè)備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認可,，已完成對半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。1,，采用陶瓷球機構(gòu),，抗沖擊和震動，保證使用25萬次,，檢修方便,，較低維護成本。2,，無Particle（顆粒）產(chǎn)生,，采用陶瓷球無腐蝕和顆粒產(chǎn)。3,，屏蔽保護：屏蔽式保護功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm，可防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性,。4，保護環(huán)：Protecrion Ring通過流速上升設(shè)計防止粉末凝固,，并通過打磨（研磨...
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電動閘閥BUTTERFLY VALVE
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥Heating gate valve,，加熱插板閥，加熱閘閥,，加熱器的加熱溫度為180-200度（可通過控制器設(shè)置溫度）-規(guī)格：適用雙金屬（達到200度時,，斷電后溫度下降后重新啟動），應(yīng)用于去除粉末/氣體設(shè)備。微泰,，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法...
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HVA閘閥BUTTERFLY VALVE微泰,，蝶閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰蝶閥其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護? 應(yīng)用：半導(dǎo)體和工業(yè)過程的壓力控制,。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40,、DN50、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、閥門密封：...
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大型閘閥插板閥
微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門,。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過控制系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥,、多定位閘閥,。控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進電機操作,，而多定位閘閥使用氣動控制操作,。一、控制系統(tǒng)閘閥,。控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。二,、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程。蝶閥通過控...
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全真空可嵌入閘閥Micron
微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400,、（內(nèi)徑）200×1800、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar,、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,...
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手動閘閥角控制閥
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，鋁閘閥（AL Gate Valve）-產(chǎn)品范圍：1.5英寸~10英寸-12英寸可生產(chǎn)的產(chǎn)品尺寸,，閥體材料：鋁、氣動,、緊湊設(shè)計,、重量輕。閘門,，閥蓋密封：Viton O-Ring使用次數(shù)：100000次,，易于維護，低顆粒（陶瓷球機構(gòu)）,。- Body Material : Aluminum - Pneumatic - Compact Design- Light of weight - Gate, Bonnet Seal : Viton O-Ring - Cycles until first service : 100,000 - Easy Mainten...
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Etch閘閥BUTTERFLY VALVE
微泰高壓閘閥可以應(yīng)用于多種設(shè)備,，如蒸發(fā)、濺射,、金剛石生長,、PECV、PVD集群,、卷對卷,、涂層、蝕刻,、擴散和CVD等,。它具有陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒和易于維護等特點,，可替代VAT閘閥。該閥門的規(guī)格包括手動或氣動驅(qū)動方式,、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸,、CF法蘭類型、焊接波紋管連接方式,、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封,、氟橡膠O型圈閥蓋密封、≤2秒響應(yīng)時間,、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar,，8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar、≤30 mbar的開始時壓差,、≤1400 mbar的6?以下閘門差動壓力和≤...
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蒸發(fā)閘閥UMC
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，一、控制系統(tǒng)閘閥,?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。二,、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu)，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力,。三、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能，...
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多位閘閥HV GATE VALVE
微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點：首先,，它已向中國臺灣的 Micron,、UMC,、AKT 等，新加坡的 Micron,、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體，日本的 Micron,、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認可，同時完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證,。其次,，該閘閥采用陶瓷球機構(gòu)，具有良好的抗沖擊和震動性能,，保證可使用 25 萬次,，且檢修方便，維護成本較低,。它無 Particle 產(chǎn)生,，采用陶瓷球不會有腐蝕和顆粒產(chǎn)生。此外,，它還具有屏蔽保護功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm，能有效防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性,。其保護環(huán)設(shè)計也很獨特，P...
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蝕刻閘閥三星半導(dǎo)體
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥蝶閥Butterfly Valve,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值，保持一致的真空壓力,?？梢栽诟哒婵窄h(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV,、...
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高壓閘閥Micron
半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門,，主要作用是控制氣體的流動，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu),，能夠有效地防止氣體泄漏，保證真空系統(tǒng)的密封性,。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性,，能夠在半導(dǎo)體制造過程中的化學物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量,，滿足半導(dǎo)體制造工藝對精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開啟和關(guān)閉，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過程中的快速氣體控制需求,。5. 可靠性高：設(shè)計和制造過程嚴格,，保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Mi...